制御 | イプロスものづくり

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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、低流量の測定が可能。その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社
後付け電動アシストユニット新製品『E-Drive Optima』

PR傾斜搬送や速度制御が可能に！高機能の電動アシストユニットE-Drive…

『E-Drive』は、最大総重量500kgの補助対応可能な高アシスト性能の電動アシストユニットです。今回は新シリーズのE-Drive Optimaが登場。使い勝手はそのままに、傾斜搬送や速度制御にも対応しました。負荷の高い重量物用台車の手押し作業でも、当製品なら手元操作で簡単に操作可能で、作業者の負担軽減・効率を向上させます。　【特長】 ■作業者の負担軽減・...

メーカー・取り扱い企業：テンテキャスター株式会社
プラズマガン『SG-100』

緻密で溶射効率のよい皮膜が得られる！新設計のノズル電極により長寿命化を…

また、40KW/80KWのモードがあり、さらにサブソニック、マッハ1、マッハ2の溶射速度により最適条件の選択が可能です。このほかに、プラズマ溶射システムを構成する装置として、基本的な制御操作と安全装置を備えたエコノミータイプの「3710型コントロールコンソール」をはじめ、「1264型パウダーフィダー」や60KW出力の電源「PS-1000」などをラインアップしています。 ...

メーカー・取り扱い企業：ユテクジャパン株式会社
ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ：・Pishow：シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；幅広く温度の工程に対応可能；エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、A...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイププラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

様】 ○装置フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０ ○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー ○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ ○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御 ○真空排気：ドライポンプ ○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、ＤｒｙＡｉｒ、Ｎ2、冷却水 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研
HV-X-プラズマ＆コロナジェネレータシリーズ

真空プラズマ＆コロナ処理用ジェネレータ！重要なパラメータのほとんどを制…

ェネレータシリーズ』は、コロナ＆プラズマ電源であり、スタンドアロン型の表面処理機に利用できます。そのほか、OEM製の自動化ラインにおいての表面処理装置としてもご利用可能。出力放電制御は、電圧または電力制限のいずれかが可能です。【ラインアップ】 ■HV-X02 ■HV-X10 ■HV-X20 ■HT-Transformers ※詳しくは関連リンクページをご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社第一メカテック
大気圧プラズマシステム『Atomflo(TM)500』

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステ…

『Atomflo(TM)500』は、インライン製造用に設計された大気圧プラズマシステムです。繰り返し再現性に優れ、進行波、反射波、ガス流量、ヘッド温度をリアルタイムで監視および制御。部品成型に使われる高密度ポリエチレン(HDPE)およびポリプロピレン(PP)部品等の感熱材料に対して有効です。【特長】 ■ソフトウェア制御システム ■モニタリング機能及び制...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日放電子アドバンストテクニカルスタジオ
真空プラズマ表面処理装置『V6-G』

高性能卓上システム！簡便な操作のタッチスクリーンと判りやすい指示表示

『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な真空プラズマ表面処理装置です。装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと各パラメーターを保存しておくことができます。【特長】 ■高性能卓上システム ■少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能 ...

メーカー・取り扱い企業：ピンク・ジャパン株式会社
ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティン…

C膜をコーティングすることができます。【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア・プログラムで　カンタンに半自動・全自動で工程制御が可能 ■コーティング工程中の作業内容を自動記録 ■コーティングの全工程をデータ化 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所
プラズマ成膜及びエッチング装置『FLARIONシリーズ』

プラズマアシストリアクティブ成膜可能！インテグレーション用オプションな…

RIONシリーズ』は、プラズマ成膜及びエッチング装置です。 PLUMシリーズのシームレスICPによるプラズマアシストリアクティブ成膜が可能。また、基板回転機構、バイアス機構やプログラム制御された軸動作機構の搭載が可能で、カスタマイズやインテグレーション用オプションに対応しています。【特長】 ■PLUM シリーズのシームレスICPによる　プラズマアシストリアクティ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

横浜研究所の現地分析により、　フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。【低圧損】　圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、　装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。【管理性】　剤破過検知器（ブレイクモニター）のサンプリング位置を　自動切換することにより、剤交換時期を正確に...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
熱のないエネルギー「真空プラズマ」とは？【※小冊子を進呈】

「いまさら聞けない」プラズマ技術を図解を交えて解説！プラズマ表面処理装…

『V6-G』は、少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能な真空プラズマ表面処理装置です。装置は表面処理、高度クリーニング及び活性化に用いることが可能。内蔵の専用制御PLCは、自由に設定を行うことの出来る各プロセスと各パラメーターを保存しておくことができます。【特長】 ■高性能卓上システム ■少量量産から研究開発までの広い製造範囲をサポート可能 ...

メーカー・取り扱い企業：ピンク・ジャパン株式会社
緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
プラズマアッシャー/ストリッパー

強力なプラズマ分子照射とヒータチャックを組み合わせることにより、通常の…

特長 ●高出力密度ダウンストリーム・プラズマ処理 ●ヒータステージ最高温度250℃ ●MFCによる各種ガス雰囲気制御（最大４系統） ●低周波40kHzプラズマ電源により効率的で加熱の少ない処理を実現（CV200RFS） ●ストリップレート　CV200RFS：最大7000Å/分　EcoClean：1...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社
水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作性と安定した稼動を実現オプションで従来型ＰＩＧーＣＶＤ機構を装備可能。ＰＶＤ＋ＣＶＤのデュアルタイプのＤＬＣコーティング...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績蒸着・...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店