低ランニングコスト | イプロスものづくり

PR各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

粉体定量供給機『ロータリーバルブ』＜課題解決事例を進呈中＞

PR自社工場での一貫製作により高品質・短納期を実現。カスタム・フルオーダー…

当社では、粉粒体の定量供給と密閉遮断を担う『ロータリーバルブ』を提供しています。食品など高い衛生管理が求められる分野でも実績豊富。設計・製造から最終加工まで自社工場で一貫対応しているため、高品質・短納期を実現できます。課題解決事例を紹介した資料を進呈中。詳しくはダウンロードボタンよりご覧ください。【こんな課題を解決します】 ■機械の能力アップをしたいが、サ...

メーカー・取り扱い企業：尾崎ウェルスチール株式会社本社、機械加工工場、歌島工場、粉体工学研究所

高レートイオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-708」

波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！

『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな LED光源UVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチウェハに対して全面照射を可能としました。【特長】 ■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト ■小型、テーブルトップサイズ ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

膜安定性　・ウェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応　・低負荷・長周期メンテナンス　・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】　・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

UV装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

為の装置です。【特長】 ■自社製低圧水銀ランプにより発生する185nm、254nm波長の紫外線効果により　基板表面の有機性汚れを除去します。 ■ランプ寿命は6000時間保証。低ランニングコストを実現。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業：クリーン・テクノロジー株式会社

ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！

『BEX-560DR-LED』は、生産性・高精度・大面積・省エネ・拡張性など 1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる／装置内をクリーン度でクラス分け ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社べアック

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

対応ウェハサイズ: ～8インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策　・シンプルメンテナンス　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】　・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NGS/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

【特徴】　・低温(150～300℃)成膜　・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上の成膜　・シンプルメンテナンス　・低CoO(低ランニングコスト) 　・高品質なSiO2膜の形成: 低ストレス、プラズマダメージレス、小パーティクル　・導入・維持コストの削減: 小フットプリント、真空・プラズマ処理不要【用途】　・FPD向け...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。【特徴】　・異形状・サイズ基板の同時処理　・高い成膜速度　・シンプルメンテナンス　・省フットプリント　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・太陽電池(セ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

応ウェハサイズ: ～12インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策　・シンプルメンテナンス　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】　・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

精密卓上型半自動テーピング装置

幅広いテープ幅・リール径に対応し、多品種・少量生産にも最適

少量生産に最適　品種交換はレールのスライド・コテ・ガイド・アダプターリングの交換で簡単にできます。 ●挿入ミスセンサ装備　部品の挿入ミス（浮き）・有無（歯抜け）をセンサが検出 ●低ランニングコスト ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社極東商会

電線・ケーブル製造装置『プラズマアニーラー』

ウォームアップ/クーリングダウン時間なし。高品質な連続アニール処理が可…

『プラズマアニーラー』は、PlasmaIt社製の鉄・非鉄金属製のワイヤ・チューブ・ストリップ等の長尺物を連続でアニール処理を行う装置です。高出力アニーリングが可能で、ウォームアップ/クーリングダウン時間はありません。小規模設備、低電力で、イニシャルコスト・ランニングコストがリーズナブルです。また、メンテナンスコストも抑えられます。【特長】 ■高出力アニーリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

液体・ガス燃料溶射システム『Met-PCC(HVOF)』

コンパクトで操作も簡単！高い密着力と気孔率の低い皮膜を実現します

『Met-PCC(HVOF)』は、使いやすい直感的な操作者インターフェイスの溶射システムです。フロントエンドでは、操作者のインターフェースはグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI)を利用しており、オプションとして動画を画面に取り込むことが可能。標準の装置はガスと液体に関して、皮膜に適した連続性の為に質量流量ですべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社澤村溶射センター

大気圧プラズマ装置　MyPL-Autoシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生！

半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク（ガラス基板等）の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現！...自動ステージを搭載したセル生産用セミオート機最大300x600mmサイズのワークを自動で表面改質可能です【主な特長】・グロー放電プラズマによるダイレクト方式・低ランニング費用（ガス消費量、低パワー）・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェル

基板クリーナー　マジッククリーナー3D

ン) ○静電気除去(50V以下：イオナイザー無し、弊社試験による) ○レーザーマーキングのスス除去に最適 ○5μm異物除去（弊社試験による） ○メンテナンスフリー（定期清掃要) ○低ランニングコスト ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニックス

スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】

スクリュー回転による超精密吐出を実現！LED/ライン塗布/3D塗布への…

高速ディスペンシングを実現（エアー比較:1.5～２倍の処理能力） ◆ワンタッチ交換方式を採用、交換時間作業の大幅削減に成功！ ◆線塗布への対応性（加減速、コーナー部の塗布調整機能） ◆低ランニングコスト化を実現 ◆簡易ソフトプログラム ☆購入をご検討の方に対し無償サンプルテストを実施しております☆ ☆詳細は、資料請求またはカタログをご覧下さい☆ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社進和メカトロシステムセンター

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

いたします。プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力領域を高感度で測定 ■メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト ■さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。　資料内の動作圧力に関する記載が「1.3Pa以下」となっ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

超高出力　UV-LED照射器　ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体…

製品の特徴・超高出力（最大50 W）・高安定性（クローズドループによる出力制御）・低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）・水銀ランプと代替可能・外付け冷却　 ...

メーカー・取り扱い企業：ケイエルブイ株式会社

次世代クリーン化技術！超音波非接触浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社

洗浄装置『ダイレクトパス』　【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄で実績多数！　狭い隙間の汚れを効率的…

間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！ ○高スループット　洗浄物多くを充填する事で洗浄・乾燥効率が向上し、一般的な方式の２倍の高スループットを実現します！ ○低ランニングコスト 　効率的な液切りにより、洗浄剤消費量を１／３に低減！ ○最適な洗浄システム　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！...

メーカー・取り扱い企業：荒川化学工業株式会社ファイン・エレクトロニクス事業部

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

の制御によるスライド機構。・困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。・ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。・低ランニングコストを実現。・ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。・オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。・オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

液中ジェット洗浄装置PINE JET【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄に広く利用されている洗浄装置です！

ワーデバイス、etc 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。【特長】 ○洗浄性　ジェット噴流により効果的案洗浄が可能！　独自の整流機構によりムラ無く洗浄可能！ ○低ランニングコスト 　液切り肯定を設けることで洗浄剤消費量を低減。 ○最適な洗浄システム　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！...

メーカー・取り扱い企業：荒川化学工業株式会社ファイン・エレクトロニクス事業部

医療機器部品研磨

細穴に特化した研磨技術！他分野での細穴研磨のノウハウを応用展開

【特長】 ■鏡面にする事で一定量の吸い上げ注入が可能になる ■優れた研磨力で研磨時間を短くできる ■簡単操作の全自動管理により人件費を削減、生産効率アップ ■使うのは水と研磨材のみで低ランニングコスト ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社奈良工場

流体研磨

シンプルな構造・簡単な操作・低ランニングコスト！かなりの細穴でも対応可…

当社で行っている「流体研磨」についてご紹介いたします。 S字配管から螺旋状まで、多種多様な形状のAM流路の内面研磨実績あり。内径0.1φ～5φまで対応でき、最長L＝2400mmまで対応可能。また、ワークに合わせた流体研磨装置も取り扱っており、全自動管理で誰でも簡単操作ができます。【特長】 ■多種多様な形状の内面研磨が可能 ■内径0.1φ～5φまで対応可能 ■最長...

メーカー・取り扱い企業：アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社奈良工場

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜTSPなのか

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

「UPS」と「TSP」は競合する製品ではなく基本的には“何を保護するのか” “必要な保護時間”により使い分けされます。大容量の保護の場合は圧倒的にTSPの方が費用対効果が大きいため、近年電気二重層キャパシター方式のTPSが選定されています。【選定例】 ■保護時間（分単位で必要）　瞬時電圧低下発生時の保護時間がフェイルセーフの関係で15～30分必要　→UPSを選定 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シナジー

排熱回収型,塗装用熱風乾燥機ドライテック

排熱回収型、低ランニングコスト、塗装用熱風乾燥機

世界唯一の熱風乾燥炉ドライテックは、塗装業界では知らない人はいないほど。仕上りの良さ、温度上昇の早さ、温度分布の良さ、そして低燃費。世界に通じるベストセラーです。また、クリーンルーム内設置可能な品質コストを追求する乾燥機です。...●独自開発の熱交換システムによりガス燃費をコストダウン。炉内温度分布が良くより多くの塗装物を均一に仕上げます。また、豊富な酸素で塗料の機能を最大限引き出します。 ...

メーカー・取り扱い企業：タクボエンジニアリング株式会社営業本部／東金テクニカルセンター

高速フレーム溶射装置『Met-PCC（HVOF）』

インテルデュアルアトムプロセッサーを搭載！操作性・統合性・伝達性に優れ…

『Met-PCC（HVOF）』は、メタライゼーション社以外のガス燃料HVOFガンとつなぐことができる高速フレーム溶射装置です。インタフェースはインテルデュアルアトムプロセッサーを搭載したタッチスクリーンのウィンドウズのプラットフォームで機能。ガスと液体に関して、皮膜の好適な連続性の為に質量流量ですべて制御されており、すべての溶射パラメーターで装置のリアルタイムの動向...

メーカー・取り扱い企業：株式会社澤村溶射センター

大気圧プラズマ装置　ILP-Inlineシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生！

半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク（ガラス基板等）の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現！ ...インライン自動搬送システムにより最大1500x2000mmサイズのワークを自動処理可能なフルオート機【特徴】・グロー放電プラズマによるダイレクト方式・低ランニング費用（ガス消費量、低パワー）・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェル

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

小型・軽量・小フットプリント装置

ワークを回転させながら照射させるため、ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置...■主な特長・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社