冷却・除湿・排熱回収装置用 熱交換器『プレートフィンクーラー』

PR生産ラインや装置の気体冷却に必要な温度をデザインいたします。設計から納…

勝川熱工は除湿装置や工場生産冷却ラインに適した熱交換器の能力設計から製造まで 1934年より一貫して行う、日本でも数少ないメーカーの一つです。 当社のプレートフィンクーラーは冷却、除湿、排熱回収、作業環境改善など様々な産業分野で使用されています。 【勝川熱工のプレートフィンクーラー】 ■交換頻度が低く、苦労することなく使用できるステンレス製熱交換器を採用 ■伝熱管内に水や冷媒を通し、管外ケーシン...

メーカー・取り扱い企業： 勝川熱工株式会社 営業部・工場

冷空気発生装置『ジェットクーラ』

PR性能と使い易さを追求！さまざまな分野でのスポット冷却に抜群の効果

『ジェットクーラ』は、渦動理論の原理を応用した、可動部分が全くない 冷空気発生装置です。 冷媒や電気を一切使用せず、圧縮空気をチューブ内で高速に回転させ、 最終的には冷風と熱風に分けます。この冷風を利用することにより 様々な分野でのスポット冷却を手軽に行うことが可能。 圧縮空気を供給するだけで、供給空気温度より最大－30℃/－40℃/－60℃ の冷たいジェット空気を噴出します。...

メーカー・取り扱い企業： 日本精器株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

日本電子株式会社 BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。 様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します。 〇特長 ・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。 ・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュア...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた 『有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能 ○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応…

基礎研究に求められる性能・コスト・技術サポートを全てカバー　個別要求に応じてカスタマイズに対応。...標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。 蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション 社内デモ機にてサンプルテスト対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせて頂きます。また、研究･開発部門からの引合いも多く、ご要望に沿った提案が出来ますので、お気軽にご相談下さい。...【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装…

当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な 「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。 【蒸着装置部・主要仕様】 ○本体・チャンバー →蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ 社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟な...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

開発・製造レポート『溶剤蒸気発生装置』

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介し…

20年以上前の設備が老朽化のため、新規更新をしたいが当時のメーカーが 不明のため困っている。既存の装置を今の技術に置き換えて製作する事は 可能か、とお客様からご要望をお受けいたしました。 そこで、既存品がどのような動きで、どのような規格・仕様なのかを お調べして「溶剤蒸気発生装置」を新規製作。 タッチパネルなどを用い操作性の向上や試験機のダウンサイズ、サンプルの 装着方法やメン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

Supcold社は2011年に創業した新しい会社ではありますが、この分野では経験豊富なスタッフが事業に携わっています。基本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…

『Epitaxial-EB蒸着装置』は、エピタキシャル促進機構により金属膜や酸化膜の単結晶成膜に適した製品です。 基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現させ、またチャンバの メンテナンスが容易。 リフトオフプロセスにも対応しており、適切な表面処理によりパーティクル 低減させます。 マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可能です。 【特長】 ■酸化促進ガス導入機構 ■...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

Coolteq ZERO 真空装置用冷凍機 Supcold社

HFC冷媒ガス無使用

地球環境にやさしい企業様に提案 モントリオール議定書キガリ改訂により、2019年より段階的にHFCの使用量を減らして、2029年には70%削減を義務付けられております。 Coolteq ZEROシリーズはこの削減義務も問題ありません。 Coolteq ZERO冷凍機はHFCガス無使用です。 カタログ内容ご確認願います。 お問い合わせ お待ちしております。 ...・冷却温度：－100℃～...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ・最...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社