エプソンロボット

PRロボットで、自動化！様々な業界で、導入が始まっています

『エプソンロボット』は、操作がわかりやすく、教育メニューも充実した 産業用ロボットです。 トータルコスト・工数削減やワンストップサービスによる長期安定稼働を 提供。高い動作精度技術と頼れる手厚いサポートで、立ち上げの工数削減から 自動化による人材不足を解決いたします。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■オールインワンで簡単 ■省スペース ...

メーカー・取り扱い企業： 伸栄産業株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

MEMSデバイスの3次元構造観察

高分解能・高コントラストな観察を実現！非破壊で3次元観察することが可能

「MEMS」には、立体的で可動部を有するMEMS構造体が中空で 封止されています。 この構造をあるがままに観察するためには開封などの加工を行わず 観察することが必要です。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は...

メーカー・取り扱い企業： 東芝ナノアナリシス株式会社

TVホログラフィー振動変位解析システム　「MEMSMap510」

MEMS 試験やR&D 用のオールイン・ワンシステム

TVホログラフィー振動変位解析システム「MEMSMap510」は、面内振動（In-Plane）と面外振動（Out-of-Plane）を測定します。MEMS構造のモデリングや設計ではその微細構造の挙動が大きい構造物と異なるために解析は難しくなりま...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シスコム（SysCom）

クロスビームFIBによる断面観察

FIB加工をリアルタイムで観察しながら断面観察が可能です。

半導体デバイス、MEMS、TFTなどナノスケールの精度で製造される エレクトロニクス製品の構造解析を行うための新たな手法： クロスビームFIBにより断面観察をご提案いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

HDS600シリーズ・・・±600Vバイポーラ高速高圧アンプ

1200Vpp（±600V）バイポーラ高速高圧アンプ！ モジュールタ…

電子ビーム、イオンビーム用の静電レンズ、静電偏向などに最適な高速高圧アンプです。また、近年多くのアプリケーションに利用されているピエゾ素子や、無機ELディスプレイ、MEMSなどの駆動にも利用できます。外部信号入力±10V信号に同期して正弦波、三角波、鋸波、方形波などの出力が可能です。お客様のシステム仕様に合わせたカスタマイズ対応、ＯＥＭ対応も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： フューテックス株式会社

断層画像撮影システム【SS-OCT】

HIGH SPEED SWEPT SOURCE を用いたプローブ型OC…

さ方向) ■ リアルタイム2D画像の観測で位置決め、シームレスに3D画像計測へ 　 数秒で1ボリュームの撮影が可能 ■ 中心波長は1060nm・1310nm・1550nmから選択可能 　 MEMSタイプ・VCSELタイプが選択可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムズエンジニアリング

両面顕微鏡システム『TOMOS-50』

表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました

『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フローベル

半導体内部観察顕微鏡『NIR2021-200』

1.3メガSWIRカメラ搭載！チップ内部のメタル配線、ダイボンディング…

『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。 1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、 近赤外画像でありながら、高解像画像の取得が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

ＭＥＭＳスキャナ検査システム

インライン検査に最適、ＭＥＭＳスキャナ検査システム

ＭＥＭＳ光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定（３角スリット時間変化検出方式） ...

メーカー・取り扱い企業： エーエルティー株式会社

粒子画像速度測定法 (PIV) - マイクロ PIV

顕微鏡向けステレオ PIV になります。 MEMS / Lab-on…

【主な特徴】 - ミクロンレベルの分解能で速度、温度、濃度、液滴径、pHの測定が可能 - 2D2C / 2D3C に対応 - 速度とスカラー量の同時計測も可能 - 従来型の速度2成分に対し、速度3成分の計測にも対応 レンズの倍率が高く、分解能、測定精度も優れ、被写界深度の調整も可能 - 専用のキャリブレーションキットにより、立体イメージをマイクロレベルで補正が可能 - インターロック...

メーカー・取り扱い企業： ダンテック・ダイナミクス株式会社