セラミックス製　超精密測定器具【各種器具・冶具カスタマイズ可能】

PR製造現場の基準を決定する超精密測定器具！高硬度のセラミックス製なので経…

セラミックス製の超精密測定器具は『剛性に優れたわみにくい』『硬く、耐摩耗性に優れる』『温度による寸法が少ない』『耐食性に優れ、化学薬品に強い』『軽量』などのセラミックスの特性を活かし、直角度、平行度などをμ単位で超精密加工した直定規、四直角マスター、三次元セラマスターをお届けします。 各種冶具をはじめ、お客様の測定現場に合わせたカスタマイズも受け賜ります。 ※詳しくはお問い合わせいただくか...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社

LEDダウンライト『IDSシリーズ』

PR力率改善、位相調光可能なLEDダウンライト！AC200V仕様は、お問い…

『IDSシリーズ』は、薄型、軽量のLEDダウンライトです。 力率改善、位相調光が可能で、ノングレア。 色温度は5700K, 5000K, 3500K, 3000Kで、渡り配線ができます。 また開口は、100mm, 125mm, 150mm, 175mm, 210mm, 250mmとなっており、 IDS250は延長枠を使うと開口最大300mmまで、使えます。 【特長】 ■薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネヒロデンシ

ピエゾコントロールバルブ　CV-3000 series

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです

ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

液体用マスフローメータ　LM-3000L series

各種液体流量を精密計測します

0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

デジタルマスフローメータ　MM-3000L series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです

マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

ばね入CリングHELICOFLEX(R) ヘリコフレックスシール

弾性を持つメタルシールです！溝、RF／FF、T&G、NW/KF、3端面…

『ばね入CリングHELICOFLEX(R) ヘリコフレックスシール』は、 外被の塑性変形とばねの弾性でシール性能を発揮します。 10-10mbarから3000barまでの圧力に対応 -272℃から800℃までの圧力に対応 フランジの形状と歪に対する優れた適応性。 材質: アルミニウム、銀、銅、ニッケル、ステンレス鋼他 【特長】 ■シー...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

真空ポンプ保護装置　HOコレクター

PET樹脂のシートやフィルムの製造工程用オリゴマーコレクター

、真空ポンプ目安：600～1500m³/hr ○HO-100-3-900 →外形寸法：900φ×1200L、捕捉面積：2m² →内筒寸法：250φ×645L×4本、真空ポンプ目安：1500～3000m³/hr ○HO-150-3-1100 →外形寸法：1100φ×1200L、捕捉面積：2.5m² →内筒寸法：310φ×645L×4本、真空ポンプ目安：3000m³/hr ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

軽接触式気化器　VU-900 series

気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です

○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 　 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 　 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754） ○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器 ※その他機能や詳細につい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

ロータリーマグネトロン

米国　SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、世界に約3000台の納…

Sputtering Components Inc, 通称SCI社は、米国のミネソタ州オワトナに2001年に設立されました。SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、2015年現在までに、世界で約3000台の納入実績を誇ります。その用途は、建築用のLow-Eガラスや、太陽電池、ディスプレイの電極膜、フィルムの反射防止膜等、様々な用途で様々な客先にて使用されています。 弊社株式会社スパッタリン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。...TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コン...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

ばね入りCリング・メタルシール『ヘリコフレックスシール』

非常に優れた許容漏れ量と耐食性！お客様の用途に沿うシール特性にカスタマ…

究開発、 実験や実用における結果です。 柔軟な設計対応で、お客様のご用途に沿うシール特性にカスタマイズした製品を提供します。 【特長】 ■シール径φ4～8000mm ■10^-10mbarから3000barまでの圧力に対応 ■-272℃から800℃までの温度に対応 ■発泡液レベルから超高真空レベルも対応する許容漏れ量 ■すべてのフランジ規格とフランジ面に対応(PNEUROP、ASME、ISO...

メーカー・取り扱い企業： テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

*スクリュー型ドライポンプHeptaDryシリーズ

業界トップクラスの基本性能

•オイルフリー •水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載 •パーティクル、液体に強い • 独自の異形ピッチ型スクリュー方式： •エネルギー効率アップ •冷却ガス不要、 •低回転数 3000 1/min •低騒音...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

スクリュー式ドライ真空ポンプ　TDシリーズ

扱いやすく、メンテナンスもラク。

【特徴】 ○コントローラ内蔵タイプ（TD）とコントローラ別置きタイプ（TDN）、N2ガスが不要で経済的なEタイプをご用意 ○排気速度(l/min)：650 to 3000 ○到達圧力(Pa)：to 0.7 ○シーケンサ制御によるすぐれた操作性と多彩な保護機能 ○外部信号によるリモート運転、監視も可能 ○ポンプ運転・停止及び運転状態をコントローラ表示 ...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 陸上事業部

『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』

シール用途以外にも！クリーンな環境下での断熱材や緩衝材などとしても使用…

【製品詳細】 ■寸法：500mm×1500mm、1500mm×3000mm ■長さ：0.5mm～10.0mm ■材質：延伸PTFE(PTFE100％) ■使用温度範囲：－240～315℃ ※『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』の詳細はPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 日本ゴア合同会社

【新商品】組付け対応拡大！「モジュラータイプセレックスFRL」

本格モジュールによるコンビネーションシステムアップ。多様なニーズに応え…

が補給できます ●貯油量大 【高い拡張性（CXUシリーズ）】 1.　好評エアユニットシリーズ（各種FR機器、バルブ等を一体化した商品）との接続が可能です。 2.　従来のセレックスFRL3000/4000シリーズとのモジュール接続もできます。 ※詳細はカタログをご参照ください。...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

TKグランドパッキン　製品カタログ

いずれの用途においても優秀なシール性を発揮！TKグランドパッキンの製品…

【掲載製品（抜粋）】 ■TKシリーズ ・TK#3925　ポンプ・バルブ用 ・TK#3009　ポンプ・バルブ用 ・TK#3011　ポンプ・バルブ用 ・TK#3000　ダイゼスター・関連装置用 ■エンビロフレックス ・エンビロフレックス#500　バルブ用 ・エンビロフレックス#500H　超高温・高圧バルブ用 ・サーミキュライト#894　バルブ用 ■タ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

大電流：250A ■運転可能周囲温度湿度：+5～+35℃/75%rhまで ■装置本体外形寸法(W×H×Dmm)：3940×1980×1550 ■装置システム敷地寸法(W×Dmm)：5000×3000 ■装置本体重量(kg)：2000 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社愛知真空

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

シールコントロールエンジニアリングサービス

様々なシールの問題を解決して来ました

当社では、メカニカルシール関連の販売や取付、保守サービス、安全弁、 特殊弁のなどの整備を、年間約3000台に迫る台数の点検整備等々を行う シールコントロールエンジニアリングを展開しております。 様々な問題を抱えたお客様に、シールノウハウを駆使して常にベストを 尽くし、安心と期待以上の結果を...

メーカー・取り扱い企業： カシマ産業株式会社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

におけるIGZO成膜技術 →ムービングカソードの特長 →同カソードにて成膜したIGZO膜の評価結果について ○結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 →結晶太陽電池向けイオン注入装置PVI-3000Nの特徴 →注入特性及びマスクを用いたイオン注入のパターニング技術について ○OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発 →薄膜封止技術、装置構成 ○リークディテクタ HELIOT900...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

『AF-200 UNIVERSAL ガスケットシート』

数多くの流体に適用可能！中温、中圧域用の耐油性がある汎用ガスケットシー…

した積層タイプ） 　・0.3;0.5;0.8　　±0.1 　・1.0;1.5;2.0;2.5　　±10％ 　・3.0;4.0;5.0;6.0　　±10％ ■シートの大きさ mm（1500×3000まで入手可能） 　・1500×1500　　±10.0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミエコー

真空薄膜形成装置や表面分析装置　長年培った真空技術がこの一冊に！

長年培った真空技術！真空機器関連及び理化学機器における製品ラインアップ…

従来のイオン散乱表面分析装置では不可能だった、絶縁体表面の極性判別や 構造解析、元素同定、さらに電場・磁場中での【その場分析】を可能にした 飛行時間型原子散乱表面分析装置「TOFLAS-3000」をはじめ、 「真空薄膜形成装置」や「表面分析装置」などをラインアップしています。 【掲載内容　抜粋】 ■真空装置、コンポーネント ■表面分析装置 ■低温関連機器 ■アジレント社製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

『スタティックメタルパッキン』

優れた性能を持つ弾性静止型金属シール！確実な密封性能を発揮

【その他の特長】 ■0.1μPa{1×10-9Torr}の超高真空から、294MPa{3000kgf/cm3}以上の 　超高圧までの広い圧力範囲で使用可能 ■－270℃の極低温から、＋800℃以上の高温までの広い温度範囲に使用可能 ■非円形形状（楕円・三角・長円など）が製作可能であ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社永和商事

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

開口サイズ: 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A

液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

減圧・常圧プロセス用気化器　VU-206 series

減圧・常圧プロセス用気化器　VU-206

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所