高圧洗浄 | イプロスものづくり

PRIP69K 防水・防塵　ベアリング内部に水が入らない

・IP69K　防水・防塵・頻度の高い高圧洗浄に耐える設計・食品ライン用に開発された新設計・シャフトに傷をつけいないオクロックシステム搭載・バクテリアの発生を防止するハウジング設計（スタンドオフ）・取付面より12ｍｍのクリアランスを設けたSUS316ハウジング・無給油（メンテナンスフリー）グリスアップ不要・NSF認証　H1グリス使用・ハウジングにQRコードを刻印　トレ...

メーカー・取り扱い企業： UEK株式会社

『PTFEライナーフレキシブルホース』

PR優れた耐薬品性で医薬品や工業用など幅広い分野で活躍。豊富なシリーズから…

Aflexブランドの『PTFEライナーフレキシブルホース』は、流体接触面を化学反応が少ないPTFE樹脂でライニングした製品です。優れた耐薬品性を備え、高圧および最大260℃の高温に耐性を発揮。滑らかな内面構造により、液体の流速を確保できます。 CIP/SIPに対応したシリーズもあり、高い衛生性が求められる分野でも活躍。ホースに接着剤を使用しないため、剥離によるコンタミリス...

メーカー・取り扱い企業： Watson-Marlow（ワトソンマーロー）株式会社東京本社、大阪支社

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

高圧洗浄機...

メーカー・取り扱い企業：コニテク株式会社

FOUP洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）

実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…

当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

二宮システム製　超高圧精密洗浄装置

非接触で高い洗浄効果を発揮...【特長】 ○Max. 22.5MPaの超高圧マイクロジェットにより非接触で高い洗浄効果を実現します。 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用されるダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

ワーク洗浄装置

◆ワークに表面に付着した汚れの洗浄に

レトルト食品・ゼリー菓子等の食品工場で生産する各種ワークに対応、高圧の細かなシャワー水で洗浄するコンベヤタイプの洗浄装置です。お客様のニーズに合わせ、前後工程を含め特殊タイプも設計・製作しております。ぜひ、お気軽にご相談下さい。...*　高圧の細かいシャワー水で洗浄するため、通常洗浄機では取れない汚れも落とすことができます。 *　痛みやすいワークでも、汚れだけを落とすことができま...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アイ・エス・エス

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現しました。さまざまな洗浄ツールの組み合わせが可能です。...ミクロンレベル微小液滴の高速噴射により薬液処理後のリンスなどに効率良く高い洗浄効果が得られ、ライン長の短縮が図れます。その他洗浄ツールも搭載可能（超音波ディップ、メガシャワー、アルカリ、酸、機能水洗浄）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ搬送…大気3軸クリーンロボットクリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター洗浄…ブラシ、MS標準装備オプション…高圧ジェットノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

キャリア（カセット）ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...キャリア・カセット等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200までクリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの手動スピン洗浄装置

シンプルデザインの多目的応用手動装置 ==================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ洗　浄…ディスクブラシ、1.1MS標準装備オプション…高圧ジェットノズル、薬液ノズル等電源…AC100v or 200v CDA.…0.5MPA.以上純水…0.2MPA.以上その他恒温水槽内 ...シンプル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコンタミネーションフリー）があります。検出機能を強化し、振動子劣化を検出可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。海外の電圧に標準で対応し、各種規...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可）【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300mm ○洗浄液...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...【特徴】 ■装置寸法　 2700W×1500D×2000H　(200WCBT) 　 3000W×1500D×2000H　(300WCBT) ■ワークサイズ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

キャリア（カセット）ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...キャリア・カセット等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...ボックス等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

FOSB洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種FOSBの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...FOSB等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...ボックス等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

FOSB洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種FOSBの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...FOSB等の複雑な形状に合わせて洗浄を行うことで、最適な洗浄結果が得られます。手作業で行われていた洗浄工程を自動化することにより、洗浄効果が安定します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

FOUP洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。この他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場