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26件 - メーカー・取り扱い企業
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21件 - カタログ
217件
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイ…
エスケイ電子工業の工場用マットスイッチは、１００万回もの繰り返し運用が可能。特殊コーティングしたアルミ板フィルムにウレタンスポンジを挟み込む独自構造で、高耐久性を低価格で実現しました。 不感部分が少なく、確実な動作も特長です。防水仕様は、耐油と非耐油、２線式および４線式をラインアップ。色、形状、寸法、厚さもカスタマイズ可能です。長年にわたりご利用いただき、約50年間の実績がありますので、安心して...
メーカー・取り扱い企業： エスケイ電子工業株式会社
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先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…
従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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「電解研磨装置」「専用電極治具」「電解研磨液」を一括提供いたします。
『EP-ISシリーズ』は浸漬電解研磨に独自機能を付与した電解研磨自動装置です。 電解研磨処理中に発生する酸素と水素ガスを独自の液揺動方式で攪拌し、好適な処理条件のもと高品質電解研磨を実現。 【ターゲット層】 ・電解研磨を内製化したいお客様 ・電解研磨を生業にしており自動装置導入により効率化したいお客様 【特長】 ■材料表面がクロムリッチになり耐蝕性向上 ■表面粗度が改善し...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部
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サンユー電子 真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ
スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子
1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…
当製品は、TEOSをはじめ、液体原料ソースを対象とした シリンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。 液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、 内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を 設計開発。 上蓋開閉により基板交換、内部メンテナンスでき、小型でスペース効率の 優れた装置です。 【特長】 ■シリンダーキャ...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…
『ウェハプロセス用真空蒸着装置』は、6インチまでのウェハへの 電極膜形成に対応したバッチタイプ蒸着装置です。 ディスクリートIC、化合物IC、MEMSデバイスの量産用途に 豊富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を 実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。 量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置とし...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…
高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社
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簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…
「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。 シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。 また、専用オプションにより、有機物の薄膜...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…
QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用 → 個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W3…
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計で...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…
『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む 厚膜の形成が可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！
『SPR-014-B』 は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式 バイアススパッタリング装置です。 ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた 良好な絶縁膜形成ができます。 【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性 ・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMP...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所
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持ち帰りをゼロにし歩留まりを向上！半導体製造装置ごとに最適化されたピッ…
オルテコーポレーションは、半導体製造装置の消耗パーツを取り扱っている会社です。 「エポキシ ディスペンシングルノズル」や「交換式ゴムコレット（交換式ラバーチップ）」 といった後工程で使われる様々なパーツを取り扱っており、 数十年に及ぶ豊富なケーススタディから、最適なコレットをご提案いたします。 半導体でお困りのことがあれば、是非当社までご相談ください。 【取扱製品】一部抜粋 ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置
『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。 有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で 行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる 一貫した装置となります。 グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構...
メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社
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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201
ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブ...
メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社
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装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け
イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、6軸もしくは8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…
薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…
「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。 デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル＆イージーオペレーションです。 イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。 試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。 【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格／小型軽量タイプ ○熱ダメージ防...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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走査電子顕微鏡用試料作製に最適！ 試料作製の煩わしさを解消します。
「SC-701AT」は、全自動コーターです。 排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。 走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。 【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能 ○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多く...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES
樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密着...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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時代のニーズに応えハイテク時代を切り拓く！高機能・高精度の研磨加工を実…
『ECPシリーズ』は、高機能・高精度の研磨加工を実現した電解研磨機です。 電解液中で金属表面を高電流密度にて電解することにより、金属表面の 微小突起に電流が集中して突起部を溶解して平坦にする加工法。 ワーク材質は、ステンレスが主な対象です。 他の加工法に比べ、高速仕上げが可能です。 【特長】 ■耐蝕性を向上させる ■加工面の摺動抵抗の低減に好適 ■内表面の面粗度向上に好...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央製作所 東京支店
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超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。
KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。 ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。 シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。 【特徴】 ○シンプルな設計で簡便性を重視 ○フラックスレートモニタリング用電極付 ○手動式シャッター機構を標準装備 ○ロッド状材料とルツボのどちらも...
メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社
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便利な角度調整ハンドル付き！面倒で時間の掛かる金属表面の研磨処理を一気…
『8818-V3』は、お客様の試料の研磨やエッチング作業の効率を大幅に 改善する電解研磨装置です。 工業用の研磨装置として軽量かつコンパクト、強固な設計が施されています。 冷間加工時に応力を発生させるとなく金属を研磨し、深さ方向の 残留応力測定時にご活用いただけます。 また、汎用的に冶金学などの表面研磨にも使用できます。 【特長】 ■電解液が循環式のため従来の1/2の...
メーカー・取り扱い企業： プロトマニュファクチュアリング株式会社
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