• オーダーメイド型スパッタリング成膜装置 製品画像

    オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

    PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能

    当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

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    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • 3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』 製品画像

    3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』

    PR【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速・高品質…

    『ALCIS』 日々進化する素材や工程に対応する柔軟な加工機 高出力Blueレーザ発振器/ファイバーレーザ発振器を搭載 「高出力Blueレーザ」 高出力BLUEレーザ(3kW/4kW)により、高速・スパッタレスの銅溶接を実現します。 「スキャナヘッド」 スキャナヘッドにより多数の加工点の高速加工を実現。 コンビ加工、オンザフライ加工、スキャナ加工の三つの加工方法で、 好適な加工方法を選択可能で...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アマダ(アマダグループ)

  • 2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』 製品画像

    2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

    フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能!真空及びガス置換雰囲…

    『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能な ため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空 及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式 スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプション でL/Lチャンバ、移動式膜厚計...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

  • ロータリーマグネトロン 製品画像

    ロータリーマグネトロン

    米国 SCI製ロータリーマグネトロンカソードは、世界に約3000台の納…

    3000台の納入実績を誇ります。その用途は、建築用のLow-Eガラスや、太陽電池、ディスプレイの電極膜、フィルムの反射防止膜等、様々な用途で様々な客先にて使用されています。 弊社株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン、通称SCJは、そのSCI製品と、兄弟会社のPMI製円筒・平面ターゲットの日本販売拠点です。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

  • 円筒ターゲット 製品画像

    円筒ターゲット

    スパッタリング装置に搭載する高品質な円筒ターゲット、平面ターゲット並び…

    以下製法で円筒ターゲットを作製します。 1.製法:溶解材押出し一体もの 代表的材料:Ti、Al、Cu 利点:割れるリスクがない、低速回転可能 欠点:高純度品が無い 2.製法:プラズマスプレイ 代表的材料:Si、Ag、ZnAl等 利点:割れるリスクが比較的少ない、安価、 欠点:5N以上の高純度品が難しい、すができやすい、初期立上げに時間がかかる 註:表面仕上方法により初期立...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

  • 実験用小型スパッタリング装置 製品画像

    実験用小型スパッタリング装置

    ターゲットを3種取付可能!真空中で基板を自動搬送します!

    真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。 小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。 ~特徴~ ・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。 ・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士アールアンドディー

  • 平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』 製品画像

    平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

    ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能!

    『MSS600-3』は、矩形カソード W100xH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。 基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。 また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や 様々な異種積層成...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社愛知真空

  • メンテナンス・リサーチ株式会社 会社案内 製品画像

    メンテナンス・リサーチ株式会社 会社案内

    真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

    メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源...

    メーカー・取り扱い企業: メンテナンス・リサーチ株式会社

  • ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログ 製品画像

    ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログ

    無料プレゼント中!真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

    セスガスモニタ ○膜厚計 →高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置/ソフトウェア/真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置/巻取式蒸着装置 ○CVD装置/イオン注入装置 ○アッシング装置/自然酸化膜除去装置  エッチング装置/巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • 各種ターゲット、セラミック、装置改造、コーティング受託、他 製品画像

    各種ターゲット、セラミック、装置改造、コーティング受託、他

    価格競争力がつきます。品質に自信がつきます。どんなことで相談に応じます…

    を安価に提供します。どんな形状でも引き受けます。 安価な石英ガラス材を多種形状で提供します。 真空装置の製作(電装系を含む)、改造など引く受けます。 真空蒸着、イオンプレーティング、各種スパッタリングによるサンプリング、受託加工を引きうけます。 めっき全般のサンプリング、受託加工、複雑な機械加工なども引き受けます。...

    メーカー・取り扱い企業: MSリサーチ合同会社

  • 株式会社アドバンテック 事業紹介 製品画像

    株式会社アドバンテック 事業紹介

    確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

    事業] ○環境ネットワークを形成しながら、グローバルな環境事業を推進 →カーボン・オフセット事業 →クリーン開発メカニズム(CDM)事業 →太陽電池関連事業 [マテリアル事業] ○スパッタリングターゲット材料 →各種薄膜材料向けのスパッタリングターゲットを提供 ○スパッタリングターゲットの加工 ○円筒ターゲット・カソードの販売 ○真空蒸着材料 →様々な用途に適した、蒸着材・...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドバンテック 愛媛本社

  • 株式会社AlphaPlus 取扱製品紹介 製品画像

    株式会社AlphaPlus 取扱製品紹介

    真空部品や真空システムの販売などを行っています。

    sは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。 各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に使用される「スパッタリングガン」などを取り扱っております。 【取扱製品】 ○スパッタリング蒸着機 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社AlphaPlus

  • 真空関連機器 製品画像

    真空関連機器

    各メーカーの真空関連機器を取り扱っております。

    各種真空ポンプ、真空蒸着・スパッタリング装置。真空ポンプオイル、真空配管部品など。...

    メーカー・取り扱い企業: 協立電機株式会社

  • クライオポンプ CRYO-Uシリーズ 製品画像

    クライオポンプ CRYO-Uシリーズ

    優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナッ…

    0AT/C15R/C40R ○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT [クライオ マルチシステム] ○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4 [スパッタリングプロセス用クライオポンプ] ○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP [スーパートラップ] ○スーパートラップシリーズ ○Speed TSシリーズ [極低温冷凍機] ○4K...

    メーカー・取り扱い企業: アルバック・クライオ株式会社

  • 油回転真空ポンプVD シリーズ 製品画像

    油回転真空ポンプVD シリーズ

    『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック/…

    VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このような...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • 真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定!】 製品画像

    真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定!】

    真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能!今まで困難だ…

    ム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例1:真空蒸着装置の対象物前後に設置 例2:スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例3:真空成形装置の金型近傍へ設置 例4:真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社岡野製作所

  • 【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様 製品画像

    【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

    多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

    地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

  • ロールツーロール式真空成膜装置 製品画像

    ロールツーロール式真空成膜装置

    試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置!

    なので、研究開発に好適。 フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能になります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【主な仕様】 ■成膜方式:DCマグネトロンスパッタリング(オプションにてRFに対応) ■基板搬送:ロールツーロール(張力制御付)、速度0.2~3.0m/min、       張力15~80N ■ローラー面長:140mm ■フィルム寸法:最大...

    メーカー・取り扱い企業: ユースエンジニアリング株式会社

  • 射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES 製品画像

    射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

    樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能!

    れた射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜(スパッタリング及び重合)することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム: 80sec(Al:100nm+SiOx:20nm) ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着力が得られ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空

  • R&D向け小型ロールコーター FRC-100V 製品画像

    R&D向け小型ロールコーター FRC-100V

    実験用小型スパッタリング装置!コンパクトでリーズナブルな設計! 品質…

    FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手の良い制御系を搭載しています。太陽光発電、タッチパネルなどの分野では大量生産に有利と考えられるRoll to Roll式で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士アールアンドディー

  • 金属膜+保護膜成膜装置 製品画像

    金属膜+保護膜成膜装置

    新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見!樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

    発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜(スパッタリング及び重合)することが可能です。 【対象製品】 ◆自動車ヘッドランプリフレクター ◆ミラー ◆金属装飾膜 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空

  • クライオポンプ CRYO-U12HSP 製品画像

    クライオポンプ CRYO-U12HSP

    クラス最高の排気量

    スパッタリングプロセス用クライオポンプ...

    メーカー・取り扱い企業: アルバック・クライオ株式会社

  • 500mm幅ロールコーター(ウェブコーター) 製品画像

    500mm幅ロールコーター(ウェブコーター)

    R&D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜し…

    研究開発向けのロールコーター(ウェブコーター)です。 PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。 巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。 搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。 ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士アールアンドディー

  • 高電流密度イオンビーム型イオン銃 製品画像

    高電流密度イオンビーム型イオン銃

    EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

    【仕様】  ■ イオンビームエネルギー:0–3keV  ■ イオン電流密度:>300μA/cm2  ■ 高スパッタリングレート:200Å/min  ■ ビーム径:2.5mm  ■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ  ■ イオンビームスキャニング機能:  ■ DC偏向機能:  ■ 自動出ガ...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社テク

  • 真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中!※展示会出展 製品画像

    真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中!※展示会出展

    用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を1冊に…

    展の案内~ 会  期:2017年12月13日₍水₎~15日₍金₎10:00–17:00 場  所:東京ビックサイト 小間番号:東4ホール 4120 【出展製品】 マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRONTM-EX2 W300 マルチチャンバ型成膜装置 ENTRONTM-EX W300 DC電源 DPG-10/DPG-20 標準型クライオポンプ [6型] CRYO-U6...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • 有限会社渡辺真空 事業紹介 製品画像

    有限会社渡辺真空 事業紹介

    卓越した技術力でアフターフォロー!真空ポンプのことなら当社にお任せ下さ…

    【業務内容】 ■真空装置の製作・改造・移設  ・スパッタリング装置  ・プラズマ重合装置 ■真空ポンプの修理・メンテナンス  ・油回転真空ポンプ  ・油拡散真空ポンプ  ・真空ポンプの出張修理  ・真空装置の出張修理 ■真空ポンプの販売(新...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社渡辺真空 本社

  • 株式会社富士アールアンドディー 事業紹介 製品画像

    株式会社富士アールアンドディー 事業紹介

    多彩な製品と技術を提供 多様なニーズに対応できる会社です

    【事業内容】 ○真空機械・パーツ ○チャンバー製作 排気装置 ○蒸着装置 ○スパッタリング装置 ○ラップ・ポリッシュ盤製作 オーバーホール ○特殊仕様機製作 ○両面機、片面期ーバーホール ○改造工事(定寸、リニア加圧等) ○研究開発用機械・パーツ ○特殊加工機 ○特殊...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士アールアンドディー

  • Free Chamber Order System 製品画像

    Free Chamber Order System

    多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

    のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での ご提供を可能にします。 【装置(一部抜粋)】 ■排気系  ・ロータリポンプ  ・ターボ分子ポンプ ■成膜源  ・スパッタリングカソード  ・電子ビーム蒸発源 ■その他機構  ・試料ステージ回転上下機構(自動・手動)  ・シャッタ機構付覗窓 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せくださ...

    メーカー・取り扱い企業: いちよしエンジ株式会社

  • コーティングプロセス向け真空ソリューション 製品画像

    コーティングプロセス向け真空ソリューション

    エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…

    当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識によ...

    メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社

  • 技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No77 製品画像

    技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No77

    無料プレゼント中!真空に関する最新技術資料 No.77です。【アルバッ…

    「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.77」は、真空に関する最新技術資料です。 プリント基板製造用スパッタリング装置「SMV-500F」をはじめ、 Si デバイスのはんだ実装における Au(Ag)レスプロセスの開発や、 ReRAM 素子用スパッタリング量産技術開発の現状などを掲載しています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.

  • *ロータリーポンプPascalシリーズ / 2 段式ステージ 製品画像

    *ロータリーポンプPascalシリーズ / 2 段式ステージ

    業界トップクラスの基本性能

    や分析機器用途 •質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途 C1シリーズ:腐食性用途 •研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ:腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロードロックなど...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

  • クライオポンプ CRYO-U8HSP 製品画像

    クライオポンプ CRYO-U8HSP

    クラス最高の排気量

    スパッタリングプロセス用クライオポンプ...

    メーカー・取り扱い企業: アルバック・クライオ株式会社

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