後付け電動アシストユニット新製品『E-Drive Optima』

PR傾斜搬送や速度制御が可能に！高機能の電動アシストユニットE-Drive…

『E-Drive』は、最大総重量500kgの補助対応可能な高アシスト性能の 電動アシストユニットです。 今回は新シリーズのE-Drive Optimaが登場。 使い勝手はそのままに、傾斜搬送や速度制御にも対応しました。 負荷の高い重量物用台車の手押し作業でも、 当製品なら手元操作で簡単に操作 可能で、作業者の負担軽減・効率を向上させます。 　 【特長】 ■作業者の負担軽減・...

メーカー・取り扱い企業： テンテキャスター株式会社

エプソンロボット

PRロボットで、自動化！様々な業界で、導入が始まっています

『エプソンロボット』は、操作がわかりやすく、教育メニューも充実した 産業用ロボットです。 トータルコスト・工数削減やワンストップサービスによる長期安定稼働を 提供。高い動作精度技術と頼れる手厚いサポートで、立ち上げの工数削減から 自動化による人材不足を解決いたします。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■オールインワンで簡単 ■省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： 伸栄産業株式会社

外観検査装置　(OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。 ・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置に移動し、[測定]スイッチ操作により測定します。 θ軸方向は作業者のセッティングによります。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録すること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

グラインダ（GAI-02型）

安全カバーと遠隔操作機構を備えた手動装置

本装置は作業者が行うワークの加工作業を、安全に行なうことを目的に 安全カバーと遠隔操作機構を備えた手動装置です。 装置へのワークのセットは作業者が行い、グラインダ砥石の角度、X軸位置を調整しながら加工作業を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

25枚一括移載機（WTI-01型）

一括カセットtoカセット移載

本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ます。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ユニット全体の揺動(片側最大約45°) が可能です。 自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。 ・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。 タッチパネルでの設定により、 ロードステージを1～8ステージ アンロードステージを1～8ステージ の範...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ウェハ外観検査装置　(MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

手動厚さ測定機（STM-07型）

φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。 それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）す…

・検査ステージは作業者のスイッチ操作により回転します。回転数や回転速度は任意で設定可能です。 ・ウェーハサイズ・傾斜角度はご要望にお応えします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

手動式厚さ測定機（STM-03型）

φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置

本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。 ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

マスク検査ステージ（QIS-0１型）

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

作業者がワークをセットします。樹脂ピンによりワークを保持します。 手動にて傾斜・旋回操作ができ、ワークの表裏面の検査が容易に行えます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

外観検査装置（SWL-05）

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です

・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。 ・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

キャリア厚さ測定機（CME-04型：自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置を自動で測定します。 測定データは付属のパソコンに記録されます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム