【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

ロングストローク三次元ステージシステム

大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能　顕微鏡ヘッド移…

移動領域が800mm×800mm×300mmと、超ロングストロークでありながら外形寸法は小さくおさえてあります。Ｘ-Ｙ軸は繰り返し位置決め精度±0.01mm、ステッピングモータ駆動、コントロールパネルによるダイレクト操作です。Ｚ軸に関してはあえて手動方式を採用してます。移動距離はハンドル部のインジケータで表示されるため数値的に移動量をコントロールできます。オプションでは高精度恒温チャンバを搭載する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス