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高機能フィルムの生産に！マイクログルーブロールで傷・蛇行を抑制
PRスリップ・蛇行、歩留不良などのお悩みをロール交換のみで解決！加工・適用…
【展示会情報】 『高機能素材Week 第12回 FILMTECH JAPAN（2024/5/8～5/10）』に出展します。 ■会場：インテックス大阪4号館 ■ブース番号：14-15 ★非接触式衝撃波クリーナー"ウェイビー"による、持込ワークのクリーニングデモも実施いたします。 ※デモ実施対象：厚さ～150μm、100x150mm程度までの寸法のフィルム ロール表面に一様かつ微細な溝加工を施した当...
メーカー・取り扱い企業： 若水技研株式会社
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PR様々な利用シーンで活躍中！4G VoLTE通信のホットライン電話で、無…
新たな時代のコミュニケーション手段、それが当社のホットライン電話です。 受話器を取るだけで登録した電話番号に自動で通話が開始され、即座の対応が可能です。 ドコモ、KDDI、ソフトバンクなど、複数キャリアに対応し、4G通信で動作するため、電話回線工事も不要です。電源を接続するだけで利用可能で、これにより、設置や運用コストを大幅に削減できます。 リモートでの設定変更や再起動が可能なため、遠隔...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケイマックス
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1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック
□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にて懸垂把持し、トレーに収納します。 搬送...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…
『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。 ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチ...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン
メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。 新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで 安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー
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超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)
ウェハーを割らずにそのままで測定可能です。...結晶欠陥分析装置 SIRM-300は、非接触、非破壊にて結晶欠陥測定が可能な光学測定器です。 様々なバルク特性解析(バルク/半導体ウェハーの表面付近の酸素、金属 堆積物、空乏層、積層欠陥、スリップライン、転位)が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…
ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能 ...石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ウエハを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック
非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の１／３である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。...気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを無接触あるいは非接触状態にて懸垂保持し、搬送する。ベルヌーイチャックである。新開発の非接触パッド「フロートチャックSA型シリーズ」は従来品に比し空気消費量...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…
ソ－ラ－リサ－チ研究所では、5.0ｍｍ□～ 微小ワークのチップを非接触にてチャックし 搬送する「クリーンルーム対応小型ベルヌーイチャック」を 開発しました。この装置は、気体を噴出することにより エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と 圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく 裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触） 状態にてチャックし、所定の場所に搬送します...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50…
大気圧プラズマ処理 エキシマUV照射 UV硬化装置 ・ラミネート、貼合せ ラミネーター 貼合せ装置 ホットプレス 真空プレス ・付帯設備・測定器材 非接触式膜厚計、光学顕微鏡、分光エリプソメーター、接触式段差計 SEM・EDX、接触角計、その他 ※その他の設備によるテストご希望が御座いましたら何なりとお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック
新機構「気体垂直噴流方式」を採用しております。、気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「フロートチャック」は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置
『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム
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ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類…
今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？ 本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。 ・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ） ・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ） 上記の2種類をラインナップしております。 お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コスト...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
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測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム
【半導体関連 製品情報】 ○測定機 →Si、SiC、MEMS、太陽電池、サファイアウェーハ製造の各工程に向けた 各種測定機（厚さ、低効率、直径等）を製作 →用途に合わせた接触式・非接触式などの測定方法、クランプ方式、 自動機・手動機などを選択可能 →測定値の出力も表示のみからPC取り込み・演算・マッピングなど 各種ソフトの対応が可能 →スタンドアローンだけでなく、イン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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非接触・非破壊・瞬時測定が可能！好適な測定位置を指定できます
当製品は、金または銅ワイヤボンド専用手動測定レーザーボンドテスターです。 性能評価・ワイヤボンダーの条件出しや個体差の管理・抜取り検査・ 小ロットの全ボンド検査にご利用いただけます。 尚、測定方法はレーザー周期加熱式接合界面測定法となっております。 装置安全基準は、ISO 13849 / JIS B 9705 に準拠。 その他詳細につきましては、お問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業： アイエルテクノロジー株式会社
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標準的な測定対象は、パワー半導体製造後工程における太径アルミワイヤボン…
当製品は、アルミワイヤボンドの非接触・非破壊・瞬時測定ができる レーザーボンドテスターです。 ボンド位置情報から画像処理で好適な測定位置へ修正する機能が 標準搭載されています。これにより、効率的な抜取り検査や中ロットの 全ボンド検査にご利用いただけます。 尚、測定方法は、レーザー周期加熱式接合界面測定法となっております。 【特長】 ■自動測定 ■非接触 ■非破壊 ■...
メーカー・取り扱い企業： アイエルテクノロジー株式会社
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先端スクイ兼用研磨機『EGHT-VC23＋EPAT-510』
供給装置はアーム振り子式を採用！分離型ワーク自動供給装置付き
『EGHT-VC23＋EPAT-510』は、高精度、ハイパフォーマンスの 兼用型研磨機です。 砥石の3枚使い、しかも連続運転で作業の高速化を実現。 高品質を実現するため、ワンチャッキングで4工程の連続運転が可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■供給装置を接続する事で自動連続運転が可能 ■レーザー＆サーボにより、高精密・高精度の位置決めが可能...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ
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抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。...【PC制御による簡単操作の非接触抵抗測定器】 ◆省スペースでパソコンに...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…
純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて、カスタマイズが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズ…
ミネート加工 真空ラミネーター ロールtoロールラミネーター 卓上ラミネーター 【付帯設備・測定器材】 バッチ式洗浄装置 UV表面改質装置 ホットプレート 非接触式膜厚計 光学顕微鏡 分光エリプソメーター 接触式段差計 SEM・EDX 接触角計 その他 ...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション
12インチ（300mm）対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。 マニュアル装置に「肝心の貼付け作業だけでも自動化」し、さらに「貼り付け条件の設定と貼り付け品質の定量的な管理をしたい！」と希望されるお客様にお応えする装置です。 経験の浅いオペレータでも、熟練者のような安定した品質での貼り付け...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
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サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。
◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ◆機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現...ウェハー横置き、枚葉式ファインジ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック
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0.6umの微細描画が可能な高速マスクレスアライナー
マスクレスアライナー MLA150は、マスク不要の非接触レーザー露光装置です。卓越した使いやすさ、および高速性により、ラピッドプロトタイピング、少量から中量生産、および研究開発環境における理想的なレーザー直接描画方式の、マスクレス露光装置です。 2015年に初めてマスクレスアライナーシリーズが発表されて以来、革新的で最先端のマスクレステクノロジーが確立されました。MLA150は従来のマスクアライナ...
メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
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Compact & Resonable for Highend Pro…
モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロ...
メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
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寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…
BPS-2000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するの...
メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
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ウェハフィルムマウンティング装置 HS-7600/HS-7800
気泡無く貼り付け可能！パターン面非接触式も製作できます
『HS-7600/HS-7800』は、常にフィルムにテンションを掛けた状態で マウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を 入れる事なく、完璧なマウントを行ないます。 また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備。 各種デバイスや工程に対応した製品を豊富に取り揃えております。 （UV硬化タイプ、ノンシリコンタイプ、帯電防止UV硬化タイプ、BGタイプ等） 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社
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時代のニーズに応えハイテク時代を切り拓く！高機能・高精度の研磨加工を実…
『ECPシリーズ』は、高機能・高精度の研磨加工を実現した電解研磨機です。 電解液中で金属表面を高電流密度にて電解することにより、金属表面の 微小突起に電流が集中して突起部を溶解して平坦にする加工法。 ワーク材質は、ステンレスが主な対象です。 他の加工法に比べ、高速仕上げが可能です。 【特長】 ■耐蝕性を向上させる ■加工面の摺動抵抗の低減に好適 ■内表面の面粗度向上に好...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央製作所 東京支店
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シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…
・測定位置は自由にセッティング可能です。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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好適な測定位置へ補正する機能を標準搭載！効率的な抜取り検査や中ロットの…
当製品は、金ワイヤボンドの非接触・非破壊・瞬時測定ができる レーザーボンドテスターです。 ボンド位置情報から画像処理で好適な測定位置へ補正する機能を 標準搭載。これにより、効率的な抜取り検査や中ロットの全ボンド検査に ご利用いただけます。 その他詳細につきましては、お問い合わせください。 【概要仕様(一部)】 ■測定方法：レーザー周期加熱式接合界面測定法 ■測定対象：金...
メーカー・取り扱い企業： アイエルテクノロジー株式会社
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太径アルミワイヤボンド専用手動測定レーザーボンドテスター！全ボンド検査…
当製品は、手動で好適な測定位置を指定できる汎用性の高いテスターです。 これにより、当製品の性能評価・ワイヤボンダーの条件出しや個体差の 管理・抜取り検査・小ロットの全ボンド検査にご利用いただけます。 尚、標準的な測定対象は、パワー半導体製造後工程における 太径アルミワイヤボンドです。自動車・鉄道車両・産業機器・ 航空宇宙など高信頼性を要求される産業機器に使用されています。 ...
メーカー・取り扱い企業： アイエルテクノロジー株式会社
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ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…
・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション） ・Siウェーハ（テープ付含む）の厚み測定も可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。
・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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Compact & Resonable for Highend Pro…
モータ・コントローラ一体型BPS-i30ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロー...
メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
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抵抗率／シート抵抗測定器 【EC-80】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。...【コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器】 ◆JOGダイヤルによ...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…
・自動で多点の厚さ測定が可能です。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…
・測定位置は自由に決められます。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・お使いのキャリアサイズ、材質などはご相談ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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