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19件 - メーカー・取り扱い企業
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PR小型・軽量・高効率なモータで機器設計の課題解決に貢献。精密制御や省スペ…
当社では、AGV/AMRやパーソナルモビリティなどの移動体や、協調ロボットをはじめとする産業機器といった様々な用途に対応可能な『ブラシレスモータ』を豊富に取り揃えています。 移動体向けモータではIPX4相当の防水性能を実現し、更に減速機や電磁ブレーキ付き、 コントローラを含めた「駆動ユニット」、制御性能に優れた「レゾルバ搭載のモデル」も取り揃えています。 協調ロボット(協働ロボット)向けには「中...
メーカー・取り扱い企業: マブチモーター株式会社
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自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
2組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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カバーガラス一体型タッチパネル(OGS)用レジストコーター
ニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板(キャリア)サイズ 550 X 650 (mm)まで対応した全自動スプレーシステム。基板のLD/ULDは多軸ロボット。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アピロス 本社
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウ…
能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1400×1100×1900(本体・薬液BOX一体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで!取扱製品をご案内…
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。 すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、 いつでもお気軽にお声をお掛け下...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像…
2組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…
ト:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
ニット(LED光源もお選びいただけます) ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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静止現像式(パドル)自動フォトレジスト現像装置(デベロッパー)
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
2組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1400×1100×1800(Φ4"本体) 400×900×1800(薬液供給+電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) その他オプション多数! ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
【仕様】 ■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください) ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください) ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高圧ジェットで驚きの剝離能力!当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
能:パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液:DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ:1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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必要な時だけ既存の保有プレス加工機に設置するだけで、自動搬送に…
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