【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

VCM駆動空気圧サーボ弁（直動型空気圧サーボ弁）

ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現

ボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社