位置決めステージ | イプロスものづくり

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

顕微鏡用ナノ位置決めステージ『DOF-5』

PR低コストで高性能！画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現…

『DOF-5』は、光学イメージングアプリケーション向けに最適化された低コストで高性能なナノポジショニングステージです。移動量（5mm）と帯域幅（225Hz以上）が大きく、画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現。また、ボリュームディスカウントが利用可能です。【特長】 ■高価な顕微鏡用ピエゾステージの代替品として登場 ■ボリュームディスカウントが利用可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キーストンインターナショナル

【真空にも対応】精密位置決めステージシステム

高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの…

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ正確で10nmの精度を実現し、優れた速...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム

超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタ…

開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

FRロータリーステージ（精密位置決め装置）

1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応

FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。...〇...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

FZくさび形ステージ（精密位置決め装置）

ウエッジ角度によるエラーが皆無

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。...〇機械的特性（FBZ085010）ステージプレート素...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

FGゴニオステージ（精密位置決め装置）

最高1アーク秒の分解能を実現

FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。...〇機械的特性（FGS013S125）ステージプレート素材：アルミニウム-黒アルマイトモータ：HR4...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ

超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ単軸、多軸のモーションス…

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。 ...Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ）で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

【試作市場2022】出展製品について

「試作市場＆微細・精密加工技術展」で出展する製品をご紹介します。

建機の油圧アクチュエータを動かす比例弁用アンプKPA2を用いた、空き缶潰し機のデモを行います。実際に操作パネルのジョイスティックで任意に動かせ、また位置制御を体験できます。 ■高速・精密位置決めステージ（超音波モータ駆動）デモ最速250mm/secでの移動、10nmでの位置決めが可能な超音波モータ駆動のステージのデモをご覧いただけます。真空環境モデルもあり、カスタムメイドも可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ

【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合…

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。モータ単体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑

FBリニアステージ（精密位置決め装置）

10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ

FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社工苑