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PRmm単位を超える広い面内測定範囲!多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…
当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社新興製作所
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PR大電流用途で使用されるバスバー・コイルを基板化することで高い絶縁性と工…
重電や自動車業界で大電流用途として使用されているバスバー・コイルを基板化しました。 基板化したことで以下の効果が見込めます。 ・IGBTやSiCといったパワーデバイスの基板実装 ・基板実装後に装置への取付が可能→組立時の工数削減と誤配線の防止 ・基板化、配線の簡易化による省スペース化→装置全体の小型化 ・一般的に厚銅基板というと銅箔厚が200μ(0.2mm)以上の基板を指しますが...
メーカー・取り扱い企業: 共栄電資株式会社
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再結晶SiC (HE801)「最適な表面改質で多くの用途に対応」
高強度、高熱伝導のSiCを基材とした熱処理用道具材。プラズマ溶射での表…
再結晶SiC (HE801)は、セラミック電子部品(MLCC、インダクタ、LTCC、SOFCなど)の焼成(800~1400℃)に使用されるセッター、プレート、ラックなどの炭化ケイ素質(SiC)を基材とする熱処理用道具材です。 焼成物に応じた表面改質(ジルコニア、アルミナ他)で多くの用途に対応致します。 【特徴】 ・高強度、高熱伝導のSiCを使用した薄肉・軽量・低熱容量道具材、高速焼成に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱…
超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。 ◆コストダウンに貢献 ・長期のリサイクル使用が可能 ・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている ・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる 【特徴】 ・高純度(純度はppmレベル)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます!
CERASIC常圧焼結SiCセラミックスは耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。 半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められており、高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接…
カーボン接着剤は炭素材料用(黒鉛材、C/Cコンポジット等)に開発された高強度・耐熱接着剤です。 接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。 【主な用途】 ・黒鉛治具の接着 ・SiCウェハの引き上げ用種結晶の接着 ・高温真空・不活性ガス雰囲気での黒鉛、C/Cコンポジット同士の接着 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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