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PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 !生…
『Deopo(デオポ)』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマルプラント
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PRカスタマイズ可能なワイヤグリッド偏光ビームスプリッター、入射角依存の少…
WGF(TM)を使用した、ワイヤグリッド偏光ビームスプリッターキューブタイプ(WGF(TM) PBS)です。 すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF(TM) PBSに替えることで輝度向上が期待できます。 縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度を向上させます。 入射角依存が少なく、安定した光学性能を維持します。 ※WGF(TM)は旭化成の製品です。...規格品 WP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティカルソリューションズ
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!…
半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベルのメタル膜の精密エッチング ■独自機構による抵パーティクルプロセス ■メタル膜、化合物半導体基板など幅広い用...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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0.3~0.4nm厚の分子単層コーティング。洗浄・乾燥工程不要でコスト…
『Aldyne』は、基材の塗工剤との接着性を高める大気圧プラズマ処理。 厚み0.3~0.4nmの分子単層の機能コーティングを実現します。 水性、溶剤性、UV(紫外線)乾燥型のインクやラッカー、 接着剤に対し優れた接着性を発揮。 液体・固体のプライマーを使用しないため、残留物の洗...
メーカー・取り扱い企業: ソフタル・コロナ・アンド・プラズマGmbH 日本支社
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【表面改質】濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄!最先端プラズマ処理で新技術…
・歯科医療 ・医療用チューブの洗浄 ・繊維の濡れ性向上 ・細胞培養の前処理 など・・・ 【粉体の表面改質】 ・カーボンナノチューブ・炭素粉体・セラミック・シリカなど μ~nm粒径まで親水性を向上致します!...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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"大気圧プラズマ装置の処理形態"や"当社独自の装置特長"などについて解…
【当社独自の装置特長(ダウンストリーム型)】 ■幅広、長尺物への均一処理(100ミリ~3000ミリ) ■半導体チップ上の処理も可能(処理後のトランジスタ特性変化なし) ■4nmのL&Sでも絶縁破壊等の発生が無い ■ワーク内部の分子間架橋特性変化や分子切断の影響やダメージ発生がない ■Particle発生が無い(0.3μ以上及び2.83SLMのサンプリング時) ■窒素消費が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イー・スクエア
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大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現!バグフィルターにて捕獲…
加速制御及びスパッタ効果の抑制効果から、Particle発生が無い ■誘電体電極寿命が半永久的に使用でき、ランニングコスト低減 ■半導体チップ上の処理も可能(処理後のトランジスタ特性変化なし<4nm以上のL/S>) ■プラズマ発生エリアとワーク間距離を最小限にする構造(特許)により、高性能化が実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イー・スクエア
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低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性!
0mm×D2000mm×2000mm ■プラズマソース:ICP、RFバイアス ■ガス種:SiH4、O2、N2、HMDSO、NF3 ■ウエハサイズ:~φ12インチ(FOUP対応) ■成膜速度:~300nm/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セルバック
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大気圧プラズマ処理機『ALDYNE』※フィルム加工・印刷業界向け
高いエネルギーレベルが安定的に長期間持続!高機能性基材の開発が可能に!
【技術的特徴】 ■基材表面10nmレベルの分子構造変化による、直接接着性の改善 ■特許出入口シールゾーンによる、ガス封止構造が効率的なプラズマ放電による高速度処理が可能 ■清掃、パラメータ設定及びメンテナンスが容易な、空圧作動の...
メーカー・取り扱い企業: ソフタル・コロナ・アンド・プラズマGmbH 日本支社
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