【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

半導体、FPDや太陽電池製造装置に採用。クリーン向けイグチベアー

LCDの後工程から始まった採用実績も、現在はさまざまな処理工程で採用さ…

クリーンルーム向けイグチベアーは、特殊樹脂を加工することにより、様々な環境にて使用可能です。また、1点からでもユーザー様の用途に合わせた特型製品の製作を致します。 【特徴】 ■200℃以上の高温環境や真空チャンバー内、各部ローダー、アンローダー、光の反射を嫌う光学測定機、マザーガラス切り出し部等、各種用途に応じた製品をラインナップ。 ■ISB洗浄からクリーンパックまで使用環境に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社井口機工製作所 本社