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32件 - メーカー・取り扱い企業
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金型などの洗浄「ドライアイス洗浄とは?」※ホワイトペーパー進呈中
PR母材を傷つけない、高効率・低コストの新しい洗浄技術。6種類の洗浄方法の…
『ドライアイスブラスト洗浄』は、圧縮エアで噴射したドライアイスが 母材と汚れの間に入り込み、昇華時に約800倍に膨張する爆発力を用いて、 母材を傷つけることなく汚れを除去できます。 【特長】 ■非研磨なので母材を傷つけない ■薬剤不使用なので環境負荷が低い (二次廃棄物がなく、有害物質などもない) ■効率よく洗浄できるのでダウンタイムなし ★現在、プラスチック・ゴム部品な...
メーカー・取り扱い企業: Cold Jet
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汚れによる効率低下を予防し消費電力削減!『熱交換器自動洗浄装置』
PRボール洗浄システム「XAC」を導入することで、従来から無駄に使用されて…
ボール式熱交換器自動洗浄装置『XAC』は、 スポンジボールにより熱交換器のチューブ内を常時洗浄する装置です。 冷凍機の運転中に洗浄(伝熱管が汚れる前に洗浄)するため、 汚れによる効率低下を防止し、大幅な省エネが可能です。 大規模商業施設業をはじめ、製造業などの企業で導入頂いております。 【導入メリット】 ■汚れによる効率低下を防止し、常に冷凍機の能力を最大限活用 ■伝熱管チュ...
メーカー・取り扱い企業: 住友電工ツールネット株式会社 本社
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カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOU...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(…
枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作!
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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半導体製造装置 自動両面ウエハースクラバー(ブラシ洗浄装置)
【デモ機貸し出し可能!】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…
ウエハーやマスクガラスの洗浄機で、ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションに…
本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
W2300×D2300×H1850 ○ローダー:1カセット収納 ○カップ:SUS304テフロンコート ○ディスペンサー:空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク:レジストボトル用 ○カップ自動洗浄:アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク:SUS304 ○露光機:オプション ○現像用カップ:SUS304テフロンコート ○ベーク炉:ホットプレート、真空チャンバー ○回転数:MAX3...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!
ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー(ガリ砒素、ガラス、セラミック)等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
2300×D2300×H1850 ○ローダー:1カセット収納 ○カップ:SUS304テフロンコート ○ディスペンサー:空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク:レジストボトル用 ○カップ自動洗浄:アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク:SUS304 ○露光機:オプション ○現像用カップ:SUS304テフロンコート ○ベーク炉:ホットプレート、真空チャンバー ○回転数:MAX3...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…
○インナーカップ蓋: →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ:φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構:洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム:ステッピングモーター駆動 ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気:バブリング機構 ○乾燥:真空乾燥5×10-4(TOrr) ●詳しくはお問い...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付 ○処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…
スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!
SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます
本機はスピン式のスプレー現像装置で、自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を行います。 一度に数枚のワークを処理できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○スピン式のスプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、乾燥を実行 ○一度に数枚のワークを処理可能 ○現像液は予めタンクで電子冷熱機により恒温に保たれポンプで循...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-865…
ウエハー表面を非接触で純水の高圧ジェットにより洗浄するものです。 【特徴】 ◯パーテイクルの除去 ◯粒子状汚染除去 ◯ウエハー表面のバリの除去...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…
卓上型マニュアルスピンコーターは、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です。 条件設定は操作パネルのタッチパネルで行います。 各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOU...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…
本機は、バスケットに収納されたキャリヤーやボックスを精密洗浄し、乾燥するもので、ローダーから各処理工程を経て、アンローダー(乾燥部兼用)に搬出される自動洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成!
クリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉自動洗浄装置でウエハ搬送は3軸多関節クリーンロボットと前後搬送の単軸ロボットの組み合わせで構成されています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!
m ○インナーカップ蓋 →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ:φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構:洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム →ステッピングモーター駆動 →ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気:バブリング機構 ○乾燥:真空乾燥5×10-4(TOrr) ●詳しく...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型
φ2"~φ6"基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付
MSC-300型は、φ2"~φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ディスペンサー付 ○φ2"~φ6"基板対応 ○卓上型マニュアル式 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!
MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 【仕様】 ○外形寸法:W550×D550×H358 ○モーター:750...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…
本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○レジスト剥離装置 ○ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送 ○各処理工程を経由 ○温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥 ○アンローダーに払い...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エ…
本機はウエハーの洗浄、エッチング処理を行う装置です。 カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!
クリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
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株式会社技術情報協会 -
【ワンナットポンプ】菌と面倒なメンテナンスに「さよなら」を。
【インターフェックス出展】防爆サニタリーダイアフラムポンプ 化…
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金属系コンタミを大幅に抑制したビーズミル。処理速度も向上。「第…
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電動パワーユニット型 高圧洗浄機 SJME-713SA
バッテリー駆動で場所を選ばず、用途は多様
株式会社シンショー -
FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能
G1~G6hの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケ…
株式会社ディー・アール・エス(DRS) -
遠隔監視/操作により廃水を無人で減容化可能!UF膜廃水処理装置
全自動で手間いらず。吸着剤・薬剤を使わず高効率に分離ろ過。電気…
株式会社マツケン -
ステンレス製バフ研磨装置 ~機械腐食を軽減し長期安定稼働を実現~
ステンレス材質のスタンドやベースを使用することで機械腐食を軽減…
生田産機工業株式会社 -
フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置
パーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ…
富士ハイテック株式会社 -
連続バフ研磨装置~高速回転で高精度を実現~
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生田産機工業株式会社