フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

低価格　光学式薄膜測定装置

反射分光法とカーブフィット法を組み合わせた、光学式薄膜測定装置。

反射分光法とカーブフィット法を組み合わせた光学式薄膜測定装置 ■□■特徴■□■ ■透明または半透明な薄膜の表面と基板との界面からの反射を 　 解析することにより、数秒で解析が簡単に行える ■膜厚の他、光学定数の測定もこの１台で行えるの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レスター システムビジネスユニット

測定装置『高感度薄膜磁歪測定装置』

数nmの超磁性薄膜の1×10-7の測定が可能な装置です

『高感度薄膜磁歪測定装置』は、コンパクトな本体をそのままに、数nmの 超磁性薄膜の測定が可能になった測定装置です。 新開発の超高感度用長光路ユニットの採用により、さらなる高感度測定が 再現性良く測定で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東栄科学産業 名取工場　磁気応用部

回転式薄膜オーブン『OSK 40DP-81PV1632』

7インチタッチスクリーン制御パネル！効率的な性能で設定温度に速やかに到…

『OSK 40DP-81PV1632』は、半固体の瀝青素材の動くフィルム上へ熱風・ エアーを施す場合の効果を測定する回転式薄膜オーブンです。 内・外装ステンレス仕様で、効率的な性能により設定温度（規格では163℃）に 速やかに到達可能。 2重ガラス製窓付扉で、気流制御は0.1～10,000mL/minとなって...

メーカー・取り扱い企業： オガワ精機株式会社

薄膜ストレス測定装置『FLXシリーズ』

大学・ラボなどで研究用として多く活用されている薄膜ストレス測定装置

『FLXシリーズ』は、レーザ光線により非接触・非破壊で、薄膜ストレスを 高密度に安定して測定できる装置です。 波長の違う2種類のレーザーを自動選択し、様々な基板、膜種に対応。 半導体産業、半導体・材料メーカーはもとより、近年ではLED、太陽電池...

メーカー・取り扱い企業： 東朋テクノロジー株式会社

薄膜厚測定システム

分光器からソフトウェア、顕微鏡まで組合せ自由な膜厚測定システム。

オプトシリウスがご提案する膜厚測定システムは、オーシャンオプティクス社の分光器、光源、反射プローブ等に、協業メーカーの分光干渉膜厚測定ソフトウェアを組み合わせたオリジナルシステムです。 ...分光器からソフトウェアまで、組み合わせは自由なので、顕微鏡と組み合わせた微細スポットの膜厚測定や、製膜過程のリアルタイム測定など、お客様のニーズにあったセットアップをご提供可能です。 ◎より詳しい掲載...

メーカー・取り扱い企業： オプトシリウス株式会社

三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DR

試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定！FPD用フィルムやS…

Technology, Inc. 三次元光屈折率・膜厚測定装置　プリズムカプラ　SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルム、SiO2等の３次元複屈折率測定などの用途に適しています。搭載レーザーは405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能、複屈折率測定は、X-Y軸間を、0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

シート抵抗測定用4深針ケーブル

お手持ちのデジタルマルチメータに接続するだけ！簡単に薄膜のシート抵抗が…

『シート抵抗測定用4深針ケーブル』は、信頼性の高い４探針法により、 薄膜の表面抵抗を測定するための製品です。 測定は、デジタルマルチメータにケーブルを接続し、四線式抵抗測定モード にして探針を薄膜に押し当てるだけ。 電流と電圧を別々に測定するため接触抵抗の影響...

メーカー・取り扱い企業： アステラテック株式会社

静電容量式 水分計 プローブ MIS Probe

薄膜酸化アルミニウム・センサを使用したスタンダード・プローブ

《仕様》 ・測定方法：薄膜酸化アルミニウム式 ・測定レンジ：-110～+20℃DP(露点)/～+60℃(OP)、-30～+70℃(温度)、0.2～2.0MPa G、 3.4～34.4MPa G、他(圧力) ・測定精度：±...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

高解像度X線回折『AXRD HR』

薄膜および単結晶材料の特性評価のための仕様変更可能な高解像度X線回折計…

『AXRD HR』は、高い精度と精度を提供するように設計された革新的な ゴニオメーターを備えている高解像度X線回折です。 X線反射率（XRR）を実行して、薄膜、多層コーティング、および界面の 物理的表面特性を評価できます。高分解能のロッキングカーブを使用して、 エピタキシャル単結晶膜を分析し、バルク単結晶の結晶完全性を決定できます。 また、相互...

メーカー・取り扱い企業： プロトマニュファクチュアリング株式会社

熱流計・熱流束計(250度まで対応)『CHF-FHF06』

『熱の流れを数値化する』薄膜形熱流計FHFシリーズ。FHF06はより高…

薄膜熱流センサーCHF-FHFシリーズは、組み込まれた対象物または取り付けられた対象物を通過する熱流束を計測し、W/m2(ワット毎平方メートル)の単位で表します。内部の受感部はサーモパイル(熱電錐=熱電対の集まり)でできており、センサーの裏と表の温度差により発生する小さな電圧出力から、センサー固有の係数を掛けることで熱流へと変換します。 CHF-FHF06は従来モデルのCHF-FHF05と同様に柔...

メーカー・取り扱い企業： クリマテック株式会社

CAPTHERM熱流計

高温用水冷式熱流計

CAPTHERM熱流計は堅牢且つ操作が簡単で、各々の製品に較正感度データが添付されています。電圧計またはデーターロガーなどと接続して高精度に読取り・記録が可能です。 また、薄膜熱流束センサーはヒートシンクのサポートと熱的に密着しており、低熱抵抗を得ることができています。薄膜熱流束センサーは熱流束レンジが広く、一定の精度で計測可能です。熱流計の出力レンジの変更は、電圧計など...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクノオフィス

サーマル式風速センサー／品番 M261A10-285GE-30m

クリーンルーム等の微風速・ラミナーフローからコンプレッサーの圧縮空気ま…

一定温度に熱せられたヒータ素子が風速の影響により変化した熱量を測定することにより流速を演算します。 M261A10プローブは薄膜フィルムセンサー素子を使用しています。 薄膜センサはニッケル抵抗温度計とニッケル抵抗ヒータで構成されています。 M261A10薄膜フィルムセンサ素子の時定数(t95)は約5m/sの標準の空気速度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

灯油センサ（警報セット）

灯油のヘッド圧を検知して動作。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がない

灯油センサ（警報セット）は、灯油のヘッド圧を検知して動作する圧力式灯油センサです。感圧面がステンレス薄膜で漏れの心配がないため、灯油ホームタンクの油切れ防止用に２０年以上前から使われています。台所にあるボイラーリモコンに油が少なくなったときに、セグメント表示をしたり音声で警報を出すなどに多く使われてお...

メーカー・取り扱い企業： フジコントロールズ株式会社

比誘電率・誘電正接測定システム『DPS03』

試料の出し入れが簡単！ミリ波領域での測定精度が高い薄膜対応測定装置

『DPS03』は、開放型共振器の一種であるファプリペロー(Fabry-Perot)共振器を 用いた薄膜対応測定装置です。 ミリ波領域での測定精度が高いとともに、小さい試料が測れることもでき、 試料の出し入れが簡単に行えます。 なお、Windows 対応のコンピュータで自動測定いたします...

メーカー・取り扱い企業： キーコム株式会社

薄膜太陽電池パネル測定装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

フラットパネルディスプレイ製造マーケットでは、品質管理用途にて非常に多くの実績がございます。...太陽電池で必要な様々な光学系、電気系測定が1台で可能です。 　- 分光エリプソ(膜厚、光学特性) 　- ライフタイム測定 　- シート抵抗測定 　- 比抵抗測定 　- ラマン分光 第10世代パネル対応まで対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

圧縮測定器『METPOINT PRM』

卓越した測定精度と信頼性！モニタリングの最適化とエネルギー効率の向上が…

『METPOINT PRM』は、ガス状及び液体状の中膜内の相対圧力（超過圧力） を検知し、測定を出力信号に変換する圧縮測定器です。 ステンレススチールの薄膜センサーを使用することによって 作動圧力の高精度モニタリングを保証。 コンプレッサのモニタリングを最適化し、 工程におけるエネルギー効率の向上を可能にします。 【利点】 ■正確な薄...

メーカー・取り扱い企業： ベコテクノロジーズ株式会社

レーザパワーセンサ

当社独自の薄膜素子を使用！出力安定度が高いレーザパワーセンサのご紹介

センサ』は、レーザ光を熱起電力に変換し、 レーザ出力を測定する為の素子です。 受光面には、レーザ光を効率よく吸収する処理を施してあります。 熱起電力を発生させるサーモパイルには、当社独自の薄膜素子を使用。 また、仕様をご提示頂ければカスタム品のセンサも製作致します。 【特長】 ■出力安定度が高い ■出力リップルが低い ■受光面には、レーザ光を効率よく吸収する処理を施して...

メーカー・取り扱い企業： 日本高周波株式会社

IGC インバース・ガスクロマトグラフ

医薬原材料、粉体、薄膜、繊維などの表面物性測定をこれまでにない高感度で…

技術、特に固体医薬原材料は、成分および構造について広いレンジの高精度化学物性測定技術の必要性にせまられております。 IGC インバース・ガスクロマトグラフはガスによる表面物性測定技術として微粒子、薄膜、繊維材料の表面物性研究に開発されたものです。 SEAは医薬品材料の物理化学的性質の測定、すなわち粉体の表面自由エネルギー、酸性・塩基性パラメータなど主剤複合物から添加剤まで、多くの物質の製品及び...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーストコア

TRIBIGEAR　連続加重式表面測定器　TYPE 22

薄膜の評価に最適な連続加重式

被膜の付着力を連続加重引掻抵抗で評価 薄膜の評価に最適な表面測定器 ...

メーカー・取り扱い企業： 新東科学株式会社 本社

【高感度水素選択センサモジュール】Hydlog20

センサーの誤検知にお困りの方必見！ 高感度センサー＋水素選択性センサ…

ンサモジュール化） ＜超音波式水素ガスセンサー（トリガーセンサー）＞ ■高感度(1,000ppm) ■高速連続検知（瞬間的な水素を捕らえる） ■他のガス濃度を捕らえることも可能 ＜合金薄膜センサー（メインセンサー）＞ ■水素にのみ反応する水素吸蔵合金を薄膜化 ■混合ガス環境下でも確実に水素にのみ反応 ■無酸素環境下においても水素を検知 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

低抵抗率小型マッピングシステム

試料形状に影響されずに表面抵抗率・体積抵抗率を精密測定！複数枚試料の連…

当製品は、試料形状に影響されずに表面抵抗率（Ω／□）、 体積抵抗率（Ω･cm）を精密測定できます。 導電性フィルムや金属・ITO薄膜などの膜厚・組成バラつきが 一目瞭然で、300mm□までの試料のマッピングや複数枚試料の 連続測定も可能となっております。 【特長】 ■ロレスタGXと接続し、10-4から10+7Ωレンジ...

メーカー・取り扱い企業： 日東精工アナリテック株式会社

EddyCus(R) TF lab 4040SR-OT-OR-H

光電池や半導体、透明帯電防止導板などの非接触測定に！

『EddyCus(R) TF lab 4040SR-OT-OR-H』は、導電性薄膜の シート抵抗(Ohm/sq)と光透過性と反射の正確な測定ができる 非接触シート抵抗&光伝送測定器です。 使いやすいソフトウエアによる手動マッピング。 光電池や半導体、透明帯電防止導板な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リッチモアインターナショナル 本社

高速分光エリプソメータ UNECSシリーズ

薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【ア…

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニット

圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULV…

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニットは、大気圧近傍（ゲージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ベテルの熱物性測定装置

シート状・板状材料の熱拡散率測定装置や繊維配向分布熱的評価装置などをご…

/35」は、シート状・板状材料の熱拡散率 測定装置で、機能性材料の熱拡散率測定が可能。 「サーマルマイクロスコープTM」は、産総研計測標準部門との共同開発により 製品化しており、微小領域と薄膜測定ができます。 この他にも、赤外カメラとレーザで、熱伝導パスを可視化する 「サーマルイメージングスコープ TSI」や「繊維配向評価システム TEFOD」も 取り扱っています。 【サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベテル 精密金型・金属加工事業

高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』

プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測…

【その他特長】 ■プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定 ■SEMI E95準拠の画面により操作性向上 ■300mmライン用自動化システム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社国際電気セミコンダクターサービス

ボイラーチューブ内面スケール厚さ測定『スケールフィット』

蒸発管・過熱管の酸化スケール等に！わずか数秒でスケール厚さを求めること…

含まれる厚さ成分の分離を行います。 演算は非線形最適化法(Damped Least-Squares=DLS法)により高速かつ 好適に行い、わずか数秒でスケール厚さを求めることが可能。 薄膜スケールの測定を実現します。 【特長】 ■観測波形に含まれる厚さ成分の分離を行う ■わずか数秒でスケール厚さを求めることが可能 ■薄膜スケールの測定を実現 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 日本非破壊検査株式会社

ダクト型露点変換器 NS-R

マイコン搭載により温度・相対湿度より演算にて露点温度を出力。

り温度・相対湿度より演算にて露点温度を出力。 -25～＋100℃、0～100%RHの広範囲での計測が可能。 高精度型のNS-RAと標準型のNS-RBの2タイプを用意。 温度センサには高精度白金薄膜センサ素子を、湿度センサには高湿度域でも安定かつ交換時に回路調整不要な高分子電気容量型湿度センサを採用。 湿度センサ撥水加工、焼結樹脂センサキャップ・ステンレス製センサキャップ、取付用フランジ・ト...

メーカー・取り扱い企業： 日本シンテック株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】

【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】 ◆４種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要 ◆デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定 ◆高速測定による...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社