〈5/24接着粘着技術展2024出展〉ホットメルトロールコーター

PRファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作可能！

長年の光ディスク（DVD）接着で培ったノウハウを取り入れたホットメルト用ロールコーターです。 光ディスクでは１０μ±０．５μの精度で塗布を行っています。 塗布幅は標準として１６００ｍｍまで可能です。（仕様による） ファストラボ室にて最大塗布幅１０００mm対応のテスト機で試作可能です。 少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が出来ます。 仕様はお客様の希望に応じて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

曲面スリットコーター

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

平面はもちろん、凹/凸面、凸凹面、フレキシブルな塗布が可能 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

【プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

ディスペンス電動ポンプ

薬液使用量削減の最適ツール

半導体生産ラインで感光材塗布／現像装置で使用されるディスペンスシステム（電動ポンプ）の既存標準ポンプとの置き換えに有効です。元々装置に搭載されている同等ポンプに比べ、高い再現性と材料削減効果が期待されます。海外では主流のブラン...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【コーター】小型、低価格、短納期、試作に好適、豊富な塗布方式

ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をいたします。 また、お客様独自のシステムは可能な限り搭載できる設計をいたします。 【特長】 ■いつでもテスト塗工可能です。 ■低価格・短納期対応 ■塗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

P（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板や角基板の搬送実績も多数あります！ 【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■回転カップ塗布方式による均一な成膜分布 ■2～12インチまで対応可能 ■複数種類ウエハ処理可能（3・4・5インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機（セミオート）で低価格を実現 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

ました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！ マニュアル機～フルオート機までお客様...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

スプレーコーター装置による撥水膜コーティング試作支援

大面積で、薄膜コーティング困難なデバイスへ、超薄膜均一塗布を可能とした…

面積の大きい基板や複雑な凹凸基板への超薄膜の撥水コーティングの塗布の試作支援やスプレーコータの提案をしています。 小面積の試作から、大面積の膜形成を推測する開発試作から、量産コーティングをテーマとする試作支援をしています。 凹凸・立体（３D）形状に対しての薄膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

MSC-300型は、φ2"～φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

大型薄膜コーティング装置（スプレーコーター）SP600型

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様の…

弊社の薄膜コーティング装置は小型から大型まで、R&D用から量産用まで、お客様のニーズにお応えしてカスタマイズし、特注仕様で製作します。これら弊社コーティング装置は、量産用MEMS製造装置やMEA塗布装置として数多くの実績が有ります。 慶應藤沢イノベーションビレッジ（SFC-IV）で試作を実施しています。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

小型精密塗工機3本ロールコーター

デジタル式クリアランス表示装置付！塗工方式が選べる3本ロールコーターの…

「コーター」は、銅箔・アルミ箔やフィルムに合材を一定の厚さで 精度良く塗工する装置です。 『小型精密塗工機3本ロールコーター』は、塗工方式を ダイレクトコート・転写式コート（間欠塗布）から選択可能。 塗工ヘッドは交換対応構造で、乾燥炉は1000mmX2炉（熱風方式）です。 オプションも豊富で、要望する内容によって、必要なオプションを 選択し、適した塗工装置をご提供致し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上スピンコーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ10～15０mm□ 基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約22Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ３００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社