半自動真空枚葉貼合装置『R-ACSE430aa』

PRアライメントマークありの場合、位置合せ精度±0.05mm！スリッター機…

『R-ACSE430aa』は、コンベア式、カメラ位置数値制御タイプの 半自動真空枚葉貼合装置です。 300万画素カメラ4台による画像処理自動位置合わせ方式で、 上吸盤仕様は旋回式AL吸着パネル、下吸盤仕様は貼合コンベアベルト バックアックパネル仕様。 また、オプションでスリッター機能追加が可能です。 【仕様(一部)】 ■装置名称：R-ACSE430aa(コンベア式・カメラ...

メーカー・取り扱い企業： クライムプロダクツ株式会社

協働ロボット パレタイザー 向け (LC3IC Elevate)

PRLC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働ロボット…

LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバーが内蔵されているため、電動昇降装置のオンボード制御や診断が簡単です。LC3 IC は、産業用通信インタフェースにより、協働ロボットパレタイザーや高さ調整可能なコンベアベルトなどの用途など、産業人間工学に好適な電動昇降装置となっています。 LC3 IC は ELEVATEと呼ばれるモデルで、特に特定のインターフェース、ソフトウェアドライバー、...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸

圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】標準直動ステージ

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリー…

■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えてい...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ　X軸

高速、高精度位置決めを実現します！　X軸ステージのストロークは6μmか…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。 ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで 小型デ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　X軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60…

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

芯打ちアクチュエータ　インパクトアシスト

圧電アクチュエータで衝撃力を与えてワークを微調整する電子ハンマーです

「芯打ちアクチュエータ　インパクトアシスト」は、圧電アクチュエータを急峻に伸長させたときの慣性力を利用して、 対象物に打撃力を与えて移動させる電子金鎚（ハンマー）です。 圧電アクチュエータに急峻な電圧を印加することにより芯打ちアクチュエータにインパクト力が発生します。 インパクト力は圧電アクチュエータに印加する電圧の波形、圧電アクチュエータサイズ、錘りの重量によって変化します。 【用途】 ■仮...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】光学ミラーアライメント用

レーザ光スキャニングに適しています

■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【製品応...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】開口付きステージ

レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング…

■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【製品応用例】 ・走査型プローブ顕微鏡 ・顕微鏡試料...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　回転ステージ

鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。

ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプ　回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ　横型

対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。厚みが薄くコンパクトで…

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。 顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XY軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/3…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XYZ軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めを実現。ストロークは20/20/…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。 XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　X軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と…

超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピング...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XYZ軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXYZ軸ステージで…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。 高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　チルトステージ

テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がご…

ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　光学ミラー用ステージ

特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２…

ピエゾステージ　PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ　縦型

対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答…

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社