排気ガス | イプロスものづくり

PR吸引（入口）～排気（出口）までトータルにご提案！デュコルの環境改善設備

デュコルでは、発生する汚染物質の種類や発生状況に応じた設備をご提案します。粉じんやガスの発生源から吸引と適切な処理をして屋外換気まで、低コストでトータル設計させていただくとともに、アフターサービスまでを一貫して行います。【こんなお困り事ありませんか】 ■吸い込み口の吸引力が弱くなっている ■メンテナンスをしたことがない ■作業環境が悪く改善したい ★デュコルの『環境改善設備総...

メーカー・取り扱い企業：株式会社デュコル　　　

エアカーテン『Pamir』※設置効果シミュレーション付き資料進呈

PR【電気代削減・シミュレーション無料】均一な空気のカーテンで冷気をしっか…

FRICO社は、スウェーデンで85年以上の歴史があり、その「エアカーテン」は世界でも高いシェアを誇る製品です。『Pamir』は、隙間のない均一な空気のカーテンにより、建物の出入り口における空気の流出入を防ぐ製品です。整流効果の高い独自構造を採用。噴流幅が薄く、噴流速度も一定の為到達風速分布が安定し、優れた熱遮断効果が得られます。空調効率の向上が期待でき、大幅な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フカガワ

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空ガス置換オーブン

Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理最大450…

特許技術のラミナーフロー方式　YES PBシリーズのチャンバーは上部にガス発生プレナム、下部の吸引プレナムがついており、　加熱されたガス(通常N2)はウェハに対して平行に流れます。　平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを　除去するのに効果的です。チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載　加熱されたプロセスガスは100um径...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社

ガス配管

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

半導体向け溶接ガス配管　その他製品事例・・・・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造特殊材料ガス配管工事、その他など様々な製造を行っております ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

半導体製造向　特殊ガス　シリンダーキャビネット

ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事など承ってます

弊社の業務内容としては、半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事などです。【製品事例】・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から　ダウンロードしてくだ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バ...

メーカー・取り扱い企業：エヴァンリード株式会社

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置です。抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能です。排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能です。【特長】 ■ロブスカイト太...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンバック本社

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応目的に合わ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

排ガス処理セット　ES-F1

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着する、排ガス処理セット...【特徴】 ■塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着 ■エッチングマシーンの排気口へピッタリ差し込め取り付けが簡単 ■乾式フィルターを採用し、取り替えが簡単 ■活性炭カセット代は1時間当たりおよそ25円と経済的 ■活性炭カセット寿命：150時間 ■排気風量：約35L/分 ■排気ダクト長：2m以内 ■...

メーカー・取り扱い企業：サンハヤト株式会社

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

「SC-701AT」は、全自動コーターです。排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能 ○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。【取り扱い産業一覧】半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...近年...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

古河電気工業（株）でコーポレートの生産技術部門に26年間所属し、生産技術開発センター長を５年勤めました。主に光ファイバの開発・量産ラインへの装置導入の業務を行ない、現在も導入した装置が現役で活躍しています。私が担当した1980年後半から通信バブル崩壊するまでは毎年線引速度が高速化しプリフォーム径も大型化してゆく時代でした。私が担当した当時は、購入した線引炉の水漏れがたびたび起きて、自社で線引炉...

メーカー・取り扱い企業：プロセスD&Tラボ千葉

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター【特長】・200℃までの高温まで加熱可能・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます・半導体装置用のクリーンルー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京興業貿易商会本社

プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

ガスボックス

系統図、使用ガスの流量を御指示いただければ、確かな物を安価で迅速に供給できます。【製造事例】・高純度ガス供給ユニット製作・シリンダーキャビネット製作・排気ユニット製作・除害ユニット製作・クリーン自動溶接配管製作・真空配管製作など様々な製造をおこなっております。 ※詳細は【資料請求・】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から　ダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業：株式会社湘南テクノ

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイプ ○熱ダメージ防...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

フィルム連続成膜装置

ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム（任意設置） ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照） ■ロール幅・ロール径・巻取り速度...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため　厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

株式会社テック・エンジニアリング取扱い製品総合カタログ

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

株式会社テック・エンジニアリング取扱い製品総合カタログでは、シリンダーキャビネットやレギュレーターボックス、排ガス処理装置、マルチファンクションコンビネーションなどの「半導体関連製品」、クリーンルーム、各種精製ガス装置、除外装置などの「クリーンルーム設備」、ヒータージャケット、特殊ベローズなどの「シナテク社製品」等、多数掲載しています。【掲載製品】 ○半導体関連製品 ○クリーンル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テック・エンジニアリング

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。 ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。【特長】 ■広範囲な膜種による多層成膜 ■高屈折率制御が可能 ■高速で成膜が可能 ■低温・低ダメージで高品質、高結晶性 ■基板および成長面のクリ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

小型スパッタ装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

『小型スパッタ装置』は、1.3インチマグネトロンスパッタカソードを搭載した実験用高真空小型制膜装置です。放電用にマッチングユニット付きのRF電源を一台装備。酸化反応スパッタリングに対応できるデュアルガスノズルを備えます。また、対応基板は最大φ1インチまで処理が可能です。【特長】 ■1.3インチマグネトロンスパッタカソードを搭載 ■放電用にマッチングユニット付きの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック

【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…

「小型実験用イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。 Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表面温度80℃以下での処理が可能です。微細加工に最適です。【特徴】 ●有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要 ●エンドポイントディテクター搭載可能 ●イオンビームエッチング装置、イオ...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。【特長】 ○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング ○テーパー加工が容易 ○基板表面温度８０℃以下での処理が可能 ○有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要 ○エンドポイントディテク...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

高真空アニール装置「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

高真空アニール装置「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計10段、170×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。【特徴】 ○独立して稼動可能な処理室を2室有している ○生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード...

メーカー・取り扱い企業：樫山工業株式会社

半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。使用不可となった薬液（フッ酸、塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。【...

メーカー・取り扱い企業：オーエヌ総合電機株式会社

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。窒化膜半導体の電極の合金化に実績。急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブ...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

水素センサー、濃度計測、溶存水素、水素燃料

用例；EVバッテリー開発（発生水素をオンライで計測）水素ジェット・ター…

水素ガス限定、膜交換不要、メンテ・校正不要、自動校正、インライン用、OEM向け、水素検知、水素濃度計測、水素ガス分析、水素ジェット燃料BTU計測、水素ガスタービン混合比オンライン計測、FCV排気管内水素計測、水素発生装置、FC燃料電池性能評価装置、センサー自体が水素限定、誤信号ゼロ、防爆、IP64, IP68, 変圧器、新幹線用ー変圧器、支柱変圧器、DGA, 絶縁油保安、呼吸ガス、ドライキャスタク...

メーカー・取り扱い企業： TRANS-PAC SALES CORP

多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。主ポンプはクライオポンプを搭載しています。操作制御系は全自動式になっています。【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

イオンプレーティング装置「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。【特長】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によっ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング装置を納入した事例を紹介させていただきます。今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロードロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

メタルプラズマコーター「AT-ET」は、電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーター...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーティーエー

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

Coolteq ZERO 真空装置用冷凍機 Supcold社

HFC冷媒ガス無使用

地球環境にやさしい企業様に提案モントリオール議定書キガリ改訂により、2019年より段階的にHFCの使用量を減らして、2029年には70%削減を義務付けられております。 Coolteq ZEROシリーズはこの削減義務も問題ありません。 Coolteq ZERO冷凍機はHFCガス無使用です。カタログ内容ご確認願います。お問い合わせお待ちしております。 ...・冷却温度：－100℃～...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社