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148件 - メーカー・取り扱い企業
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PR国内シェアNo.1、10年以上の安心実績！シンプル構造でチョコ停もゼロ…
搬送をロボット化し、無価値時間を限りなくゼロに近づけませんか？ 『LCMR200』は、高速・高加速度搬送を実現する、リニアコンベアモジュールです。 【特長】 ■搬送ラインのタクトタイム短縮 ■自由度の高いライン設計 ■多品種少量生産に好適 ■優れたメンテナンス性 ☆HP（関連リンク）・イプロスページ内で導入事例公開中！ ☆リニア搬送システムは2013年より販売開始しております。10年以上の...
メーカー・取り扱い企業： ヤマハ発動機株式会社 ロボティクス事業部
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PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！
『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や 移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。 シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレイトシステムズ 伊那事業所
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ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…
半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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高いクリーン度が求められる環境下での実績が多いストーブリクリーンルーム…
クリーンルーム/スーパークリーンルームに対応したストーブリのSCRロボットシリーズは、クリーン度の高い環境下での作業ニーズに応えるために特別に開発された6軸ロボットです。 これらのロボットは、半導体、バイオテクノロジー、医薬、医療などの産業分野において認証が求めら...
メーカー・取り扱い企業： ストーブリ株式会社
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多軸ロボットによる新たなるフィルム研磨加工法への挑戦！動画でご覧いただ…
従来のフィルム研磨工法技術を応用し、多軸ロボットに小型フィルム研磨装置を取付ることで、多種多様な形状に対応可能な研磨装置を開発いたしました。 従来、各部位に合わせた専用装置が必要としていたものをこの1台に集約することが可能となります。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンシン
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省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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省スペースながら精密なパフォーマンス
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。 【生産性】 低コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ 素早いリンス 【生産性...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのた...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…
リングは、半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、 半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売などを行っています。 「高周波電源」をはじめ、「RFマッチングボックス」や「輸送ロボット」 などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。 当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、 確かな技術と高度な知識で、様々な問...
メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
イズに対応） ・処理ステーション数：1チャンバー（増設可） ・スクラブ機能：高圧ジェット ・処理液：有機系剥離液・純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過 ・処理能力：60枚/時 ・搬送ロボット：搬送ユニット ・スピンチャック：メカニカルチャック ・搬送ロボット：センタリング機能付スカラーロボット ・装置寸法（WxDxH）：1,000x1,500x2,000mm ※詳しくはP...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド
「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されてい...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！
17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…
工業新聞社様が実施されている、 「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開い...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
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非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ロボット溶接機によるファイバーレーザー溶接動画
弊社ファイバーレーザー溶接機(WEL-KEN製)のロボット(ダイヘン製)溶接中の動画を公開しました。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社第五電子工業
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
トでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします
入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソーワエンジニアリング
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多品種少量の精密機械加工、治工具の設計、製作がメイン
▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関連機器部品/産業用ロボット部品 太陽光発電野立架台/営農型架台/太陽光発電資材 ●調達支援事業 サプライヤー開発/生産技術指導/組立技術指導/品質管理/コスト管理/貿易業務/言語サポート ●ロボティクス事業...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
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剛性を極めた アルミフレームの新境地 ZF
栓の技法などを駆使したジョイントや、柱を梁の形状をかえることにより、力の伝達を意識したフレームのＺＦ。 アルミフレームの持つ自由度高さを生かしつつ、鉄同等の剛性で大型の装置に最適です。 また、ロボット架台としても世界的産業用ロボットメーカーにも高く評価され、標準パッケージへの採用も次々と実現！ ロボットの挙動などを含めた構造解析提案サービス（無料）により、最適なフレームや構成をご提案します。...
メーカー・取り扱い企業： SUS株式会社
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基準となる画像認識マークがない場合は通常のティーチングモードでのアライ…
をご紹介いたします。 "実装機メーカーの実装機では搭載できない特殊形状な部品をプリント基板上に 精度よく自動で搭載したい"といった課題がありました。 そこで当社は、特殊形状に合わせたロボットハンド、搭載ステージの設計に 柔軟に対応し、ベクトル演算を用いた高精度なアライメントを スカラーロボットで実現。 改善効果として、汎用マシンで対応できない部品搭載を半専用機にて実現し、 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＦＡサポート
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
以下）、≦±1.5％（600℃以上） ■ 面内抵抗値均一性：面内抵抗値均一性 ■ 真空：〇 ■ ウエハ寸法：6～8 ■ 加熱ランプ：タングステン・ハロゲンランプ ■ ウエハ搬送：フルオート（５軸ロボット） ■ プロセスガス系統数：4 ■ ウエハ位置合わせ：センタリング、OCR、アライナー（Op） ■ 昇温レート：25℃/秒（サセプタ使用時） ■ サセプタ：SiCコーティングカーボン ■ 装置外形...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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「半導体製造装置部品」や「産業用ロボット部品」などの精密加工部品11点…
当資料では、株式会社タアフが行った精密加工部品事例をご紹介しています。 “ベース”や“プレート”などの半導体製造装置部品の加工事例をはじめ、 ロボット部品の加工事例やFA装置部品、工作機械部品の加工事例を掲載。 【掲載事例】 ■半導体製造装置部品 ■ロボット部品 製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でも お気軽...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社タアフ
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シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…
▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関連機器部品/産業用ロボット部品 太陽光発電野立架台/営農型架台/太陽光発電資材 ●調達支援事業 サプライヤー開発/生産技術指導/組立技術指導/品質管理/コスト管理/貿易業務/言語サポート ●ロボティクス事業...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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EFEM
トより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロボットに反転軸を搭載することにより...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
スピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよ...
メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社
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どこの国で造っていても”Made in Japan魂”でエンジニアリン…
▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関連機器部品/産業用ロボット部品 太陽光発電野立架台/営農型架台/太陽光発電資材 ●調達支援事業 サプライヤー開発/生産技術指導/組立技術指導/品質管理/コスト管理/貿易業務/言語サポート ●ロボティクス事...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
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真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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ロボットプログラムによる自動実装も可能。製造・物流でのコスト低減に！2…
サームゲル・パテはディスペンスで実装する熱伝導ゲル材です。 熱源と放熱器の間に発生するギャップを柔軟に埋めることができます。 ロボットプログラムによる自動実装も可能で、製造・物流などの コストが低減できます。 2液性と異なり、キュアされた製品であり、実装後すぐに使用でき、 熱処理などの後工程が不要です。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： 太陽金網株式会社 東京営業所
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6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。
とによりサービス･品質･コスト･納期の最適化を実現 ○装置組立部 →搬送装置 大型自動倉庫内搬送設備・各種搬送装置 →食品・医薬品関連装置 食品包装機械、食品包装ライン一式 多軸ロボットシステムを利用した自動化ライン 医薬品製造装置 →液晶・半導体装置 液晶パネル製造ライン・半導体製造装置 →その他 工場内自動化設備、多軸ロボットシステムを利用した 製造・組立...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社キョウワ
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UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
：1組 ■露光光源：i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ファイバーレーザー溶接『ステンレス家具溶接』強度とデザインの両立
スタイリッシュなステンレス家具の溶接は、既存のレーザー溶接を凌駕する美…
◆ファイバーレーザー溶接での溶接特徴 ・従来のレーザー溶接よりも、歪みが少なく美麗な仕上がり ・ファイバーレーザー溶接ロボットにより、TIG溶接や手作業では実現でき ない美しいビードを実現 ・ヘアライン加工にも対応 ◆ステンレス材の溶接加工範囲 ・板厚 ～3.00まで溶接可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレッシオ 板金事業部 愛晃工場
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…
ボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。 【オプション対応致します】 ◇窒素流量調整 ◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ スプレー ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など その他お気軽にご相談下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体
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【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」
【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモ…
ミネベアミツミ株式会社 回転機器 -
人手不足解消＆効率化に！『商品整列ロボット』※動画公開中※
製品ができるまでは自働化されていてもその後の工程で人手がかかっ…
株式会社アルク 本社 -
【高強度・軽量・防塵】アルミ安全柵・安全カバー※一貫生産対応
軽量・高強度のアルミフレームを活用した安全柵・安全カバーを制作…
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遊園地乗り物シートに優れた安全性と快適性を提供する油圧システム
HAWEジャパン株式会社 本社 -
安全柵 『SATECH』 【低コスト＆スピード施工！】
JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な…
SATECH株式会社 -
『３Ｄ溶接検査装置システム』高速ビート検査
『溶接対象形状をロボットで正確にトレース！ 寸法検査・形状検査…
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【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech名古屋出展＞
エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをク…
トークシステム株式会社 -
リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション
掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機…
VMC Motion Technologies株式会社 -
Smart LCDC【組込機器へ液晶を搭載されたいお客様に】
「液晶」「LCDコントローラIC」でお困りのお客様、お気軽にご…
有限会社ケニックシステム 東京オフィス -
対応切削部品
鉄鋼材やステンレス、難窒化処理や焼入れなど様々な材料・処理に対…
株式会社信電舎 東京本社