医薬API粉砕装置『アペックスミルF&M』

PR金属系コンタミを大幅に抑制したビーズミル。処理速度も向上。「第26回 …

医薬品API粉砕装置『アペックスミルF&M』はミル、タンク、ポンプを一体にし サニタリー性の改善とコンタミの抑制を徹底的に追求したビーズミルです。 特許出願中の「動的シーリング機構」の採用でメカニカルシールを省略。 分解洗浄の手間を省き、スラリーへの摺動部摩耗粉の混入を防止しています。 【特長】 ■メカニカルシール不要の独自構造で金属・シール液によるコンタミを防止 ■ビーズ分離部からの金属コン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広島メタル＆マシナリー ケムテック事業部

【一般工業用】フッ素(PCTFE)高機能性液体・潤滑剤ガイド

PR幅広い用途にフッ素ケミカルのメリットを提供できるように特別に開発されて…

先端を行く当社のフッ素高機能性液体は、過酷な使用条件に耐えられるように 独自に調合されており、そのようなフッ素のグリースやオイルは、メカニカル シールのバリアフルード、スレッド、ガスケット、Oリングのシーラントなどの 用途に好適です。 【掲載内容(ラインアップ)】 ■メカニカルシール用バリアフルード ■ガスケット、Oリングシーラント ■反応性ガス供給用潤滑剤 ■計測機器充填用不...

メーカー・取り扱い企業： Halocarbon合同会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

mm ○Z軸バリエーション:50mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

ョン:156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…

、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使用しています。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に 適しています。 【特長】 ■300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション:50mm ○リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

Z軸バリエーション:20mm、40mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

リエーション:330mm、440mm、500mm、550mm ○Z軸バリエーション:20mm、32mm、40mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル