スクリューメータ 高精度 容積式流量計「OMGシリーズ」

PR精度はなんと±0.1％Ｒ.Ｓ.で最大流量7500Ｌ／分！２次標準器とし…

スクリューメータ 容積式流量計「ＯＭＧシリーズ」は、流体が直線的に流れる構造ですので一般的なギアー式に比べると格段に圧力損失が低く、流量計内部の負荷も軽減されます。 測定精度は±0.1RS と非常に高く、流量基準器としてもご使用いただけます。 対応流体は、接着剤，シーラー，PVC，ポリオール等の高粘度液体の計測はもちろんのこと、ガソリン，軽油，灯油等の燃料の低粘度液体の計測も可能です。また、豊...

メーカー・取り扱い企業： 日本テスコン株式会社

【基礎知識】防爆仕様の撹拌脱泡機

PR防爆仕様の撹拌脱泡機なら共立精機にお任せください！

撹拌・脱泡を行う環境に可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が発生するような ことはないでしょうか？ 共立精機は撹拌脱泡機『Hi-Merger(ハイマージャ)』のメーカーです。 お客様のニーズに応じて撹拌脱泡機の防爆仕様に対応できます。 可燃性ガスや可燃性液体の蒸気が存在する場所、もしくは存在する恐れが ある場所で使用する場合の安全性向上のため、防爆構造が必要です。 ぜひご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 共立精機株式会社

コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ

高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…

Qulee CGMシリーズは、高圧下（1Pa 以下）での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計／プロセスガスモニタです。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。 【仕様】 ○質量分離方式　四重極型質量分析計 ○質量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ

真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。【アルバック／ULVAC…

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計です。 各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。 真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。 【特徴】 ○表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能 ○簡単操作 −One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要 ○リークテスト機能の充実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

触針式プロファイラー　Alpha-Step D-500/600

低針圧測定！さまざまな試料表面を測定するプロファイラーです。【アルバッ…

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 ワイドな垂直測定レンジ、優れた段差測定再現性。観察用カラーカメラ、キーストーン画像補正機能付。 充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。 【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ

各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応【ア…

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計Qulee シリーズのハイエンドモデル機“Qulee HGM”です。 2.5 × 10-6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。 【仕様】 ○電源電圧　DC24V±10% 50W ○質量（センサユニット/分析管）　2.4kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズ マルチイオンゲージSH2-1/SH2-2

広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アル…

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9100G

低レート蒸着制御や高精度な膜厚制御を実現した水晶発振式成膜コントローラ…

CRTM-9100G は低コストと高機能を両立させることをコンセプトに開発された水晶発振式成膜コントローラです。 多層膜の連続蒸着や最大4 元までの同時蒸着制御、低レート制御など、アルバックが水晶発振式成膜コントローラのメーカとして、長年培ってきた技術をすべて搭載しました。各種蒸着プロセスにて、長くお役立ていただけます。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 480mm×350mm×149m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38 kg ○電源電圧　AC100V 15A ○圧縮空気　Dry N2 : 0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しまし…

差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】 ○ガス分析計本体　Qulee BGM-101/102/201/202、HGM-302から選択 ○最大サンプリング圧力 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ

薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【ア…

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ

センサ部はセラミックによる一体構造で、優れた再現性、安定性。【アルバッ…

CCMT-D シリーズは、セラミック（アルミナ）でできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それにともない変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。 センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく（絶対圧真空計）、精度良く測定出来ます。 【特徴】 ○長期間にわたる安定製性 ○セラミック膜の採...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズ4チャンネルディスプレイユニットIM1R1

最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。【アルバック…

４チャンネルディスプレイユニットは、最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。 ８点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。 【特徴】 ○□96mmDINサイズを採用 ○入力電圧をDC24V、AC100Vから選択 ○最大4台の計測ユニットの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計 SW1

必要最低限の機能に絞り込み、コストの低減や省スペース化を可能としました…

G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計 SW1は、大気圧から5 × 10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。 【ラインナップ】 ○SW1-1/SWP-16 ○SW1-2/SWP-R1/8 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズピラニゲージ

3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計【アルバック／…

センサユニットSP1 は、「測定子WP シリーズと回路部一体型」で3000Paから0.4Paまでの測定が可能なピラニ真空計です。この真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込むことで、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。 【仕様】 ○LED表示　パワー、エラー、セットポイント1/2 ○電源電圧　DC24V±2V, 90mA（Max.） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

光学式プロセスモニタOptius

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます…

光学式プロセスモニタOptiusは、プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。 反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。 【仕様】 ○質量　本体ユニット（TSC）： 4.9kg 　　　　拡張ユニット（ESC, 1ch）： 1.3kg ○電源　AC100～240V（50/6...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニット ISG1

測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわ…

本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニット

圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULV…

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○測定圧力範囲　-100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定精度　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リークディテクタ HELIOT 900シリーズ

排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。【アルバック／…

HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。 保守パネルは簡単に外す事ができ、各部へのアクセスも容易、作業手順解説画面も搭載しております。 【仕様】 ○入力電圧[V]　100-120 or 200-240 ○テストポート形状　NW25(ISO) ○起動時間[min]　<2 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ガス分析計用ソフトウェア Qulee QCS

アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェア【…

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。 【特徴】 ○Quleeの標準ソフトウエア →Qulee全シリーズに標準採用（Windows XP/7対応） ○簡単操作 →充実したショートカットボタンによ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

極高真空計 AxTRAN

Bessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計で…

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5x10^-10Pa の測定分解能を実現しました。 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に最適です。 【仕様】 ○使用温度範囲　10 ～ 40°C ○使用湿度範囲　15 ～ 80％（ただし結露なきこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ガス分析計Quleeシリーズ　オプション

Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。【アルバッ…

ULVAC の残留ガス分析計／プロセスガスモニタ『Qulee』シリーズは様々なオプションを用意しています。 自動測定開始機能を追加した『Qulee QIP』やジャケットヒータ、キャリーケースなど、Quleeをより有効にご利用いただけますのでご活用ください。 【仕様】 [ジャケットヒータ] ○使用電力　AC100V, 100W（CGM-JH01 ／ CGM-JH02）, 　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサ CRTSシリーズ

水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバ…

CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リークディテクタHELIOT ZERO

自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです…

リークディテクタHELIOT ZEROは、自動ヘリウムリークテストシステム用に専用設計されたリークディテクタです。 分析部と操作部が最大30m分離可能で、分析部は取付け姿勢が自在。 小型化による省スペース化に貢献します。 【仕様】 ○分析管　磁場90度偏向型質量分析計 ○検出可能ガス種　ヘリウム ○真空法検出範囲　E-12 ～ E-3 Pa・m3/s ○スニッファー法検出範囲　E...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空計G-TRANシリーズ　マルチイオンゲージST2-1/2-2

測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【…

真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズコールドカソードゲージ

メンテナンスが容易な構造となっており、ランニングコストの低減が可能です…

G-TRANシリーズの逆マグネトロン型コールドカソードゲージです。 フィラメントを使用しないため、センサの消耗、破損の心配がありません。 また、メンテナンスが容易な構造となっていますので、ランニングコストの低減が可能です。 【特徴】 ○トランスデューサ仕様 →圧力表示器が不要な場合、表示構成上の真空計にかかるコストの 　低減化、制御盤まわりの省スペース化、省配線化などを実現 ○メ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ピラニ真空計GP-Gシリーズ

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。【アルバック／ULVA…

GP-Gシリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。 フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。 また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。 【ラインナップ】 ○GP-1000G ○GP-2001G ○GP-2002G ○GP-1GRY（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

真空装置の開発・製造・販売を手がける当社の、技術とノウハウが詰まった 「総合カタログ」と「真空に関する技術資料」をプレゼント中！ 総合カタログには、長期間の安定運転が可能な「ドライ真空ポンプ」、 省スペース・省電力を両立した「真空計」などを多数掲載。 技術資料は「IGZO膜の成膜手法」「マスクを用いたイオン注入技術」などを データ資料を交えて徹底解説！“真空”に携わる技術者必見の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

触針式プロファイラー　P-7/P-17

優れた段差測定再現性！自動シーケンス測定機能付プロファイラーです。【ア…

P-7/P-17は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 優れた段差測定再現性。自動シーケンス測定機能、3タイプの測定ヘッド、Apex 2D解析/レポートソフトウェア付。 試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定等に最適です。 さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック…

CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法　W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量　約3.6kg ○ユーティリティー　AC85 ～ 230V 5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.