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もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、何となく使用していたけど改めて知りたい方にも活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。【掲...
メーカー・取り扱い企業：ミネベアミツミ株式会社回転機器
リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション

PR掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機の動き、…

土壌シミュレーションツール『AGX Dynamics』は、建機作業、土木施工の様々な作業をバーチャル空間で再現することを可能にする技術です。建機作業や、掘削・放土といった土砂の挙動を高い精度で再現することが可能となっており、作業の流れ、建機の動き、土壌の変化などを事前にシミュレーションすることができます。作業者の人数や規模感が大きな土木作業領域において、必要な建機数や作...

メーカー・取り扱い企業： VMC Motion Technologies株式会社
自動レジスト現像装置（枚葉式）デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

2組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 400×900×1800(薬液供給＋電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

ト：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよ...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社
枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

ニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。ガラス基板（キャリア）サイズ 550 X 650 (mm）まで対応した全自動スプレーシステム。基板のLD/ULDは多軸ロボット。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アピロス本社
自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター
段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システムその他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1400×1100×1900(本体・薬液BOX一体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システムその他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
製品のご案内カタログ

シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで！取扱製品をご案内…

当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う製品をご案内しております。センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、いつでもお気軽にお声をお掛け下...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

ト：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

2組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 400×900×1800(薬液供給＋電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

ト：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
リフトオフ（イメージリバーサル）対応フォトレジスト現像装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

ニット（LED光源もお選びいただけます） ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

2組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 400×900×1800(薬液供給＋電源BOX) ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）その他オプション多数！ ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
試作開発枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用…

【仕様】 ■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください） ■スカラロボットによるワークの自動搬送 ■薬液昇温機能有り ■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り ■チャンバー内部の自動クリーニング機能 ■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください） ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システムその他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システムその他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システムその他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ