5軸・複合加工対応！CAD/CAMシステム『hyperMILL』

PR2D~3D、5軸・複合加工に対応、安心のシミュレーション・干渉チェック…

CAD/CAMソフト『hyperMILL』は、切削加工を高精度かつ高速で行え、 優れた操作性でプログラミングの時間短縮も実現可能。 AiソリューションズはhyperMILLの8年連続国内販売数No.1の実績を持ち、 高い技術力で導入~立上げ~運用をサポートします。 ミルターン加工、HSCやHPCなどの各種機械加工にも対応しており、 曲面やエッジも滑らかで、高品質な加工が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Aiソリューションズ 本社

加工事例『銅の旋盤加工Φ110』

PR難易度の高い【銅】の旋盤加工事例のご紹介。5軸加工・旋盤加工・大型NC…

外山精機工業の加工製品『銅の旋盤加工』を紹介致します。 【加工製品】 ■素材：銅 ■サイズ：Φ110 ■加工方法：旋盤加工 ⇒短納期のご依頼かつ、難しいとされる銅材の加工を承りました。 【当社について】 当社は、普通旋盤加工、NC旋盤加工を中心に3軸マシニング、5軸マシニングを行っております。 幅広い加工可能サイズと様々な対応材質で、業種を問わず実績がございますので、 こ...

メーカー・取り扱い企業： 外山精機工業株式会社

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型（丸基板の場合はφ100、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は是非ご検討下さい。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

ーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

【加工事例】貼付ケース(半導体製造装置)

新規導入した大型5軸加工機にて加工！半導体製造装置の加工事例をご紹介

「貼付ケース」の加工事例をご紹介いたします。 貼付ケース(半導体製造装置)アルミの鋳物製品です。新規導入した 大型5軸加工機にて加工しております。 当社では、クロックリング(プラント機器)や、ハウジング(工作機械)などの 加工も行っております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【加工内容】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

『精密部品加工』＜マシニング・研削・表面処理など＞

加工公差ミクロンレベルの精度を保証。材料手配から表面処理、組立まで一貫…

当社は、マシニングセンタ、平面研削盤による高度な加工技術を基盤に 材料手配から熱処理、機械加工、表面処理、組立までを一貫して手掛けています。 中・大物の高精度加工を得意とし、5軸制御型立型MCの導入で、 量産品だけでなく単品物まで幅広く対応。高精度品の短期納入、 複数面アプローチによる複雑形状の高精度加工も可能になりました。 また、徹底した品質保証体制を構築してお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

超小型単結晶引上装置　『NEV−SP30型』

超小型・超低価格・超高性能！物性評価に適した単結晶育成装置『NEV−S…

高周波誘導加熱式による超小型の単結晶育成装置です。 小型コンパクト設計により、どこにでも簡単に設置できます。 【特徴】 ■超低価格を実現 ■5kw高周波電源内蔵 　トランジスターインバーター方式マイッチングボックス内蔵 　出力：5kw 　周波数：200kHz ■物性評価用に好適 ※ご要望により各種カスタマイズが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【省スペースな回転式ロボット】 ■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

【会社案内】大型アルミの切削加工技術で実績多数！株式会社信和

蓄積した大型加工技術と最新の設備で高度な大型アルミ製品を保証します。半…

株式会社信和は、半導体製造装置、FPD製造装置、一般産業機械の精密機械加工を主とし、 様々な分野の精密機械部品を製作しております。 複雑形状に対応する最新のマシンと加工プログラムにより同時5軸切削加工を実現。 高精度の加工技術を駆使し、真空チャンバーやFPD製造装置の電極やゲートバルブなど、 様々な真空装置関連製品や各種産業分野の精密加工部品の製造実績が多数ございます。 お客様...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

MH-1000　マルチワイヤーソー

●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のた…

本装置は、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断する装置です。ワイヤー駆動２軸、トラバース２軸、ワーク上下１軸の計5軸ACサーボモーターを使用しており、水晶、セラミック等さまざまな素材を切断できる小形専用機です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

複雑な形状の大型チャンバー製作実績多数！ 製作前にCAD・プログラム…

さ1200×幅1100×高さ380の大型製品です。 加工の可否は、社内のCAD・プログラマーが細かく確認しており、 設計者様には大変ご好評をいただいております。 5面加工マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど 各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをサポートします。 上記の他、半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極や ゲートバルブにて製作実績が多数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

BGA/SMT リワークシステム「RD-500V」

【部品修理/リペア/再実装】オールインワンタイプリワーク機－全てのSM…

「RD-500V」は、多機能そして⾃由⾃在に扱えるプロファイリング、産業⽤⼤型 基板から⼩基板、0402部品まで幅広く対応するリワークシステムです。 温度管理は基本の5ゾーンから最⼤30ゾーンまで任意に増減ができます。 また、オプションのヘッドで熱⾵を熱伝導に変換する⽅式により、部品に 直接コ ンタクトすることで、周辺部品のはんだを溶かさずに対象部品のみをリワークす る最も効率的に作業が...

メーカー・取り扱い企業： デンオン機器株式会社

半導体関連精密部品加工・組立、産業機械部品、レンズ金型製作

半導体関連精密部品加工・組立をはじめ、産業機械部品、レンズ金型や治工具…

【主要設備(一部抜粋)】 ■超精密5軸旋盤(Moore) ■超精密2軸旋盤(Moore) ■マイクロFF加工機(牧野フライス) ■微細精密加工機(牧野フライス) ■縦型マシニングセンタ(牧野フライス) ■ジグボーラー(安田工業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社森川製作所 本社

アロン電機株式会社　事業紹介

ニーズに的確に応え、さらに挑戦！生産基盤を創造し、お客様のお役に立ちま…

→省力化機器開発技術 →機構開発技術 →制御開発技術 →画像処理技術 →高精度外観検査技術 →異物・異品種判別システム技術 ○加工技術 →精密加工技術 →微細加工技術 →3次元5軸加工技術 →旋削5軸加工技術 →量産加工技術 →特殊材料加工技術 →仕上げ加工技術 →加エプログラム作成システム ○組立技術 →試作対応技術 →品質標準化・作業標準化システム →組...

メーカー・取り扱い企業： アロン電機株式会社

PIND試験装置　微粒子衝撃雑音検出装置

デバイスの異物粒子を検出。一時間当たり2000部品以上の試験が可能。

オシロスコープの輝線上に表れるスパイクとしての視覚的な判別ができます。 スピーカーより音質変化による聴覚的な判別、調整された検出レベルの トリガーでのFAILランプの点灯による判別も可能です。 規格試験MIL－STD－883、MIL－STD－750、MIL－STD－220に適合します。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【仕様】 ○振動 周波...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

UV式／熱硬化式 300ｍｍウエハー対応の装置です。 金型の平行出し、加圧、ＵＶ照射、離型し、高精度繰り返し位置決め精度にて ステップ＆リピートし、リソグラフィーの代替パターニングとして （テラバイト光ディスク、ＬＥＤ、マイクロレンズ、拡散フィルム、高密度パッケージ等）に最適です。 研究開発用、量産に対応いたします。 超高精度　　繰り返し精度＝20nm .....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

量産案内(自動生産ライン)

無人稼働でフレキシブル生産を目指します！

・5軸加工対応MC2台 ・三次元測定器1台 ・ロボットアーム1台 その他、付帯設備により構成。 2024年の導入・稼働予定。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社津田製作所

加工事例【半導体製造装置向け】ゲートバルブ

大手装置メーカー様にゲートバルブ製品数千台の納入実績あり！ 半導体Φ…

大型マシニングセンタにより、深堀形状となるゲートバルブ本体や構成製品を、高精度に製作致します。 これまで多数の製品を出荷し、大手製造装置メーカー様より高い評価をいただいております。 半導体・液晶製造装置に欠かせないゲートバルブ製品を高精度に 製作致します。 また真空チャンバーや上部・下部電極などチャンバー内パーツについても 製作実績がありますので、あわせてご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！

高精度三次元測定機を有し、1μの精度を保証いたします。受託検査も可能

：Ｖ77【1200×700×650ｍｍ】1台　 　　　　 Ｖ77Ｌ【1500×700×660ｍｍ】1台　 　 ＮＶＸ7000Ｅ【1540×760×660ｍｍ】1台 5軸MC：D800Z【1200×1100×650ｍｍ】1台 ※詳細はお気軽に、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

【資料】半導体・液晶加工のQ&A集~アルミ切削加工の疑問を解消~

半導体・液晶関連の方、必見！【サイズ・板厚・材質・精度の4ポイントで部…

半導体・液晶製造装置向けの大型製品や真空チャンバーなどの加工では、複雑形状のため多工程になりがちです。市場スピードの速いこの業界では、材料・板厚の選定から、高精度の加工までを少ない工程数で加工対応できるパートナー探しが重要になります。 『信和のQ&A』資料では、サイズ・板厚・材質・精度の4ポイントで、半導体・液晶の部品加工について役立つ情報をQ&A形式でわかりやすく紹介しています。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

加工事例【半導体製造装置向け】アルミ薄板

加工段取り・特殊クランプにて加工した板厚２～５mmの全面切削加工の製品

【製品紹介】 ○アルミ薄板加工製品 ○板厚２～５mmの全面切削加工の製品 ○加工段取り・特殊クランプにて加工 ○特殊クランプにより、キズ・打コンのない表面仕上がりに対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【株式会社信和　事業内容】 ○半導体製造装置部品製作 ○液晶製造装置部品製作 ○真空チャンバー・ゲートバルブ・シャワーヘッド・ステージなど真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

加工事例【半導体製造装置向け】インペラー（５軸加工）

５軸加工機によって制作した４ブレードインペラーです。

【製品紹介】 ○インペラー（５軸加工） ○５軸加工機によって制作した４ブレードインペラー ○隅部の仕上がり精度の高さが特長 詳しくはお問い合わせください。 ...【株式会社信和　事業内容】 ○半導体製造装置部品製作 ○液晶製造装置部品製作 ○真空チャンバー・ゲートバルブ・シャワーヘッド・ステージなど真空関連の精密部品の製作 ○各種製造装置を構成する大型アルミ製品の製作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜MT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の小型位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

ハンディ型大気圧プラズマ装置S5000-BM【国産製品】

【溶剤不要】ハンディータイプの大気圧プラズマ装置、低温・電荷ダメージな…

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ハンディータイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。全国の大学、大手の研究機関・R&D部門・生産部門でも多数ご利用頂いており、高い処理効果が有ります。又、社内で設計から製造まで全ておこない、専任の技術者により、あらゆる仕様に対し、親身に対応させて頂いております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

半導体製造装置の真空チャンバー切削加工事例！長さ1200×幅1100×…

5面加工マシニングセンタ【加工対象範囲5200×4100×1700】や各種設備を駆使し、大物加工部品の試作・製作・加工・メンテナンスをサポートします。半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極やゲートバルブにて実績があります。また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済！ 【特長】 ■ 半導体製造装置に使用される大型チャンバー ■ 長さ1200×幅1100×...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信和