【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージ

ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは世界中で、各種色々な分野で使用させて…

ナノ分解ピエゾ位置決めステージは、透空孔のある直線圧電プラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます。ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは高い信頼性と高い解像度を持ち、非常に優れた運動直線性...

メーカー・取り扱い企業： ワイヤード株式会社

MWC6000

MWC6000

WLP（Wafer LevelPackage）に最適の実装装置 MWC6000を販売開始しました。MWC6000は300mmサイズのWaferに高精度の実装が可能でステージは石定盤と空気浮上で平坦度を1um以下にしています。またXY軸ともリニアモータ駆動で高速処理が可能です。X軸はデュアルmotor駆動でX軸の両側で駆動されています。また精度を出すために全軸に高精度のガラススケール（ハイデンハイン...

メーカー・取り扱い企業： AJI株式会社

電動アクチュエータ　A/AX （精密ステージ） [THK公式］

高精度でバリエーションが豊富　さまざまな用途に対応可能

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　A/AX（1軸/XY）は、同じストロークの従来型と比べ高さ寸法最大約27％のコンパクト化を実現しました。鉄使用とアルミ仕様とあり、用途に合わせて選定が可能です。アルミ仕様の場合は、従来型と比べて、本体質量最大約72％のダウンも実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DC...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

ロングストローク三次元ステージシステム

大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能　顕微鏡ヘッド移…

移動領域が800mm×800mm×300mmと、超ロングストロークでありながら外形寸法は小さくおさえてあります。Ｘ-Ｙ軸は繰り返し位置決め精度±0.01mm、ステッピングモータ駆動、コントロールパネルによるダイレクト操作です。Ｚ軸に関してはあえて手動方式を採用してます。移動距離はハンドル部のインジケータで表示されるため数値的に移動量をコントロールできます。オプションでは高精度恒温チャンバを搭載する...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

電動アクチュエータ　DX （精密ステージ） [THK公式］

高剛性かつ高さをおさえて低いスペースでも対応可能

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ　DX（中抜きXYステージ）は、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージです。各軸と案内中心と送りボールねじの駆動中心を同一高さの配置構造とすることで、 姿勢変化を少なくすることができ、高精度な位置決めが可能です。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社