MEMS | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

【PLAZMARK活用事例】MEMS部品メーカー工程管理課

簡単にしかも瞬時に装置の現状把握が可能！生産品質の顕著な向上が見られた…

MEMS部品メーカーの工程管理課が『PLAZMARK ウエハ型』を導入した事例をご紹介いたします。お客様のニーズに合わせて高付加価値なMEMS部品を製造していますが、多品種少量生産なのでなかなか歩留りが上がらず苦慮していました。生産工程に検査設備を導入しようとすると、導入費用が高過ぎるという課題もありました。当製品を試したところ、極端なバラつきは目視で簡単に把握。微妙...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』

MEMSデバイス試作から量産まで！お客様の未来創りをMEMS技術でお手…

シリコンセンシングのMEMSファンドリは1999年創業以降の自社MEMSジャイロセンサの生産実績を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMS開発・生産受託を行います。 PZT圧電薄膜、Si深掘りエッチング、ガラス加工、ウエ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

MEMS 光マトリックススイッチ

◆〜32x32chシングルMEMS OSW◆低挿入損失(≤2.5dB@…

◆64×64,128×128対応、MEMSミラーアレイソリューションも提供ポート数により二つのソリューションを展開 MEMSミラーアレイソリューション >>64×64,128×128や更に多チャンネルも対応可能 ME...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

MEMS シングルモード光スイッチ

◆標準品最大64ch,その他のチャンネル数についてもカスタム対応◆16…

■MEMS OSW (multi mode)：仕様波長 (nm)：830～870, 960～1000, 1290～1330, 1525～1568 チャンネル数：2/4/8/16/24 挿入損失 (d...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

MEMSに欠かせない技術『精密電鋳』解説資料 ※用語集付き

プリンターヘッド、自動車、携帯電話等で使われる加速度センサーやミラーデ…

精密電鋳技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法のひとつです。写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

MEMS マルチモード光スイッチ

◆標準品最大24ch,その他のチャンネル数についてもカスタム対応◆低挿…

◆チャンネル数、動作波長等、カスタム対応可【仕様】 ■MEMS OSW (multi mode) 波長 (nm)：830～870, 960～1000, 1290～1330, 1525～1568 チャンネル数：2/4/8/16/24 挿入損失 (dB)：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

FTIRモジュール『超小型MEMS-FTIR』

MEMS技術を使用した革新的なFTIRモジュール

本製品はMEMSを利用することにより干渉計と検出器を一体化した非常に小型なFTIRです。光源を内臓している従来の大型なFTIRとは異なり、本製品は任意の光源を外付けで使用できるため、光源のスペクトルを測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京インスツルメンツ

半導体治工具に適したフッ素樹脂コーティング技術

半導体治工具で必要な機能を付与できるコーティングをご紹介します

れている表面処理『バイコート(R)』『ナノプロセス(R)』 ■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途・選ばれている表面処理『セーフロン(R)』『PBI、PIコーティング』 ■精密ノズル、MEMS部品、光学レンズなどの用途・選ばれている表面処理『ナノプロセス(R)』 ■薬液供給タンクなどの用途・選ばれている表面処理『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』『セーフロン(R)AP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

半導体製造プロセスとは？半導体製造を支える表面処理まで紹介

半導体製造プロセスとは？半導体製造装置で採用される表面処理を紹介します…

ばれている表面処理『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』 ■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途・選ばれている表面処理『セーフロン(R)』『PBI、PIコーティング』 ■精密ノズル、MEMS部品、光学レンズなどの用途・選ばれている表面処理『ナノプロセス(R)』 ■薬液供給タンクなどの用途・選ばれている表面処理『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』『セーフロン(R)AP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

【資料ダウンロード】半導体･電子分野で選ばれる表面処理「用途別」

帯電防止性・耐熱性・耐薬品性・化学的不活性な特性のコーティングが半導体…

『バイコート(R)』『ナノプロセス(R)』 ■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途・選ばれている表面処理『セーフロン(R)』『PBI、PIコーティング』 ■精密ノズル、MEMS部品、光学レンズなどの用途・選ばれている表面処理『ナノプロセス(R)』 ■薬液供給タンクなどの用途・選ばれている表面処理『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』『セーフ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

【資料ダウンロード】半導体･電子分野で選ばれる表面処理「用途別」

半導体製造や電子部品製造で選ばれる表面処理技術をご紹介します。

れている表面処理『バイコート(R)』『ナノプロセス(R)』 ■ウェハー・ガラス用ハンドなどの用途・選ばれている表面処理『セーフロン(R)』『PBI、PIコーティング』 ■精密ノズル、MEMS部品、光学レンズなどの用途・選ばれている表面処理『ナノプロセス(R)』 ■薬液供給タンクなどの用途・選ばれている表面処理『テフロン（TM)フッ素樹脂コーティング』『セーフロン(R)AP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

サンドブラスト

アルミナ等の超微粒子を吹き付け、微細な切削加工を行う事が可能！

MEMSにおける3次元微細加工において、アルミナ等の超微粒子を吹き付ける事により、微細な切削加工を行うことが出来ます。ガラス基板やSi基板に専用のドライフィルムレジストにて微細なパターンを形成し、サンドブラストにて溝形成や穴加工を行います。また3次元測定機での計測・評価も可能です。一枚からの試作に対応いたします。高アスペクト比のパターニングが実現しました。ミクロン、ナノメートルオーダーの溝や穴加工が可能...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

電鋳を詳しく解説！用語解説集

電鋳やMEMS、フォトリソグラフィなどについて詳しく解説しています！

当資料は、電鋳やMEMS、アスペクト比などの用語を掲載した用語解説集です。「電鋳(Electroforming)」とは、電気めっき法による金属製品の製造・補修又は複製方法です。レコード、CDの原盤など...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

特許出願中　塗布重量自動計測システム付薄膜積層コーティング装置

特許出願中！微量な塗布重量を瞬時に計測し、管理できます。

の色温度MacAdam 2-step ellipseを目標に、LED向け蛍光体自動塗布ラインで培った塗布重量自動計測システム付薄膜積層コーティング装置を燃料電池電極形成、次世代二次電池電極形成、MEMSを含むエレクトロニクス分野のフォトレジストコーティング等に展開いたします。常温で反応し経時的に増粘する塗材や、沈殿が激しい不安定なスラーリー等のハンドリングが難しい塗材を、付加価値の高いLED...

メーカー・取り扱い企業：エムテックスマート株式会社

微小ピンセット　「ナノピンセット」

MEMS技術を用いてシリコンウェハを微細加工して作製されたピンセットツ…

アオイ電子製「ナノピンセット」は、ナノ・マイクロサイズの試料把持を行うためのグリップツールです。 MEMS（Micro Electro Mechanical System)技術により把持力を精密制御でき、TEM試料をはじめとする分析用試料や、細胞などのバイオ試料まで、硬軟様々な試料の把持に対応できます...

メーカー・取り扱い企業：アオイ電子株式会社

200μｍ以上の厚膜を作製可能！オジックテクノロジーズの精密電鋳

MEMSに欠かせない技術『精密電鋳』！当社の精密電鋳技術は所定の膜厚を…

精密電鋳技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法のひとつです。写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、高性...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

『UV露光装置』

両面露光対応機などUV露光装置を豊富にラインアップ！R&amp…

『UV露光装置』は、マニュアルからセミ/フルオートマチック、両面露光対応機まで取り揃えています。豊富な製品ラインアップでR&D～量産まで対応可能。半導体デバイスやMEMSデバイス、マイクロ流体チップなど様々な用途に使用されています。 UVライトソースのみの販売も行っています。【ラインアップ】 ■コンタクトマスクアライナ:Model 200 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

研究開発に最適！卓上型の真空・大気圧・粉体プラズマ装置

【表面改質】濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄！最先端プラズマ処理で新技術…

　　ガラスの洗浄・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化・各種塗工の濡れ性UP　など・・・　【大学・研究機関実用例】・PDMSとガラスの貼り合せ　・MEMSの接着強化　・歯科医療・医療用チューブの洗浄　　・繊維の濡れ性向上　・細胞培養の前処理　など・・・　【粉体の表面改質】・カーボンナノチューブ・炭素粉体・セラミック・シリカな...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

恒温恒湿試験装置『Humi Master』

広い温度範囲で優れた安定性を発揮する恒温恒湿試験装置！幅広い用途に対応

された恒温恒湿試験装置です。特許技術の超安定飽和槽を内蔵し、広範囲・高い安定性を発揮。試験装置や製造設備など様々なアプリケーションに対応します。【アプリケーション例】 ■MEMS温湿度センサ調整装置 ■静電容量型温湿度センサ湿度検査装置 ■車載用温湿度ユニット製造装置 ■気象用温湿度センサ製造装置 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社第一科学

プラズマ除去装置『HDRF』

フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去！当社のプラズマ除去装置をご…

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社で取り扱う、『HDRF』をご紹介いたします。 MEMS、LED、先端パッケージングのデバイス製造段階で特に重要になる、フォトレジストや有機ポリマ残渣を低温で除去します。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■温度...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

株式会社オジックテクノロジーズ　『精密電鋳』　技術紹介

試作から量産まで高度MEMS技術がサポートしています

「精密電鋳」技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法です。写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4

最大8インチ対応角基板まで対応可能セミオートアライメント対応露光…

ズースマイクロテック MA/BA GEN4 は最大８インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に対して最適な装備を備えています。最適化されたアライメントマーク観察光学系と画像処理機能によりバラツキの少ないアライメントが行えます。...

メーカー・取り扱い企業：兼松ＰＷＳ株式会社

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS等異方性エッチにも対応実績有り ■300mmまで実績がございます。 ■S/DやIPA蒸気乾燥、温水引き上げ乾燥の各種乾燥ユニットに対応　◎IPA蒸気乾燥では、ウォータマーク抑制機能を搭載 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

リークディテクター LD239

従来比1/3以下の小形・軽量化と、約20倍の高感度化、高安定性を達成。

最新のMEMS技術により、心臓部であるセンサーとセルのマイクロ化と吸引ポンプの安定化を図り、小形化と性能向上を両立させました。これにより、従来比1/3以下の小形・軽量化と、約20倍の高感度化、高安定性を達成し、...

メーカー・取り扱い企業：ジーエルサイエンス株式会社分析機器事業

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

対応したフレキシブル対応が特徴。小径ウェハや不定形基板には専用搬送トレイで基板搬送や成膜が可能。メタル成膜においてはウェハプロセスの配線・電極膜・薄膜磁気デバイスのセンサー膜・保護膜などに加えMEMSセンサーの圧電膜などR&Dを含め量産までを細やかにサポートいたします。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

クロムエッチング液『Crシリーズ』

サイドエッチングの少ないパターニングが可能なクロムエッチング液

水晶振動子やMEMSセンサーなどの電極材料、フォトマスクに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。【特徴】 ■サイドエッチングの少ないパターニングが可能 ■Cr-301はエッチングレートが極めて低いた...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

【アオイ電子】ナノピンセット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

アオイ電子製ナノピンセット（Nano Tweezers）は、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハより作製されたピンセットです。専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、先端が滑らかに開閉...

メーカー・取り扱い企業：アオイ電子株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

！「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。【アプリケーション例】 ■レンズ・ミラー　　　■基板・光学部品　　■シリコンウェハー ■半導体回路等のPCB 　■MEMS等の精密機器　■光ファイバー製品 ■通信機器　　　　　　■医療機器　　　　　■航空宇宙関連機器 ■プリンター　　　　　■ディスクドライブヘッド等のメカ機構　（各場面に適したアタッチメントを...

メーカー・取り扱い企業：オーテックス株式会社

ナノ潤滑膜評価装置

単分子膜の存在形態や、配列構造に依存した摩擦特性の測定ができます

当製品は、ナノ潤滑膜の凝着特性(メニスカス)と摩擦特性が超軽荷重で測定できる評価装置です。凝着力と摩擦力ともに、高分解能(分解能5μN)で測定。 MEMS部品用の潤滑剤の凝着力・摩擦力測定のほか、生体関節潤滑液・蛋白質潤滑液と人口関節用軟骨材の摩擦特性の測定や、吸着／摩耗状態の評価などに応用することができます。【特長】 ■特許取得...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクアルファ