エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

新光電子株式会社　創業50周年記念サイトオープン

PR50周年事業としてリ・ブランディングを行いました。次なる50年で「全て…

弊社は、2024年4月1日に創業50周年を迎える事となりました。 創業当初より「オプト世紀を追及する」というキャッチコピーを掲げさせていただき、 半世紀を送りました。 次の50年を胸を張って迎えることが出来るのも、ひとえにこれまで関わっていただきました お取引先様、従業員やご家族、関係各位のご助力があってのことと、改めまして、 深く感謝の意を胸に刻む次第です。 この場を借りて厚く御礼申し上げ...

メーカー・取り扱い企業： 新光電子株式会社

電流安定度、位置安定度は業界トップクラス！電子線描画装置

加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現！※描画デモ可能

通信用半導体レーザーのDFB-LDの生産用に適したモデルです。微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた50kV加速電圧を採用した主力製品です。 【特長】 ■単結晶ZrO/Wを採用したＴＦＥ電子銃 ■抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性 ■加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレステック 本社

電子線描画装置

高加速電圧100ｋVの高精度タイプからSEM機能も有するユニバーサルタ…

Raith社のEBPGシリーズは、少量生産対応の高速高精度な電子線描画装置で、WWで納入実績は130台以上 EBPGの特徴 ●最大電流値350ｎAを有し、業界最速のスループットを実現 ●Overlay５nm 以下、Stiting8nm以下で高精度描画可能 ●パターンサイズに併せ、描画中にアパチャー自動変更可能で、描画時間短縮 ●対応...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

小型化が強く求められています。 レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。 ●高電圧： 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ "耐ノイズ性に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意" "（シールド付きＰＶＣ被覆線、試験電圧6～60kVDC...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

レーザー直接描画装置『DWL 66＋』

研究開発向け高性能レーザーリソグラフィ装置

ドの一例】 ■描画モード：HR(High Resolution Mode 0.3um) ■最小アドレスグリッド（nm）：5 ■最小描画サイズ（μm）：0.3 ■エッジラフネス（3σ、nm）：50 ■CD均一性（3σ、nm）：60 ■重ね合わせ精度（3σ、nm）：500 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

デモ機貸し出し可能！卓上電子ビーム照射装置『SES-2100H』

【問い合わせでデモ機貸し出し可能！】研究用・リース！ナノテクノロジー用…

『SES-2100H』は、新規な材料を開発している研究者の方々が リースでも使うことができる卓上電子ビーム照射装置です。 試料表面（約50μｍ）に電子ビームを照射することによって、表面分子の 重合、分解、合成が起こり、新材料に新しい機能性を付与することが可能。 セルロースナノファイバー、カーボンナノファイバーを含む 新規材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社浜松クオンタム

TFE電子銃用－50KV高圧電源・電子線リソグラフィ用

TFE電子銃、電子線リソグラフィ用の、高圧電源装置「FE503XP」で…

本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせください。...本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてベストなチューニングを施して納入可能ですので、気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： フューテックス株式会社