位置決めステージ | イプロスものづくり

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

アリ溝式ステージ『セルフロックステージ　SLXシリーズ』

特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロー…

バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

【真空にも対応】精密位置決めステージシステム

高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの…

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ正確で10nmの精度を実現し、優れた速...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

小型精密位置決めステージ

場所を取らずに高精度位置決め可能！小型ステージのご紹介！

を駆動タイプによってご紹介。サイズ比較や、小型ステージの積み上げ構成例などを一目瞭然で把握できます。また、分解能とストローク、耐荷重と速度についてどのようなステージが最適なのかを含め、精密位置決めステージをお探しの方にはとても分かりやすいハンドブック形式になっています。...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

クリーンルーム用位置決めステージ ILS：井口機工製作所

ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。…

■井口機工製作所：クリーンルーム用位置決めステージ ILS型仕様 ○フリータイプ可動距離：15mm 使用荷重：150kgf 本体材質：アルミ（アルマイト処理）可動ステージ材質：SUS304 ○ストッパータイプ可動...

メーカー・取り扱い企業：高津伝動精機株式会社

【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム

超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタ…

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

FRロータリーステージ（精密位置決め装置）

1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応

FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。...〇...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

最大800µm動作の精密位置決め用　対物レンズピエゾステージ

対物レンズ　精密位置決めステージ 充実した機能・高性能なPI社の対物…

30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、世界中のお客様にご使用されています。今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。また扱いやすさも向上させた作りになっております。【特長】・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適・ケーブルの柔軟性・幅広い設置方法 ※...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ

SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mm…

「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。電磁モータ式に比べて発熱...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

PI社　精密対物レンズ位置決めステージ

私たちの対物レンズピエゾ位置決めステージは、顕微鏡を用いた生体観察、ス…

速度、駆動動作方法によっては十分に満足できなことがあります。高精度な画像認識、高速駆動、高分解能が必要な場合には、ナノメートルの駆動が可能な、ピエゾアクチュエータを利用した対物レンズ位置決めステージが最適です。・ストローク：18µm～最大2mm駆動タイプ・静電容量型センサー、歪ゲージセンサーによるフィードバック制御・数msecの高速スキャニング・高負荷駆動ポジショナー・各メー...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

位置決めステージ『ワイヤード　ステージ総合ラインナップ』

当社は特注位置決め装置を打ち合わせ設計、製作、組立調整、検査を吟味して…

位置決めステージ『ワイヤード　ステージ関連総合ラインナップ』＜製品説明＞【その他のシリーズ】「KXシリーズ」ステンレス材を使用した高精度型自動位置決めステージ。「FSシリーズ」リニアスケールを内蔵している薄型・軽量の自動位置決めステージ。フルクローズドループ制御でバックラッシュを無くし、高精度な繰り返し位置決めが可能。「SKシリーズ」ガイド部とボールネジ部...

メーカー・取り扱い企業：ワイヤード株式会社

ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…

ードバック制御が行えます。各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。真空対応品もラインナップしております。真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

ベッドサイズヘキサポッド　位置決めステージ

放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能

長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。 PIの多軸モーションおよびポジショニングソリューションヘキサポッド（ギリシャ語で6本の脚に由来）は、6つのアクチュエータ（支柱）によって制御されるモーションプラットフォームです。それらはすべて1つのプラットフォームで同時動作し、6自由軸の移動を可能にします。...カスタムヘキサポッド例：長方形のベッド型ヘキサポッドデザイン。上下のフレーム間に配置...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

位置決めステージ『モンブランシリーズ』

カスタムメイドの経験を凝縮した汎用高精度位置決めステージ

小型ステージ、高剛性ステージ、高耐荷重ステージ、薄型ステージ。多軸ステージユニットなどのラインアップが豊富で、小型液晶パネルのアライメント、電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。【製品ラインアップ】 ●自動X／XYステージ ●自動Zステージ ●自動回転ステージ ●自動スイベルステージ...＿...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）

ウエッジ角度によるエラーが皆無

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。...〇機械的特性（FBZ085010）ステージプレート素...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

【ガイドブック進呈】精密な位置決めを実現するアライメントステージ

用途に適した位置決めステージを選定！単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ…

製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

3軸高精度位置決めピエゾステージ　P-561－P-563

高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸

PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　Z軸

圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。 Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【改善事例】フロントロックステージを使用した厚さ測定治具

ボルトを緩めたり締めたりする作業が不要！短時間で位置決めができるように…

金属加工メーカーの検査工程で使用しているワークの厚さを測定する治具の改善事例をご紹介いたします。ワークの厚さを測定するセンサーの位置決めに時間がかかることが課題でした。そこで、測長センサーをフロントロックステージに取り付け。従来のようにボルトを緩めたり締めたりする必要がないので短時間で位置決めができるようになりました。【事例概要】 ■課題・ワークの厚さを測...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

高速・高精度リニアモーターステージ　V-551型

高加速度および等速駆動が必要になるアプリケーションに最適！ストロー…

クロスローラーベアリングを用いた高精度リニアガイドにより、リニア位置決めステージは高い移動精度を実現。特に一定速度が求められるスキャニングでの利用に適合します。アンチクリープシステムは確実にケージクリープを防ぎます。本ステージは、高速および高加速度を実現するため、...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

V817型　高性能リニアモータ位置決めステージ

・63mmと薄型で、最大813ミリの動作量・リニアモータ・高性能イ…

高性能・高負荷に対応したインダストリアルデザイン循環ボールベアリングガイド、3相リニアモーター、インクリメンタルリニアエンコーダにより、優れたトラッキング性能、小さなトラッキングエラー、短いセトリングタイムを実現。オプションのモーションプラットフォームは、3つのM6ホールパターンを備え、多様なアセンブリオプションを提供します。このプラットフォームを使用しない場合、全高が63mmと低...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

精密位置決めステージシステム

半導体製造検査装置、化学分析機器や医療機器などで高い実績を誇る高精度精…

シュネーベルガーの高度なエンジニアリングノウハウにより、お客様固有の用途やご要求に合わせた位置決めステージを自社で製造、供給しています。ヨーロッパで30年以上にわたり、世界の様々な分野のお客様へ個別仕様に合わせた高精度位置決めステージを供給し続けています。直動案内技術を熟知したシュネーベルガーが位...

メーカー・取り扱い企業：日本シュネーベルガー株式会社

【オートフォーカス】顕微鏡対物レンズ⽤ピエゾステージ

100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで…

顕微鏡対物レンズ⽤の⾼速ピエゾ駆動ナノフォーカスデバイス。 100μm のストロークをサブナノメートルの分解能と⾼いリニアリティで位置決め可能です。【ポイント】・対物レンズをサブナノメートルの分解能でスキャンおよび位置決め・ストローク～100μm、ミリセカンドレベルのセットリング時間・モーター駆動のZステージをはるかにしのぐ高速応答と長寿命・パラレル制御の高精度フレクシャガイドによる優...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

【超精密位置決めピエゾステージ】標準直動ステージ

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリー…

■2つの機構で性能分類高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。直接駆動機構・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。変位拡大機構・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えてい...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム

積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比…

PI社のヘキサポッド6軸ステージは、40年以上前から、ピエゾステージ同様に独自開発・自主生産をしており、ピエゾ位置決め製品と同様にヘキサポッドでもマーケットリーダーです。＜ヘキサポッドの特徴＞・回転中心を任意位置に簡単設定・パラレル駆動で累積誤差がない・コンパクトで高剛性で高安定性・設置向きが任意でも可能　など ※製品につきましてはカタログや弊社HPをご参考にしてくだ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

自動ステージ『自動回転ステージ』

複数の回転ステージからシーンに合わせた最適な製品をご選定いただけます

駿河精機では、様々なシーンに合わせた『自動回転ステージ』をご用意しています。移動桟構にボールねじを使用し、磨耗しにくく高耐久性・高速駆動を実現した「サインモーション回転ステージ」や、精度よく広域角度で位置決めができる「ウォームギヤ式回転ステージ」、360°高速回転に対応する「ダイレクトドライブタイプ」から最適なステージをお選びいただけます。【特長（サインモーション回転ス...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』

この一冊で精密位置決めステージの選定が簡単にできる！導入前・導入後に役…

情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。【Q&A掲載例】 ■ステージとストロ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

顕微鏡用ナノ位置決めステージ『DOF-5』

低コストで高性能！画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現…

『DOF-5』は、光学イメージングアプリケーション向けに最適化された低コストで高性能なナノポジショニングステージです。移動量（5mm）と帯域幅（225Hz以上）が大きく、画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現。また、ボリュームディスカウントが利用可能です。【特長】 ■高価な顕微鏡用ピエゾステージの代替品として登場 ■ボリュームディスカウントが利用可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

自動Xステージ『SXAシリーズ』

低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活…

神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ■クライアントの希望納期が流動的だから、出来るだけ短期間で調達したい ■高い剛性と高い精度、ストロークが長い自動Xステージが欲しい ■クリーンルームで使いたい【特長...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

ステージ【SSA XYシリーズリニアモーターステージ】

高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモータ…

【SSA XYシリーズリニアモーターステージ】は、高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

長ストロークに対応！精密位置決め装置

長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。自社開発リニアスケールと自社独自のフィ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

FGゴニオステージ（精密位置決め装置）

最高1アーク秒の分解能を実現

FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。...〇機械的特性（FGS013S125）ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイトモータ：HR4...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

GMT精密部品「サポートユニット・精密手動ステージ」

GMTは台湾リニアモーモーション部品メーカーです。精密ステージやリニア…

◆ GMTサポートユニット￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣　ボールねじ軸の固定側と支持側に組合わせて使用され、ねじ軸を正しい位置に容易に取付けすることができます。固定側に予圧調整されたアンギュラ玉軸受が組み込まれた互換性のあるコストダウン可能な軸受け部品です。カタログ品全47品種を在庫しております。　　■ ラインナップ　　　・角形18品種　　　・凸形12品種　　　・丸形17品種...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タツタ

駿河精機ステージ特集（無料選定相談つき）

ステージ・位置決め治具の初心者向け紹介ページ。選定にお悩みの方は、…

８回シリーズでお届けする「駿河精機ステージ特集」位置決め治具を内製している皆様に、駿河精機のステージをご紹介。お客様のお悩み、おすすめ商品、技術情報、駿河精機のステージが丸ごとわかります第一回から第三回は、手動ステージを特集。第四回から、自動ステージ特集をスタート。第八回では、駿河精機ならではの国内最高峰の防振機能を備えた除振台もご紹介...・不安・お困りごと相談　今更聞け...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミスミ

X417 多軸モーションシステム

産業向けアプリケーションに好適な、X417型高精度位置決めシステムは、…

・XY軸構成： V417型高精度位置決めステージ ・トラベルレンジ：204～407mm ・G-901型コントローラ対応・オプション：グラナイトベースプレート、架台など豊富・オプション：Z軸 L412型 位置決めステージ（トラベル...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

駿河精機自動ステージ特集（無料選定相談つき）

第八回はステージ総集編　＆　除振台特集。初心者向けに自動ステージ・位置…

自動ステージ特集！全８回シリーズでお届けする「駿河精機ステージ特集」お悩み相談から、自動ステージの機構・仕様など、駿河精機のステージをご紹介いたします。第一回から第三回では、手動ステージについても特集しています。お悩みの方は、無料相談をどうぞ。...第四回からは自動ステージ特集！・第四回　手動ステージと自動ステージの比較　選定の基礎をご紹介・第五回　自動ステージ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミスミ

【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで小型デ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

超精密ステージ

半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ナノメートルオ…

◆超精密位置決めに最適なステージ！ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。...◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーエムティー本社・工場

精密薄型アライメントステージ自動一体型XYθステージ

電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適

全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』...＿...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナデン本社

アライメントステージ『SA200DE』

X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをア…

『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを標準設定として新規追加したアライメントステージです。回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。【特長】 ■XYθ...

メーカー・取り扱い企業：藤川伝導機株式会社

移動動作確認治具　あおり旋回ステージ　RC-60

メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現

メイン可動部を球状にすることで従来品にはない作動を実現しました。ユニークな発想から生まれた最大180°屈折・360°回転の、位置決め角度が自由自在なステージです。【特徴】 ○位置決め角度が自由自在に設定できる ○アリ溝式ステージと組み合せれば、　直進摺動にあおり旋回機能が付加され、さまざまな態勢の位置決めが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ミラック光学

【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ　X軸

高速、高精度位置決めを実現します！　X軸ステージのストロークは6μmか…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

PILine XYステージ『U-723』

高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定…

『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレンススイッチにより信頼性と再現性の高いモーションを可能にします。【...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ

超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ単軸、多軸のモーションス…

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。 ...Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ）で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

PIHera高精度ステージ P-620.Z－P-622.Z

最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシ…

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

オーダーメイド精密位置決めステージ

信頼と実績であらゆるニーズにお応えいたします

高集積化されて行く、半導体・液晶産業の中で微細化技術はひとつのキーテクノロジーとして必要不可欠になってきております。クロダの精密位置決めステージはゲージ・工作機械製造で培った技術をベースにボールねじ、ころがり直動案内やセラミック製エアガイドなどを組込んだソリューション商品です。...

メーカー・取り扱い企業：黒田精工株式会社