真空プロセス | イプロスものづくり

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

【初展示製品多数】医薬品・化粧品の開発に関わるご担当者様必見！

PRインターフェックスWeek東京に出展します。ニッチだけど新しい、費用対…

ジャパンマシナリーは、「インターフェックスWeek東京」に出展いたします。一つのカテゴリーに収まりきらない製品群を持つ当社のブースでは、商品開発、プロセス開発、生産技術、製造、保全までのすべてのご担当者様必見です。わずか1μL/秒の極小領域対応のシングルユース対応シングルユースマイクロドージングポンプ「QB2-SD」や、ゲームチェンジャーとなる世界最小クラスの顕微ラマン分光センサー...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンマシナリー株式会社

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロ…

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムにモニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。さらに、真空フィードスルーオプションでイオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは真空中のサンプ...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞

世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。

Radimoラジカルモニター　＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…

ウエハーセンス(WaferSense)（サイバーオプティクス（CyberOptic）社）はプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社スズキ

高コスパ　プラズマモニター！

プロセス管理・リーク確認・エンドポイントの検出に！

本製品は、プラズマの発光色をRBGの3色のみモニターすること、および操作やロギングをお客様のパソコンで行う仕様であるため　・プロセス管理　・リーク確認　・エンドポイントを【高コスパ】で実現！！ ...【特徴】プラズマの発光色をRGBセンサでモニター。お持ちの真空装置のビューポートに設置するだけ※1で使用OK。 PC※2と接続することで簡単操作、記録も可能。高コスト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社チェッカーズ

埋込機『シンプリバック』

使いやすくコンパクトな形で優れた細孔含浸を実現

シンプリバックは常温硬化埋め込みプロセスが最適化されています。 ■プログラムが可能。真空レベル、真空状態での時間、真空状態でのサイクル数を設定可能。 ■直観的なインターフェイス ■大型の試料チャンバーで、処理量を増やし、これまで以上に多くの試料を分析 ■清掃が簡単...電源　単相寸法　W325×D488×H472mm 重量　23kg ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパンビューラー株式会社ビューラービジネスユニット東京本社

バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。 ...【仕様】 ○処理方式平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室アルミニウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

ウエハーセンス　サイバーオプティクス製　製造装置改善用測定センサ

ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効…

ウエハーセンス（サイバーオプティクス（CyberOptic）社）のはプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置...

メーカー・取り扱い企業： JFE 商事エレクトロニクス株式会社

自動検査装置『BMWシリーズ』

歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置

『BMWシリーズ』は、デバイス製造プロセスにおいてウェーハ裏面に発生する微小凹凸欠陥を高感度・高速に検出し、露光・CMP等の後続プロセスでの歩留り低下を誘引する欠陥情報を速やかにマップ化する自動検査装置です。また、レビューステーションでは、マクロ検査で抽出された候補欠陥に対して、レーザー顕微鏡による三次元自動測定を行い欠陥P-V値等の詳細データをユーザーに提供、プロセスの安...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

エッジ欠陥検査装置『RXWシリーズ』

独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術！シリコンウェーハ専用装…

『RXWシリーズ』は、独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を駆使した、シリコンウェーハ専用のエッジ欠陥検査装置です。ウェーハ製造およびデバイス製造の各プロセスにおいて要求されるエッジ近傍領域の多様な欠陥検査・寸法測定・自動選別の要求に応えます。デバイス製造プロセス対応の「RXW-1200D」や、「RXW-1200F」などをラインアップしています。【搭載...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプティマ https://www.optima-1.co.jp/

医薬品CCIT用全数検査インラインリークテスター

長年の経験でどんな容器のCCIT（容器完全性試験)にも対応！世界に実…

【バイアル・シリンジ・BFS・IVバッグ対応】高速インライン全数リーク検査装置様々な種類の医薬品容器及び内容物を高い生産速度での100%インラインの状態で非侵襲、非破壊で完結可能なテストが実現できるように設計されています。テストは高速で、信頼性が高く再現性もあり一貫した結果が得られ、容器や内容物の機能を損なうことなく、完全なバッチ制御が可能です。空リークあるいは圧力リーク法は現在...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

小型高性能飛行時間型質量分析計

小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、…

◆飛行時間型残留ガス分析器 IonTamerシリーズ小型・高性能を実現した飛行時間型質量分析計。ガス組成をリアルタイムで、高分解能、高感度にモニター可能。半導体、ソーラーパネル製造、OLEDディスプレイ、光学、真空コーティング工程（CVD、PVD、ALD）の研究開発にご使用いただけます。 IonTamerの装置は、ネットワーク経由で完全に制御・操作。直感的なソフトウェアで、測定データ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

最高1800℃～＆雰囲気操作環境下の実験を体験【高温依頼測定】

IRシリーズの高温観察炉を利用しデモ≪加熱/雰囲気操作/酸化実験≫金属…

▼ここがポイント▼ 1.加熱工程での不具合の原因調査・解明のヒントが得られる 2.高温下での素材の反応・挙動等のメカニズム解析に役立てられる 3.急速加熱、急冷など多様な温度コントロール下の変化が確認できる ▮IRシリーズとは？近赤外線集光のランプから発せられた赤外線が炉内壁の金メッキにより反射され効率良く炉中央の加熱範囲に集光することで温めることが出来る炉です。(詳細はIRイメー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所

ALD装置　Beneq TFS 500

ALD研究およびとバッチ生産向けのプラットフォーム

『Beneq TFS 500』は、薄膜成膜用途での様々な使用に適し、マルチ・プロジェクト環境に好適なツールです。手動操作のロードロックを搭載して、ウェハ処理能力を高めることが可能。異なる種類の反応チャンバを真空チャンバ内部に取り付けることができ、お客様の用途に合わせて各反応チャンバを最適化することができます。また、工業的信頼性に関する厳しい要件と、R＆D業務の柔軟性への...

メーカー・取り扱い企業： Beneq株式会社

関西電資株式会社　事業紹介

プリント基板・電子部品製造及び検査装置並びに関連資機材を取り扱っており…

関西電資株式会社は、奈良県奈良市にある、プリント基板・電子部品製造及び検査装置並びに関連資機材の国内販売及び輸出入、各種自動機設計・製作及び保全業務などを行っている会社です。関西電資株式会社は「ISO 14001」を1999年に認証を受け、2002年より「自己宣言」しております。【取扱機器例】 ○水平式半自動PSRエアー・スプレー塗布機 ○回転ノズル式高圧洗浄機 ○各種自動化マテ...

メーカー・取り扱い企業：関西電資株式会社