高精度測長切断機『SA-384（384S）』

PR測長にエンコーダーを搭載！高精度な測長が可能な測長切断機のご紹介

『SA-384』は、測長にエンコーダーを搭載しており、高精度な測長が可能な 測長切断機です。 最大幅140mm、厚さ30mmの電線を最長3000mまで測長して切断ができ、 可とう導体は厚さ13mmまで切断可能。 また、シリーズとして「SA-384S」があり、最大幅145mm、厚さ30mmまでの 電線を3000mまで測長して切断が出来ます。 【特長】 ■測長にエンコーダーを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイショウ

【NEW】カスタムクランパーAUW08＜M-Tech出展＞

PRエアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ！…

クイッククランパーシリーズ新製品！カスタムクランパー エアを供給するとシャフトをアンクランプ、遮断するとシャフトをクランプ。 両端に追加されたリニアブッシュにより、スラスト荷重を受けることが出来ます。 カスタムクランパーをならいユニットに使用すれば、素子の配置パターン替えも容易になります。 高さ調整や位置決め、Z軸の落下防止用途、治具、ロボットハンドなど、様々な用途にご利用いただけます。 【使用...

メーカー・取り扱い企業： トークシステム株式会社

超高出力　UV-LED照射器　ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体…

従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ100...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

半導体製造装置向け！SUS0.01ｔ～の高精度シムプレート製作

半導体製造装置用に精度向上のために使われるシムプレートをSUS0.01…

半導体制動装置用のシムプレート精度向上のために使用されます。そのための製品の制度も要求されますが高精度レーザー加工機で実現します。 SUSの場合0.01ｔの板厚から製作が可能です。 高精度なスリット加工や穴加工を施したシムプレートで装置の精度向上に貢献します。 また弊社では同形状板厚違いをおまとめして納品することも可能です。様々な板厚を調整の為必要な現場も多いと思います。 高精度は薄板のシム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください！！...高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします 　・高温炉内温度を正確に測定いたします 　・最先端装置に搭載されて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高精度フルオート フリップチップボンダー：femto2

FINEPLACER femto2 は最先端用途向けに設計された高精度…

「FINEPLACERシリーズ」のモデル名femto2（フェムト2）は、 搭載精度0.5μm@3sigmaの全自動高精度ダイボンダーです。 装置エンクロージャにより、完全に制御された環境下で、要求の厳しいアプリケーションに対応致します。 システムは完全に外部の影響を遮断し、最高クラスの歩留まりで、安定したアセンブリプロセスを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

高精度ダイボンダ／フリップチップボンダ　FDB210 /211

光デバイス量産に最適化された高精度ダイボンダっです。更に高精度のFDB…

本機は、量産対応の光通信モジュール/光デバイス生産用高精度ボンダです。 フリップチップと搭載にも対応しています。 チップ・基板をトレイで供給するFDB210型とグリップリング供給のFDB211型があります。...主な特徴 ■微小チップ（0.25ｍｍ～）に対応　　（オプション：0.15ｍｍ～） ■±2μｍ （3σ）　の高精度実装が可能 　　高剛性フレームとフルクローズド軸制御による高精...

メーカー・取り扱い企業： 澁谷工業株式会社 メカトロ統括本部

高分解能　静電容量センサ

高分解能　静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています！！...標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応！測定する材質を選びません！非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

リニアエンコーダ内蔵　高分解能位置決め装置

【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

[新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

高ワット密度カートリッジヒーター「UA-UM型」

高ワット密度により迅速な昇温と高温度を可能するカートリッジヒーターです…

ホットセット社は数多くのカートリッジヒーターを生産、世界中で使用されています。...スペースが限られていてなおかつ大きい熱量を要求される場合に最適な電気ヒーターです。 寸法、容量により100種類以上の在庫がありますのでお問合せください。 また、Ｊセンサー内蔵型もあり、直接ヒーターの発熱温度をとらえるので、ヒーターの保護としても最適です。 標準電圧：２３０Ｖ、材質：ＳＵＳ３２１相当品、使用温度...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

セインのウルトラフローSCは、ネジ接続またはダブルフェルールチューブフィッティング付きのウルトラフロー特別バージョンです。半導体製造工程で使用される液冷システム向けに特別設計されたステンレス・スチール製です。フラット・フェースデザインのため付け外しの際に液だれがなく、クリーン環境汚濁防止、高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出防止に有効です。また、低圧力損失かつ高い流量特性により、システム全体のエ...

メーカー・取り扱い企業： セインジャパン　株式会社

高硬度フラッシュめっき『クロアモール』

硬質クロムめっきの約２倍の硬度(HV1800)を実現した、世界初のアモ…

世界初のアモルファスクロム「クロアモール」は2〜4%の炭素を含むクロム系合金めっきで、膜厚3～4μと薄いながらも高硬度と優れた耐摩耗性を兼ね備えています。 【特徴】 ●アモルファス構造を有し、通常の結晶構造のめっきとは異なる特性を有する。 ●熱処理により、硬度が硬質クロムめっきの約倍の最大Ｈｖ１，８００にまで達する。 ●400℃で急激に軟化し600℃ではHv200ほどの硬さしかない硬質...

メーカー・取り扱い企業： オテック株式会社

【技術資料】高出力レーザーダイオードの全自動実装

高出力レーザーダイオードの全自動実装に関する情報を詳しく掲載

レーザー技術の発展に伴い、その応用範囲も広がっています。赤外から紫外まで、レーザーは計測や分光、光通信、光データの処理や保存、光ファイバ通信や医療機器など、あらゆる分野で利用されています。 また、需要の高まりに伴い、例えば高出力レーザーダイオードの製造などは、主要な量産プロセスの一つとなっています。高出力レーザーを大量に生産するためにはダイボンディング装置が必要となり、そのダイボンディング装...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800ｘ40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置…

金属製プレートは重く、熱変形により精度維持が困難です。SiCセラミックスへの代替により様々な問題を解決します。 【仕様】 ■最大寸法　□800(Φ800)ｘ40t ■平面度1~5μm　平行度2~10μm　面粗さRa0.4μm 　※精度は寸法や形状で変わります 【主な特長】 ■軽量　■高剛性　■低熱膨張　■高熱伝導　■耐摩耗　 【採用効果】 ■軽量・高剛性による装置性能向...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３００mlと、お客様の基板サイズ及び使用用途に合せたポンプサイズをラインアップ。...均一な薄膜塗布が要求される...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

『集積回路測高検査装置2型』は、視野角10mm内、高さ0.7mm以内の高さ計測が可能な製品です。 スロットマガジンに格納されているリードフレーム(最大30×50)を1枚ずつ計測ステージにローディングし、高さ計測を実施。 検査結果によるNG排出を行い、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。 厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。 ・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

Microchipバッファ付き高精度参照電圧生成器MCP1501

8種類の電圧に対応する製品を提供！バッファ付きの参照電圧生成器

『MCP1501』は、20mAの電流をシンク/ソースできるバッファ付き 参照電圧生成器です。 参照電圧は、低ドリフトのバンドギャップ回路により生成され、 チョッパー型増幅器はドリフトを低減し、性能を低下させずに 大電流を出力します。 パッケージは、6ピンSOT-23/8ピンSOIC/8ピン2mmx2mm WDFN パッケージで提供。 下記関連動画は、BMS(バッテリーマネ...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

半導体材料　ＡＬＤ／ＣＶＤ材料

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

業界に先駆けて新規ＡＬＤ／ＣＶＤ材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

アルミフレーム 高剛性アルミ構造材 ZFシリーズ

剛性を極めた アルミフレームの新境地 ZF

差し込み方式の新たな締結や、焼きばめ、栓の技法などを駆使したジョイントや、柱を梁の形状をかえることにより、力の伝達を意識したフレームのＺＦ。 アルミフレームの持つ自由度高さを生かしつつ、鉄同等の剛性で大型の装置に最適です。 また、ロボット架台としても世界的産業用ロボットメーカーにも高く評価され、標準パッケージへの採用も次々と実現！ ロボットの挙動などを含めた構造解...

メーカー・取り扱い企業： SUS株式会社

超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。 応用例 ･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入) ･X線集光レンズ (放射光施設向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

産業機械や半導体製造装置・治工具の装置開発

産業機械や半導体製造装置・治工具の装置開発

開発に関して一貫して受注できる体制を完備し、あらゆる角度からの装置の開発をサポートいたします。 ■主な加工設備　（総床面積：約750m2） −−−−−−−−−−−−−−−−−− ・加工室　高さ：145m2／広さ：4m　 −−−−−−−−−−−−−−−−−− ・検査室　高さ：65m2／広さ：3m　 −−−−−−−−−−−−−−−−−− ・組立室　高さ：240m2／広さ：4m　 −...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スイングシートカッター『ST50/100』

従来のギロチン方式から新工法スイング 方式を採用！シートカッター

ST50、ST100は、従来のギロチン方式から進化したスイング方式を採用したシートカッターです。 ギロチン方式の切断面と比べて美しく高精度な断面を実現しました。 【スイングシートカッターの特徴】 1.スイング断裁方式 シート・フィルムの切断方式を従来のギロチン方式から 進化したスイング方式を採用。ギロチン方式の切断面と 比べて美しく綺麗で高精度な断面を実現しました。 2.長寿...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

アルミ、ステンレスの単品加工部品／半導体製造装置

最短半日見積り／アルミ、ステンレスなどの金属部品を1個から単品加工いた…

アルミ、ステンレスの単品加工はお任せ下さい。 ＝＝ 実績 ＝＝ 《用途》 半導体製造装置用 《材質》 A5052（アルミニウム） 黒アルマイト処理込み 《加工》 フライス加工 《加工精度》 1/100(10μｍ) ～ 5/1000（5μｍ） ※参考値の為、内容により異なります。 弊社は、部品の加工→表面処理(研磨)→検査まで、一括して承ります。 1個～数10個の単品加工を得意としており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

直動式エアプレス

ストローク全長で推力一定

【特長】 ●ストローク全長に渡って一定推力が得られます ●ラムはねじれ防止機構を備え表面は研削仕上げにより、高精度で高寿命 ●高精度のスライドガラスを採用 ●短時間で正確なワーク高さの調整が可能 ●1ショット運転、連続自動運転も可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 仲精機株式会社

既存空室のクリーンルーム転用に　フロアーコーチTz　興研代理店

■既存建屋の一般的な天井高さ2400mmの部屋をクリーンルームに転用可…

■一般建屋内の天井高さ2400mmの部屋に設置するだけで、人が立って作業できる2100mm高さのスーパークリーンルーム(清浄度ISOクラス１)に転用可能。 プッシュフードとガイドスクリーンだけの簡単な構成でISOク...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

φ３００ｍｍ高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。...φ３００mm　厚さ２０μmの高屈折率ガラスウエハを気体を噴出することによりピンセットのようにマニュアル操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて掴み、所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

AMX社製　シンタリング装置　

特許取得済みのマイクロパンチプレス搭載シンタリング装置。異なる高さのダ…

ンスと装置の停止時間を削減します。 AMXのシンタリング装置で最も特長的な機能は特許取得済みのマイクロ‐パンチプレスツールです。 このツールは基板上の全ての搭載物に接触する事が可能で、 異なる高さのダイや様々な形状の基板をシンタリングする事が可能です。 また、マイクロ‐パンチプレスツールは非常に柔軟性が高く、ダイとダイとの距離に制限無く対応します。 このシンタリングテクノロジーにより...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ダイレクトドライブモータ［Zシリーズ］（DDモータ）

様々なバリエーションを揃え、半導体製造機器や液晶パネル製造機器、一般F…

種をラインナップ。特殊対応も可能！ ○大きい中空径 構成部品の配置を容易にする大きな中空径。 例）ZMD-20026E-007 ・最大トルク22Nm　・中空径80mm　・高さ45ｍｍ ○耐環境性、メンテンス性向上 電動機の回転力を減速機等のメカ機構を介さずに、 直接駆動対象に伝達することができる為、クリーン環境での使用に最適。 ○1,000倍以上...

メーカー・取り扱い企業： シンフォニアテクノロジー株式会社 (旧)神鋼電機

高精度絶対圧真空計

高精度絶対圧真空計

■F.S.レンジ：1.33×10<SUP>1</SUP>〜3.33×10<SUP>6</SUP>Pa ■精度：読み値の0.05〜0.12％ ■有効数字：6桁 ■45℃温度制御...MKSの製品は、半導体・液晶パネルを始めとする、先進技術を用いて製造される様々な製品の製造プロセスで活躍しています。 特に現在のハイテク電子製品に使われている半導体デバイスの製造に必要とされるプロ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方…

多くの昆虫が見ることができる光の領域は紫外線領域に大きく偏っています。 殆どの虫は400nm以下の光しか見えないが、一部の虫は570nmまでの光が見えています。 電費半分の防虫ランプは虫の可視エリアであり580nm以下の波長を全てカットしているため、 殆どの虫対する防虫効果を期待できます。 【特長】 ■従来のタイプと比べ、大幅な省エネ効果 ■長寿命　50,000時間 ■高照度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

TECHNIX 直流高電圧電源

TECHNIX社の高電圧電源装置は、欧州の国研や企業の研究所、大学、産…

テクニクス社の製品は、IGBTとLCフィルタを組合せた二重共鳴方式によって実現した、低コストでの高電圧ソリューションを提供いたします。...製品群のラインナップは、出力パワー300W～500kW、電圧1kV～350kVと幅広く、様々な用途に合った電源装置をお選びいただくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

高出力レーザ単結晶育成装置『LFZ-Compact』

お手持ちのスマートホンで、加熱部の監視および焦点、倍率、絞り調整が可能…

『LFZ-Compact』は、出力半導体レーザを用いた浮遊溶融帯(FZ)方式の 単結晶育成装置です。 加熱部の観察用高精細カメラと、21.5インチ大型ディスプレイが装備 されています。(標準) 録画可能で、加熱部の監視および焦点、倍率、絞り調整は、お手持ちの スマートホンでできます。 【仕様】 ■レーザ照射光強度(下記のレーザ照射光強度が選択可能) 　・1)100W×5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノサーチ

単結晶サファイア

単結晶サファイア

単結晶サファイアは、その優れた機械的特性、 光透過性、化学的安定性から、 高信頼性の部品材料として、ますます重要度を増しています。 　 [特長] ・優れた光透過性 ・高強度、高耐磨耗性、高耐熱性、高耐食性 ・安定な誘電率、極めて低い誘電損失、電気絶縁性 ・良好な熱伝導性、高耐熱性 ・最大口径８インチの大口径材料に対応 ・厚み公差：角型・丸型±0.02、大口径品±0.05、 ・...

メーカー・取り扱い企業： 橋本理研工業株式会社

SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

SUSS MicroTec社製の卓上型インクジェット塗布装置『LP50』は、目的に応じて 柔軟にプリントヘッドを選定できるよう設計された多機能で高精度な製品です。 （Fujifilm、KonicaMinolta、Xaar、Canon製ヘッドに対応しています） エポキシ樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂やUV硬化樹脂等のダイレクト塗布、 ウェハへのレジストやパッシベーション膜の塗布、AgやC...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…

モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。 ※8インチまでの対応もご提供可能です。 EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

断面観察用超音波カッティング装置『CSX-100Lab』

「切る」「磨く」を一工程で行うことで断面カット作業時間の大幅短縮と高品…

■基本仕様 ・切断可能最大ワークサイズ：φ100mm （75mm角） ・切断可能最大ワーク高さ：9ｍｍ ・装置寸法（WxDxH）：650x905x1,350mm ・装置重量：380kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ターンテーブル/インデックステーブル(アルミハニカム製)

円形の回転テーブルをアルミハニカムパネルで製作！軽量化とコストダウンの…

モリシンでは平板、曲面、棒状だけでなく円形の回転テーブルもアルミハニカムパネルで製作可能です。 【特長】 ■軽量＆高剛性 パネル体積の約9割が空気のため軽量です。また、アルミ箔製のハニカムコアは、「蜂の巣」のように6角形を敷き詰めた「最も少ない材料で最も丈夫な構造」を実現します。 ■コストダウン 寸法やロットによっては、軽量化による材料費減効果により、アルミや鉄などの加工品に比べ...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

レーザー描画装置『DWL 2000 GS』シリーズ

高速高解像度レーザー露光装置

『DWL 2000 GS』は、グレイスケールリソグラフィーに適した、柔軟性のある高速高解像度レーザー描画装置です。グレイスケールリソグラフィーは伝統的なバイナリリソグラフィーと異なり、マイクロレンズやブレーズド回折格子のようなスロープパターンをレジスト上に再現する技術です。 『DWL 2000 GS』シリーズは最大描画エリアが200x200mm²もしくは400x400mm²あり、MEMS、B...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

【共通仕様】 ■ 卓上ホットプレート ＜標準250℃モデル＞ 対応温度範囲 ～250°C ワークサイズ 3～8インチ 寸法 幅300×奥行350×高さ300 mm タイマー制御ピンアップによる上・下の2段 マイカヒーター・AC 100 V 600 W 丸型φ216 mm ＜高温350℃モデル＞ 対応温度範囲 ～350°C ワークサ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

ドイツホットセット社製コイルヒーター　「UWRP型」

高ワット密度ながら線径が細く、エレメント単体では被加熱物の形状・長さに…

取付スペースに制限がある場合は、スパイクシステムを利用することでクランプ式に比べ突起の無いため、より小さなスペースで密着させることが出来ます。 概要はカタログをご覧下さい。...高ワット密度ながら線径が細く、コイル状なので被加熱物の形状・長さに合わせることも可能な電気ヒーターです。但し、成形は一回に限ります。 エレメントに熱電対を内蔵したタイプ(線径の細いＵＷＲＰＦ１.３×２.３を除く）やクラ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

【アオイ電子】ナノピンセット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境…

アオイ電子製ナノピンセット（Nano Tweezers）は、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いてシリコンウェハより作製されたピンセットです。 専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、先端が滑らかに開閉動作し、ナノ～ミクロンサイズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TEM試料（幅3～5μm）、細菌・細胞（φ1～20μm...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

ガントリ型　4軸ステージ

ガントリ型　4軸ステージ

に構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 　300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 　高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 　低く抑えることができ、高速での移動でも 　テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、精密洗浄に適する高い周波数（500kHz、1MHzHz）を利用した洗浄機である。UMCシリーズでは、500kHz型、1MHzHz型それぞれ２機種が用意されている。 UMCシリーズの特徴は、 １、デジタル式超音波発振器で、照射時間、出力モードの設定、および超音波出力の調整が簡単にできる。 ２、共振周波数自動サーチ機能付き、常に安定した超音波出力と高洗浄力を...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ 製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果 ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化 ・光学部品 製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子 用途・効果 レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

ATプレス『ATD100/ATP100』

エアプレスで40kNの高推力を実現

ATプレスは、アイセル独自のパワー機構を採用し、 通常のエアシリンダーより推力を大幅にアップさせたエアプレス機です。 コンパクトでエア源のみで設置できるため、手軽にご使用いただけます。 薄物フィルムのハーフカット・全抜き加工、 全自動化ラインの組込み、偏光板・拡散板・OLEDの 打抜きに好適です。 【ATプレスの特徴】 1. アイセルが独自に開発したDTP機構を採用するこ...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

ラミック放電管タイプで チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 　金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能 　（ラジカル源、プラズマ源...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

半導体製造工程で使用する高精度位置決めステージ使用例

位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが…

当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装置などにも活用できます。 【掲載製品（一部）】 ■ワイヤーソー ■ウエハボンディング装置 ■プリント基板用露光...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

【事例】半導体装置の高精度架台フレーム（平面度0.1）

厚めの角パイプで製作！設置部は門型マシニングにより平面度0.1mm以内…

当社では、このような門型マシニングにより精度出しを行った架台・ フレームの製作も得意としています。 【製品属性】 ■業界：半導体関係 ■工程：検査用 ■サイズ：全長1200×幅900×高さ650 ■精度：±0.5mm ■素材：スチール＋塗装 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： タカキ製作所株式会社 本社/本社工場

サーボマニュアルプレス「Across M」

スマートデザイン&簡単操作！60/100/120トン マニュアルプレス

ランプ：60ton, 100ton, 120ton ○サーボトランスファー： 3.0ton ○スプリングプランジャー：12Mpa（標準） ○油圧プランジャー：14Mpa（オプション） ○作業高さ：1314mm ○型開き：160mm ○モニター高さ：1485mm ○重量：2.8ton（120t仕様例） ○幅930mm×奥行き1130mm×高さ1844mm（120t仕様例） ●詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ.エフ.ティ

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズは、自社開発の供給ヘッドを使い液体・粉体を高精度分注を実現、シリンジ・カップに自動供給するシステムです。LED生産現場で要求される精度を実現します。また、生産効率、材料の無駄を減らし、人為的ミスによる不良を防ぎます。全自動（SAP-1 A14）・半自動（SAP-1 M6）のシステムを自由に構成できます。シリンジ・カップ共に対応可能です。 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

オートモールディング装置「Across R2-60」

オールビュー＆簡単アクセス！サーボクランプ60tonのオートモールド装…

【機械仕様】 ○サーボクランプ：60ton ○サーボトランスファー：3.0ton ○油圧プランジャー：14Mpa ○作業高さ：1315mm ○型開き：120mm ○モニター高さ：1500mm ○重量：2.9ton ○サイクルタイム：18sec+成型時間 ○幅1780mm×奥行き1380mm×高さ1728mm（例...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ.エフ.ティ

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

ニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 　高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

ウェハー　一括移し替え器

ウェハー　一括移し替え器

、中間切り替え位置を変えることで受取り可能です。 ■ウェハーにやさしい！ ウェハーを持ち上げて移送しますので、薄型ウェハーでも傷つけません。 また、二ヶ所のネジを緩めることによりウェハーの高さを調節できます。 ※薄厚の混合は不可 ■裏表反転移送が可能！ カセットは上下どちらにもセットできますので、カセットに対してウェハーを裏表どちらにもセットすることができます。 〜〜〜〜〜〜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック

長尺バレル

長尺バレル

当社が開発した長尺バレルは、高効率なので従来コストに見合わなかったものについても対応可能となりました。また液切れの非常に良い構造となっているので、無駄な薬品の持ち出しがなくなりました。長さ8mという世界最大級のバレルの実績もあり、大物定尺物のめっきにはかかすことのできないバレルです。 ★高効率めっき 　被成膜物のサイズが大きくても高効率めっきが可能であるのでめっきコストの削減を実現しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

半導体洗浄装置用ラインヒーター

最高９０℃で利用可！ＮａＯＨ水溶液の加熱に適した循環用加熱ヒーター

本製品、PRH（Protect　High　Temp）ヒーターは、NaOH加熱時の 腐食減肉速度の上昇に伴うヒーター断線・タンクからの漏れなど、 様々な問題点の一つ一つに着目して開発されたものです。 ...　 【特　長】 ■耐久性に優れ、高濃度・高温度での使用が可能。 ■水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液の高濃度での使用を実現。 　（工業で一般的に使用される４８％以上の濃度で利用可能）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダステム