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119件 - メーカー・取り扱い企業
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技術レポート進呈『アルバック テクニカルジャーナル No.80』
パネルレベル高密度実装、磁気抵抗メモリ、電離真空計など電子デバイスの研…
『アルバック テクニカルジャーナル』は、技術開発型企業アルバックならではの 技術者独自のレポートを紹介しているアルバックグループの技術情報誌です。 今号では、近年ニーズが高まっているICパッケージ基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成…
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVA…
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト～ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル～ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェア【…
“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです…
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。【アルバック／ULVAC…
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。 真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。 【特徴】 ○表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ○簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ○リークテスト機能の充実...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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触針式プロファイラー Alpha-Step D-500/600
低針圧測定！さまざまな試料表面を測定するプロファイラーです。【アルバッ…
Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 ワイドな垂直測定レンジ、優れた段差測定再現性。観察用カラーカメラ、キーストーン画像補正機能付。 充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。 【特徴】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○L...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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G-TRANシリーズ マルチイオンゲージSH2-1/SH2-2
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アル…
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニ...
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無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…
ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【ア…
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速...
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さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…
光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量 本体ユニット（TSC）： 4.9kg 拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源 AC100～240V（50/6...
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マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【…
メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。 【ラインナ...
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
各種研究開発、材料開発等の小規模実験用途から要求される様々な機能に対して、アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のＲ&Ｄ装置。 【特徴】 ○低圧力プロセス ○多元同時/多積層膜スパッタ成膜 ○良好な膜厚分布 ○LTSの採用 ○磁性体薄膜...
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測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわ…
本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ...
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排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。【アルバック／…
HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。 保守パネルは簡単に外す事ができ、各部へのアクセスも容易、作業手順解説画面も搭載しております。 【仕様】 ○入力電圧[V] 100-120 or 200-240 ○テストポート形状 NW25(ISO) ○起動時間[min] <2 ...
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メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニ…
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、または...
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低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ…
CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 480mm×350...
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高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【ア…
UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。 ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。 一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。 【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合...
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消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【ア…
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。【アルバッ…
ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。 【仕様】 [ジャケットヒータ] ○使用電力 AC100V, 100W（CGM-JH01 ／ CGM-JH02）, ...
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高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバ…
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1...
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水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバ…
CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302
エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…
Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量 排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧 AC100V ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです…
リークディテクタHELIOT ZEROは、自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです。 分析部と操作部が最大30m分離可能で、分析部は取付け姿勢が自在。 小型化による省スペース化に貢献します。 【仕様】 ○分析管 磁場90度偏向型質量分析計 ○検出可能ガス種 ヘリウム ○真空法検出範囲 E-12 ～ E-3 Pa・m3/s ○スニッファー法検出範囲 E...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP
豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しまし…
差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニ…
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVA…
EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 1...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…
VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…
Qulee CGMシリーズは、高圧下（1Pa 以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式 四重極型質量分析計 ○質量...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVA…
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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ハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ
各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応【ア…
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計Qulee シリーズのハイエンドモデル機“Qulee HGM”です。 2.5 × 10-6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。 【仕様】 ○電源電圧 DC24V±10% 50W ○質量（センサユニット/分析管） 2.4kg...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／…
VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ）です。また、メンテナンス性...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／…
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバ…
VS シリーズは、1 段式ベーン型（回転翼型）の採用により構造の単純化と高速化をはかり、小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。振動を大幅に低減したことで、工場建屋の基礎工事などのポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。また、油循環系統と冷却系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いた...
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チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…
チタンゲッタポンプ（GGT-3、PGT シリーズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパ...
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メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ
水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…
ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 ...
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高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバ…
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴...
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センサ部はセラミックによる一体構造で、優れた再現性、安定性。【アルバッ…
CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採...
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G-TRANシリーズ4チャンネルディスプレイユニットIM1R1
最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。【アルバック…
４チャンネルディスプレイユニットは、最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。 ８点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。 【特徴】 ○□96mmDINサイズを採用 ○入力電圧をDC24V、AC100Vから選択 ○最大4台の計測ユニットの...
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必要最低限の機能に絞り込み、コストの低減や省スペース化を可能としました…
G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計 SW1は、大気圧から5 × 10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。 【ラインナップ】 ○SW1-1/SWP-16 ○SW1-2/SWP-R1/8 詳しくはお...
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基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバッ…
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W ...
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3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／…
センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧 DC24V±2V, 90mA（Max.） ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK ES4A
排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アル…
ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ○ドライポンプの省エネに貢献 ...
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専用の電源やディスプレイは不要！お持ちのスマートフォンで手軽に真空計測…
『SWU10-U』は、USB ケーブルによりスマートフォンとダイレクトに 接続が可能なスマートフォン対応ピラニ真空計です。 お客様がお持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能。専用の電源や ディスプレイは必要ありません。 軽量・コンパクト。ULVAC独自の構造（特許番号 6595945）及び 本体保護ラバーの採用により、耐衝撃性に優れています。 【特長】 ■スマートフォ...
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