- 製品・サービス
83件 - メーカー・取り扱い企業
企業
21件 - カタログ
143件
-
-
-
PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー
-
-
-
-
-
フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…
当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。 【大気用システムの特徴】 リニア...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイク...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
-
-
-
-
10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…
光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。 自社開発リニアスケールと自...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…
光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…
光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。 最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。 自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
70mm～3000mmまでのストローク長！ベルトドライブ高速ステージ
『X-BLQ-Eシリーズ』は、最大2m/sの高速タイプの 精密電動リニアステージです。 エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの 自動回復、位置フィードバックが可能。 また、繰り返し位置決め精度は＜10μm、 最高分解能が4.21875μmの製品となっております。 【特長】 ■70mm～3000mmまでのストローク長 ■最大2m/sの高速タイプ ■エンコーダ内蔵に...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適
『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
-
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ …
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸...
メーカー・取り扱い企業： ヒーハイスト株式会社 本社・埼玉工場
-
-
-
-
高速応答性と超高分解能。微小領域の高精度位置決めを実現します。※詳細な…
圧電アクチュエータと変位センサの優れた特性を生かし微小領域の高精度位置決めを実現するNS1000シリーズ。 【特長】 ■ストローク30μm以下のステージで構成 ■圧電素子の微小な変位をダイレクトにテーブルに伝える構造 ■高分解能や高速応答 ⇒微小領域の超高精度位置決めに適しています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...※詳細なテクニカルデータ付きカタロ...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
-
-
-
-
【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適
などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。 弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノサーボステージ」 SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ「顕微鏡用ナノステップスライダ」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール「精密金型加工用ステージ・センサ」 好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ「微...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
-
-
-
-
1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制…
『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能（最少移動単位）50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
-
手元で簡単操作 位置決め対象を見ながら操作ができる
位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。 ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...接続対象：FC-110 / FC-410 / FC-510 / FC-610 / FC-910シリーズ 制御軸数：2 機能：十字JOG操作、JOG速度段階切替、JOG指令パルス量切...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用！ステージ高さ120mmに押さえた…
当社が製作した「高さ合わせ用自動大型Z軸ステージ」をご紹介いたします。 過半重量100kg、テーブルサイズ□400mm、ステージ高さ120mmに押さえた 薄型タイプ。ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用される水平面移動型 自動Z軸ユニットとなっております。 また、既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています。 【特長】 ■過半重量100kg、テーブルサイズ□400...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェルテック
-
-
-
-
【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。 ...○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：±4° ○繰返し位置決め精度：±0.00002...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
最高速度は840mm/s！コントローラ・ドライバー内蔵の低床高剛性ステ…
『X-LRQ-DEC&X-LRQ-DEシリーズ』は、最大推力（トルク）が110Nの 精密電動リニアステージです。 ロータリーエンコーダ内蔵タイプでは、モータエンコーダ位置 フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き。 リニアエンコーダ内蔵タイプでは、50nmの分解能リニアエンコーダにより、 スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付きで、また、13μm以上...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
-
負荷容量（耐荷重）は100kg！選択肢が豊富なモデルをご紹介します
『X-LRQ&LRQシリーズ』は、送り速度が最高840mm/s（40mm/s～）の 精密電動リニアステージです。 ストロークは、75、150、300、450、600mmとなっております。 また、最大トルクはA：110N、B：100N、D：25N、H：300Nで、 駆動ネジはA、B、D：精密リードねじ、H：精密ボールねじです。 【仕様（一部）】 ■ストローク：75、150、...
メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
-
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…
光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能とな...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
レーザー干渉計の高速レンズ位置決めや大口径ミラー位置決めに最適！
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【特長】 ○ミリ秒高速応答 ○高精度位置分解能 ○ピエゾアクチューエータを内蔵 ○窓口径は6インチ相当 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。...○ナノメートル高分解能動作 ○ミリ秒高速応答 ○ローコスト ○小型で多軸構成が可能 ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
なんと指サイズ！！マイクロスリム精密自動ステージ
下記紹介でご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。...◆◇◆特徴◆◇◆ ◆かつてない小ささ！20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ◆超小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い 精密クロスローラーガイドを採用し、高精度・高分解能構造で さらに1kgの荷重がのせられる高剛性を実現 ◆本体部に原点検出機能（フォトセンサ）を搭載し ステージ幅20mm...
メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社
-
-
-
-
高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。 ...○ナノメートル位置分解能 ○弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作 ○高速応答・高剛性を重視 ○高精度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします
シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造 および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック 回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、 「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 【事業内容】 ■精密位置検出器の製造およ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です...○ナノメートルの高分解能動作 ○3軸ロングストローク ○ローコスト ○XY軸、XYZ軸タイプを取り揃え ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
位置決めの装置を主体とし、その周辺機器も販売して行く位置決め装置の総合…
信頼できる加工技術と組み立て技術により構成された製品群をご提供させて頂いております。...モーションポジショニングステージシステム製品の総合カタログのご案内です。 【取扱製品】 ◆システム製品 ◆オープン制御ステージ ◆クローズド制御ステージ ◆ステンレスシリーズ ◆顕微鏡用ステージ ◆各種コントローラ・ドライバ関連 ◆セミオートプローバ ◆セミオートプローバ用コントローラ ...
メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社
-
-
-
-
ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。 テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。 内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が 実現できます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
3軸変位拡大機構を内蔵
透過窓（φ15）付きピエゾステージです。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しておりメンテナンスは不要です。 ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。 ...○ナノメートルの高分解能動作 ○ミリ秒高速応答 ○ローコスト ○小型で多軸構成 ○透過窓（φ15）付き ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
加工機用耐油ピエゾステージ
油のかかる場所でご使用になれます。...精密加工機のバイト精密位置決め...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
オリジナル電動レボルバを採用！既成アクチュエータを用いずフレームと一体…
当社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。 オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に 合わせることができます。 また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を 組み込んだオートステージとなっております。 【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定 （サイズ：W500×D780×H700） ■オリジナル電動レボルバを採...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェルテック
-
-
-
-
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」を採用した高精度、高剛性の自動ステージはカメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。...1.独自開発の案内方式「HG-VCR方式」を採用した高精度、高剛性の自動ステージ 2.精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様スケール付が選択可能 3.標準型と対称型があり左右対称が構成可能 4.ステージ面は40mm×40mmから70mm×7...
メーカー・取り扱い企業： 中央精機株式会社
-
-
-
-
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時） ：100nm（FC-...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
超小型で高速応答を重視したピエゾアクチュエーターです。
積層圧電アクチュエーター「AEシリーズ」は、超小型で高速応答を重視したピエゾアクチュエーターです。圧電効果を利用して、電気的エネルギー（電圧）を変位や力などの機械的エネルギーに変換する製品です。自己共振周波数の1/3という高速応答を実現、光学機器の超精密位置決め、マイクロマニピュレーション等に利用され、高性能を発揮します。（株）メステックは、お客様の信頼に応える強い責任感のもとに、各種製品（ステー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック
-
-
-
-
リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置決...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。 位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明 リニアスケールを内蔵した小型位置...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
-
-
-
ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載…
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組...
メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社
-
-
-
-
【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
-
