組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

渦電流式継目検出器　SEAM DETECTOR　MSD-03

シンプル操作！精度よく検出する渦電流式の継目検出器です。

位相の判別等に用いられてきた従来型センサー(光学系)を置き換え、より厳しい環境下での動作を可能としています。 判定は閾値方法ではなく、1本毎にサンプリングして継ぎ目位置を検知する方法で、機構のリフトオフの変動やパイプの個体差に影響され難く、検出精度が大幅に向上しています。 【特徴】 ○過電流応用技術で導電性パイプ等の継目を非接触で検知 ○塗装や鍍金の上からでも検出可能 ○水や油の影...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフィックス