【特許技術】静音性に優れた「完全回転バランス型シリンダ装置」

PRシリンダの小型化/静音化でお悩みの方必見。機械的損失を大幅に抑えた高効…

完全回転バランス型シリンダ装置は、従来のレシプロ方式で生ずるピストン往復運動による機械的損失がありません。 ＜完全回転バランス型シリンダ装置の特長＞ ■従来のピストン運動によるエネルギー損失がありません ■水・オイル無しでの稼働を実現 ■レシプロ方式で見られる振動騒音をおさえました 【応用分野】 ■空圧コンプレッサー(エアコン、冷蔵庫等) ■真空ポンプ ■気体・液体等の流体移送ポンプ ■気体圧...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ケイ・アール・アンド・ディ (Ｋ．Ｒ＆Ｄ)

切削油を使わないNANO水加工【コストダウン事例資料を進呈！】

PR切削油不要！ナノ単位に微細化した水のみを使用した新たな加工技術。工場の…

水道水を「NANO水」発生装置を通過することで水道水に含まれる気体を ナノサイズにまで微細化して水の特性を激変させ、機械加工時の切削油の 代替品としてこの「NANO水」を使用することで、加工工場の課題を一気に 改善する全く新しいテクノロジーです。 すでに加工現場で13年の実績があり、加工精度向上、生産性向上、 工具の寿命延長、工場内の環境改善などを実践しています。 【以下の現場...

メーカー・取り扱い企業： 東京印刷機材トレーディング株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。 ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。 製造業現場においての使用用...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。 ・ウエハ非接触搬送装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

特殊な内部構造により断熱材不要！高効率、高速昇温！クリーン加熱 (特…

気体加熱ヒータークリーンホットは、外部への放熱を最小限に押さえ、 ヒーターハウジング外面の低温化を実現したことにより公害の原因となる断熱材が不要となりました。 同時に、熱効率が良くなった結果、気体加熱時間が短縮され短時間昇温を実現しました。さらに、ヒーターハウジング内の特殊構造により、ガスの流速を大きくとることができるので、ヒーター電力の密度を高く設定することが可能となり、大容量のシーズヒーターを組...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マイクロヒーター

マイクロヒーターは配管などに容易に巻きつけ可能で、真空中でも使用可能で…

マイクロヒーター（細管ヒータ）は、液体や気体などの被加熱物に直接触れる構造で加熱することが可能です。 主に配管巻き付け、溝に埋め込み、熱板、真空中の加熱などに使われています。 形状は、取付装置や部品に合わせて自由に設計可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

この度、新たに開発した「フロートチャックＣ型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（220...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能です。また排気回収機構が付いていますので、超クリーンルーム内での使用も可能です。紙、フィルム、不織布、スルホール基板等の薄い通気性のワークの搬送も可能です。ベルヌーイチャックとも言われています。手操作にて操作可能の...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pe...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

マクミラン　マスフローセンサ　Ｍｏｄｅｌ　５０シリーズ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レ…

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

高純度ケミカル・半導体用ノンスピル継手（ジョイント・コネクタ）

液ダレなしにワンタッチ接続が可能に

小型のケムクイックもございます。イプロス内検索で’ケムクイック’をご覧ください。（PPまたはPVDF製）。 ＜CPCプラスティック継手の特徴＞ 軽量で低価格。 錆（さび）対策に。 気体と液体両方に使用可能。 オールプラスティック製はディスポも可。 無塵クリーンルーム対応品は、医療、精密機械にどうぞ。チューブが自由に回転でき、ねじれを低減、使用中のチューブ脱落事故を防止。弁付タ...

メーカー・取り扱い企業： CPC（コールダー・プロダクツ・カンパニー） スウェップジャパン株式会社CPC製品事業藤沢事務所

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納し...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方…

0型三種類の長さで様々な機械に対応できる。 埃の溜まりにくい構造で、錆も発生いたしません。 防虫効果　紫外線カットで防虫効果があります。 低温で即時点灯　低温空間で即時点灯可能です。本体には耐気体性があり、製薬工場、化学薬品・化学物質工場等にも使用可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。 　ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

ＧａＡｓウエハ、超薄ウエハなどの反りのあるウエハを非接触にて搬送します。「超薄反り板状体非接触チャック」は、気体を噴出することによりウエハを非接触にて懸垂保持します。本装置は、新しく開発した気体噴出ノズル、排出部（Pat.Pend．）を採用し反りにあるウエハに非接触搬送を可能にしました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイピンセット（５０μm超薄ガラス用）

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

工業用ヒーターとして多分野で活躍中！新熱工業製『シーズヒーター』

半導体、理化学機器、厨房機器など多分野で実績あり。弊社のヒーター曲げ技…

ら製造・販売まで一貫して行うメーカーです。ヒーター曲げの技術を活かし、様々な分野、場所に適した形での設計、製作が可能。 その他、シーズヒーター製作の技術を応用し、「スーパーフラットヒーター」「気体加熱器/クリーンホット」「過熱水蒸気発生器/アクアスチームヒーター」も取扱っております。 詳しくは、弊社HPやイプロスからお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

【高周波】石英振動体型洗浄機　W-357-1MQG-SKC

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低…

メージが少ない、クリーンな洗浄 　薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷却機能付き 　振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命です。...

メーカー・取り扱い企業： 本多電子株式会社 産業機器事業部

Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブは、プロセス制御、発電および計装用途等で使用される液体や気体を完全なリーク・タイ トで遮断し、調整するよう設計されています。多様なポート・サイズおよびスタイルを備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 65 °F ～ 450 °F）の範囲の温度と最大5...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

Parker 計装用チェックバルブ

Cシリーズ逆止弁

パーカー C シリーズ逆止弁は、化学処理、オイルおよびガスの製造・搬送、製薬、パルプ・製紙、電力などの業界で、単一方向に流れる液体および気体の流量を制御するためのバルブです。...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

空気加熱ヒーター　PF100

はんだ付け予熱、樹脂硬化、洗浄後の乾燥、その他非接触の加熱工程に！25…

温度設定範囲：50-250℃ 送風排出免責：100×100(mm） 取付アーム距離：250mm 設置方法は自立型、他 加熱気体：空気 どれもカスタマイズできます！ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ALD装置（原子層堆積装置）『P-300B』

高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

9点、5mm EE） ■基板の装着 　・空気圧式リフトによるマニュアルローディング 　・半自動のリニアローディング 　・産業用ロボットによるローディング ■プリカーサー 　・液体、固体、気体、オゾン 　・レベル センサーオプション 　・4か所に分かれた注入口から最大8種類までのソース 　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

◆この微細化に伴い構造物は脆くなり、製造工程における洗浄・乾燥で生じる僅かな外力（毛細管力・表面張力）で構造が変形する問題が発生しています。 ◆変形原因である毛細管力・表面張力は液体と気体のような異相間で発生する力であり、同一相では発生しません。 ◆超臨界洗浄・乾燥装置は、毛細管力・表面張力を発生しないシステムにより、微細構造物を変形させずに洗浄・乾燥を行うことができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量が1/3である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

AIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非接触にて懸垂搬送する。クッション室内にて気体を垂直方向に噴出することにより生じるベルヌーイ効果およびエゼクタ効果による負圧発生により非接触状態にてウエハを懸垂保持する。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

φ３００mm　厚さ２０μmの高屈折率ガラスウエハを気体を噴出することによりピンセットのようにマニュアル操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて掴み、所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ピンセットＷ型

ウエハを非接触にて掴むピンセット！非接触ピンセットＷ型

ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ピンセットＴ型

ウエハを手操作により非接触にて掴むピンセット

ピンセットのように手操作により、ウエハに向かって気体を噴出することにより、ウエハを非接触にて吸着し、搬送します。ウエハ、チップ、レンズ等のワークにキズ、汚れを付着させません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所