『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』

PRシール用途以外にも！クリーンな環境下での断熱材や緩衝材などとしても使用…

『ゴア(R) ハイパーシート(R) ガスケット』は、 柔軟性、加工性に優れ、耐熱性・耐薬品性・耐クリープ性・クリーン性を兼ね備えた 延伸PTFE（ePTFE)100％からなるシートガスケットです。 一般工業の各種機器用ガスケットを初め、半導体・FPD製造工程、装置用ガスケットなど、厳しいクリーン性が求められる分野でのガスケットとして、様々な用途で優れたシール性能を発揮します。 【『...

メーカー・取り扱い企業： 日本ゴア合同会社

UHPLC用配管 MarvelX / MarvelXACT

PR工具不要、軽く手締めするだけで接続できる、UHPLC・超高速液体クロマ…

『MarvelX』は、独自のシール技術によってゼロデッドボリュームを実現し、 より良いクロマトグラムが得られるUHPLC用のフィッティングです。 工具を使わず、手締めで簡単に接続可能で、 しかも軽い力で締められ、フィッティングの耐用年数が向上。 ポートの摩耗も抑え、UHPLCシステムのコストを削減することができます。 チューブ交換が可能でランニングコストを削減できる『Marvel...

メーカー・取り扱い企業： IDEX Health&Science 株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

mm ○Z軸バリエーション:50mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

ョン:156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション:50mm ○リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

Z軸バリエーション:20mm、40mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

リエーション:330mm、440mm、500mm、550mm ○Z軸バリエーション:20mm、32mm、40mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル