乾燥型 | イプロスものづくり

PR能力とエネルギーを 10%以上向上、設備導入コストを大幅にカット！　新…

これまで主流であった熱風循環炉において、時代に合った高効率型(シェル方式乾燥炉)がついに誕生！乾燥炉の構造を変えることで大きく性能向上いたしました。高効率型(シェル方式乾燥炉)なら乾燥時間を確保しながら、乾燥炉の必要面積を下げ、ガスの使用量(ランニングコスト)を約10%以上削減することができます。既存の設備でも約90%の乾燥炉で内部改造が可能で、土日や大型連休を使って改造工事が可...

メーカー・取り扱い企業：イデア株式会社

接着・接合EXPO出展！OEM加工や高周波ウエルダーの相談受付

PR高周波トランジスター式ウェルダー『YRP－400T』を第8回「接着・接…

高周波トランジスター式ウェルダー『YRP－400T‐RC型』は、ハーネス加工やチューブ溶着・ボート溶着など小型で精密性を要する加工に適した高周波装置です。　装置が軽量・小型なので、レイアウトの自由度も拡がり、スムーズで無駄のない動きを実現いたします。　【特長】 ■予熱不要で即動作可能！ ■ソリッドステート高周波発振器を搭載 ■加熱コントロールをフィードバック制御 ■加圧に電動シ...

メーカー・取り扱い企業：山本ビニター株式会社

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。【特徴】　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置　・ウォーターマークフリー　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能　・微細パターンへ対応可能　・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...IPA蒸気を使用し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。 2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄とリンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です 1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。...■主な特長・ワーク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

『ME500-2611』　卓上型自動スピン洗浄装置

限られたスペースを有効活用！卓上型自動スピン洗浄機です。

本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...本装置は、対象ワークを手動にてセットしスピン回転により超音波洗浄、純水リンスエアーブロー乾燥を行う卓上型自動スピン洗浄機です。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　スプレー現像装置 SD-8004型

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー

カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応【特長】・小型コンパクト設計・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆...カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社

TH-C型コーター

オプションも豊富で、適した塗工装置をご提供！精密タイプの3本ロール式コ…

「コーター」は、銅箔・アルミ箔やフィルムに合材を一定の厚さで精度良く塗工する装置です。『TH-C型コーター』は、精密タイプの3本ロール式コーターで、塗工方式はダイレクトコート・転写式コート（間欠塗布）。オプションも豊富で、要望する内容によって、必要なオプションを選択し、適した塗工装置をご提供致します。【仕様（一部）】 ■塗工方式：ダイレクトコート・転写式コート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンクメタル東京営業所

硫化水素対策向けフッ素樹脂塗料F-200SI、F-3000

温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等で発生している硫化水素への腐食対策…

フッ素樹脂塗料のジェットプロテクターF-200SI（1液型スプレータイプ）、F-3000（2液硬化型塗料タイプ）は、硫化水素ガスでお困りな温泉地や水処理場、畜産、再生紙工場等での様々な機器類の金属部の腐食対策で採用されている製品になります。特に塗装時の密着が難しい非鉄金属（銅、真鍮、黄銅、ステンレス、アルミ等）へも、簡単に塗装でき、設備等の延命にも。 ※硫化水素ガス暴露試験データあり...＜...

メーカー・取り扱い企業：太平化成株式会社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【小型で高精度】卓上型テストコーター『Mini-Labo』

超小型のロールtoロールコーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源で…

『ミニラボ（Mini-Labo）』は、国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式」を標準採用。オプションで中～高粘度向けのスロットダイ方式の増設も可能となります。 ■現在、手塗りしているのでステップアップしたい ■Wetコーティングを始めてみたいなど、ロールtoロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社康井精機

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

手動乾燥機（JID-01型）

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。・ワークは2ブロックセット出来ます。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

スピンドライヤ（PSD-01型）

本機械はワークをスピン乾燥する装置です

装置は乾燥槽と制御部を組み込んだ一体型で、床上設置式です。...・インバータによって、ワークの回転数を制御することができます。最大500rpmまで可能となります。・タイマにより回転時間の設定ができるため、作業者の手間を減らすことが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ウェーハ乾燥機（WCM-02型）

両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です

・エアーブローにてウェーハを乾燥させます。・圧縮空気で駆動するため電気は使用しません。...ウェーハのサイズはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

空気加熱ヒーター　PF100

はんだ付け予熱、樹脂硬化、洗浄後の乾燥、その他非接触の加熱工程に！25…

空気加熱ヒーターユニット。温度コントローラーとの組合せにより、簡単に非接触での加熱が可能です。加熱工程、乾燥、硬化、はんだ付けなど　幅広いアプリケーションに摘要可能です。設定温度範囲、流用、取付アングルなどは各仕様により製作が可能となっています。...温度設定範囲：50-250℃ 送風排出免責：100×100(mm）取付アーム距離：250mm 設置方法は自立型、他加熱気体：空気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…

◆◆今なら総合カタログ無料プレゼント中です。◆◆ 簡易(速度の可変で)に、低コストで、薄膜を均一にコーティングするディップコーターや、離型剤を定着させるナノインコーターなど、薄膜コーティング技術のディップ方式を、豊富なラインアップで、多くの分野に展開し用途に応じて選択できます。様々なプロセスに対応する3次元タイプのナノスピードディップコーター、両面同時に薄膜を形成することがで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

多目的コーターによるテスト塗工のご案内

水系・溶剤系の塗工液をご用意。UV塗工もOK。各種塗工方式でテスト可能

当社では、多目的コーターを用いた『テスト塗工』を実施しています。スキンコーターをはじめ、ダイコーター、オフセットグラビアコーターなど塗工ヘッドの切替えによって、多様な塗工方式での試験が行えるほか、水系・溶剤系、どちらの塗工液も使用でき、UV塗工にも対応。ニーズに合わせたフィルム・薄箔への機能性付与のテストが可能です。 ★テストをご希望の方はお気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社市金工業社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデルコンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

電子部品生産/自動車部品/クーラント関連機械　総合カタログ

電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタ…

自動省力機器設計・製作および販売を行っている、マトヤ技研工業株式会社の「電子部品生産システム関連機械/自動車部品（冷間鍛造）関連機械/クーラント関連機械　総合カタログ」です。マトヤ技研工業は自動生産システムメーカーとして、作業・労働環境の改善、ワーク意欲の向上および生産性の効率化はもとより、清潔・安全な衛生環境への提案、さらに自然環境に優しい電子部品生産システムや自動車部品（冷間鍛造）・クーラ...

メーカー・取り扱い企業：マトヤ技研工業株式会社

豊栄工業株式会社会社案内

医薬職、食品、製菓の自動包装機、自動化機械、環境機器など省力化機械の専…

豊栄工業は「モノづくり」を原点に、環境機器、自動化・省力化機械の製造を通じて豊かな未来づくりに貢献しています。システム構築から設計・製作まで一貫したトータル体制で、お客様のニーズにきめ細かく対応いたします。【事業内容】 ■産業機械の設計開発（自動包装機・自動省力化機械・環境機械）・設計 ■機能部品アッセンフリー ■産業機械・製造装置の保守、メンテナンス ■産業機械...

メーカー・取り扱い企業：豊栄工業株式会社

スピンコータ（SSC-01型）

溶液をスピンコートにより塗布する装置です

本機械は、シリコンウェーハに、溶液をスピンコートにより塗布し、近赤外線ランプにより乾燥する装置です。...・操作盤はハンディタイプで、本装置の各作業面四方向へ取り回し可能です。・ローダ側、アンローダ側のカセットは各2個セット可能です。・スピン部は最高回転数6,000rpmで、プログラムによる3段階の回転数制御を行います。・ベークは近赤外ランプ式で行います。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

ウェーハ簡易洗浄機（WCM-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。...ウェーハのセットは作業者が行います。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

小型マルチスピンプロセッサー　エッチング・洗浄・現像

スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴…

現像、エッチング、リンス、乾燥と一連のパターニング処理を従来型のSpinにて行う装置のご紹介です。基板品種により現像､エッチングの処理時スプレー又はパドルのレシピ選択ができ、スキャン時には周速制御による均一性向上も可能。本機は低コストで、従来より多数の御使用を戴き実績も豊富ですが、循環再利用のプロセスには2チャンバーでの対応が必要となります。廃液・排水、排気のき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄装置（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄装置で、安全で、簡単…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社

スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…

SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

排熱回収型,塗装用熱風乾燥機ドライテック

排熱回収型、低ランニングコスト、塗装用熱風乾燥機

世界唯一の熱風乾燥炉ドライテックは、塗装業界では知らない人はいないほど。仕上りの良さ、温度上昇の早さ、温度分布の良さ、そして低燃費。世界に通じるベストセラーです。また、クリーンルーム内設置可能な品質コストを追求する乾燥機です。...●独自開発の熱交換システムによりガス燃費をコストダウン。炉内温度分布が良くより多くの塗装物を均一に仕上げます。また、豊富な酸素で塗料の機能を最大限引き出します。 ...

メーカー・取り扱い企業：タクボエンジニアリング株式会社東金テクニカルセンター

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置 ○チャンバー内の雰囲気をコントロー...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質ウエハー 4.ディップ速度 0....

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ