ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの 焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した 卓上型真空はんだリフロー装置です。 有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも 余裕で対応することができます。 【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

従来の熱風循環乾燥炉の効率化！高効率型乾燥炉(シェル方式乾燥炉)

PR能力とエネルギーを 10%以上向上、設備導入コストを大幅にカット！　新…

これまで主流であった熱風循環炉において、 時代に合った高効率型(シェル方式乾燥炉)がついに誕生！ 乾燥炉の構造を変えることで大きく性能向上いたしました。 高効率型(シェル方式乾燥炉)なら乾燥時間を確保しながら、 乾燥炉の必要面積を下げ、ガスの使用量(ランニングコスト)を 約10%以上削減することができます。 既存の設備でも約90%の乾燥炉で内部改造が可能で、 土日や大型連休を使って改造工事が可...

メーカー・取り扱い企業： イデア株式会社

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします 　・高温炉内温度を正確に測定いたします 　・最先端装置に搭載されて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

Agnitron社 MOCVD装置 In-situ温度モニター

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-si…

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定性を有する業界最高レベルの温度モニターです。 (1) 圧倒的な温度制御の精度と正確さ (2) メンテナンス後のキャリブレーション時間を短縮 (3) Run to Runの再現性が向上 (4) 様々なアプリケーションに役立つ単波長および二波長反射率オプション 標準波長：930nm, オプシ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最大流量100L/min、 最高使用温度300℃まで可能な製品をラインアップ。 温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズで...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高精度 プログラマブル ホットプレート HP-220

必要な機能だけを気軽に使えるエントリーモデル（ユニテンプジャパン株式会…

ドイツUniTemp社の温度コントロールの高性能さはそのままに、 リフローに必要な機能だけを搭載した手軽にお使い頂けるモデルです。 コンパクトで設置も簡単です。 ■最大到達温度250℃ ■窒素ガスパージ可能 ■16ステップの温度プログラムが設定可能 ■対象物の熱容量を自動計算してコントロールするので、 設定通りに温度制御。繰返し精度も高く、オーバーシュートも殆どゼロ ■高い...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

高耐熱樹脂　『PEEK』　【短納期　小ロット　対応可能】

半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！ 切削…

PEEKは「高耐熱性」「機械的強度」「耐薬品性」などに優れた熱可塑性高機能樹脂(スーパーエンプラ)。 PEEKは連続使用温度約250℃、融点は334℃で熱可塑性樹脂で最高ランクの熱的特性を誇る。 耐薬品性に非常に優れており、高温下での耐酸・耐アルカリ性に非常に優れている。又、幅広い周波数範囲で優れた絶縁性・誘電特性を発揮。 PEEKは切削による1個からの対応に加え射出での量産ロットにも対応可...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

熱制御システム　HEATCon　高効率能動式温度コントローラー

評価テストから量産テストまであらゆるテスト環境に適用！

スト温度をコントロールする高効率能動式ソリューションです。 温度：20～150℃ アプリケーション：ソケット蓋/プランジャ/カンチレバー/ハンドラ 適用範囲 : 高消費電力デバイス / 高温度 ...

メーカー・取り扱い企業： WinWay Technology Co., Ltd.

熱制御システム　E-Flux　超高熱流束温度コントローラー

評価テストに適用、チラー不要でマイナス40℃まで対応可能！

E-Flux Extremely High Heat-Flux Thermal Controller　 超高熱流束温度コントローラー E-Fluxは高消費電力チップに対して高温/低温テスト環境を提供します。冷凍サイクル技術によって、DUTを直接加熱/冷却させることができます。 温度：-40～150℃ アプリケーション：ソケット蓋/プランジャ/カンチレバー 適用範囲 : 高消費電力...

メーカー・取り扱い企業： WinWay Technology Co., Ltd.

ＮＥＷ温度可変レーザ三次元測定機

リフロー時における熱変形を高精度測定　半導体パッケージ・プリント基板・…

鉛フリー化対応　高速昇温機能 　窒化アルミ製加熱ヒータ採用により最大で10℃/secでの加熱が可能となり、リフロー時の温度プロファイルを忠実に再現できます。 幅広い温度範囲　正確な温度制御 　試料の加熱・冷却・温度保持をおこなう恒温チャンバは、液体窒素流量制御とヒータ出力制御によりマイナス７０℃から３５０℃までの温度範囲で正確な温度制御をおこないます。 充実した測定機能　各種解析サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

半導体の高精度化と微細化、またその半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。 レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。 ●高電圧： 最大50kVDCまで対応可。単極・多極・...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

高電圧パルス発生器

電圧・電流設定の操作、モニタ-を行う事が可能

・高安定度高圧電源(温度変動50ppm/℃)搭載。 ・電流、温度制御の時定数設定可能。 ・高電圧高速スイッチ(2KV-pp / 40ns)搭載。 ・各電源を機能別にモジュール化。 ・各電源の電圧、電流、温度モニタ機能。 ・負荷短絡時の保護機能。 ・5KVフローティング回路へ80W電力供給、SPI信号通信。...本電源ユニットは、研究用装置電源の機能として求められている多様な機能を有して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Ａ・Ｒ・Ｐ

『超高精度誘導発熱ジャケットロール』

250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケット…

『超高精度誘導発熱ジャケットロール』は、オイルロールの設置が難しい クリーンルームでの高温精密加工を可能にしました。 可燃物を使わない安全でクリーンな電気式制御で、ナノレベルの厚み精度が 求められる光学用フィルムや、食品包装資材の加工に優れた特性を発揮します。 また、配管や付帯設備が不要なため、作業環境の省スペース化にも貢献します。 【特長】 ■機械精度は250℃の高温下で円筒...

メーカー・取り扱い企業： トクデン株式会社

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADRO...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

高ワット密度カートリッジヒーター「UA-UM型」

高ワット密度により迅速な昇温と高温度を可能するカートリッジヒーターです…

ホットセット社は数多くのカートリッジヒーターを生産、世界中で使用されています。...スペースが限られていてなおかつ大きい熱量を要求される場合に最適な電気ヒーターです。 寸法、容量により100種類以上の在庫がありますのでお問合せください。 また、Ｊセンサー内蔵型もあり、直接ヒーターの発熱温度をとらえるので、ヒーターの保護としても最適です。 標準電圧：２３０Ｖ、材質：ＳＵＳ３２１相当品、使用温度...

メーカー・取り扱い企業： 日本ヒーター株式会社

Microchipバッファ付き高精度参照電圧生成器MCP1501

8種類の電圧に対応する製品を提供！バッファ付きの参照電圧生成器

『MCP1501』は、20mAの電流をシンク/ソースできるバッファ付き 参照電圧生成器です。 参照電圧は、低ドリフトのバンドギャップ回路により生成され、 チョッパー型増幅器はドリフトを低減し、性能を低下させずに 大電流を出力します。 パッケージは、6ピンSOT-23/8ピンSOIC/8ピン2mmx2mm WDFN パッケージで提供。 下記関連動画は、BMS(バッテリーマネ...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

高精度ダイボンダー・フリップチップボンダー『lambda2』

【技術資料進呈中】サブミクロン対応高精度ダイボンダー。小型卓上型、試作…

lambda2（ラムダ２）は、0.5ミクロンの搭載精度を実現！ 最新の電子部品、光学部品(VCSEL、PD、MEMS、MOEMS、 マイクロLED、センサー等)の実装に適しています。 熱共晶、超音波、接着剤方式、UVキュアリングなどに柔軟に対応、 繊細な材質の実装や幅広いボンディングプロセスを実現致します。 【特長】 ■小型卓上タイプで、サブミクロンの搭載精度を達成 ■豊...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

　　　　　　　　　　　　　　　設定圧：0.05～0.1MPa [性能] ○到達圧力　6.7×10-4Pa以下 (2槽排気) ○排気時間　6.7×10-3Pa迄20分 (2槽排気) ○最高温度　300℃ (試料用トレーの中央部の表面温度) ○常用温度　250℃ (試料用トレーの中央部の表面温度) ○温度調整精度　±15℃以内 (250℃にて、試料用トレーの中央部の表面温度) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。 ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。 製造業現場においての...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・最大100枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～8インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ) 　・真空・プラズマ不要 (熱CVD) 　・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高出力円筒形ヒーターモジュール　スパータルSMU

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

円筒形ヒーターモジュール　SMU 円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■発熱体最高使用温度：　1550℃ ■炉内　最高使用温度 ：　1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが提供できる機能 ・急速な昇降温...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温 ◎ 面内温度分布 ±2%以内 ◎ 制御精度・再現性±1℃ ◎ 低価格 ◎ 短納期（標準約2週間 *フランジ付き, 回転...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高出力レーザ単結晶育成装置『LFZ-Compact』

お手持ちのスマートホンで、加熱部の監視および焦点、倍率、絞り調整が可能…

『LFZ-Compact』は、出力半導体レーザを用いた浮遊溶融帯(FZ)方式の 単結晶育成装置です。 加熱部の観察用高精細カメラと、21.5インチ大型ディスプレイが装備 されています。(標準) 録画可能で、加熱部の監視および焦点、倍率、絞り調整は、お手持ちの スマートホンでできます。 【仕様】 ■レーザ照射光強度(下記のレーザ照射光強度が選択可能) 　・1)100W×5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノサーチ

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高精度・高機能 フリップチップボンダー：sigma

FINEPLACER sigma は高精度・高機能を網羅したセミオート…

「FINEPLACERシリーズ」のモデル名sigma（シグマ）は、300mmのワーキング領域に於いてサブミクロンレベルの実装精度と1000Nまでのボンディング荷重を実現しました。 多様なダイボンディング方法と、高精度フリップチップ技術に適応し、MEMS/MOEMS実装、イメージセンサーのボンディングとチップパッケージングなどを、ウェーハレベルで対応致します。 FINEPLACER sigmaは...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

超高真空用ビューイングポート　Glass 7056

最新のグラス-メタル接合技術を使用した、超高真空用ビューイングポート

コストパフォーマンスの良いグラスビューイングポートです。 ■コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス） を使用 ■最新のグラス - メタル接合技術を使用しています。 ■ハウジングはICF・NWフランジから選べます（真空度・耐熱温度は異なります）。...【特長】 ○コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス） を使用 ○最新のグラス...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

全自動高精度ダイボンダ『FINEPLACER femto2』

量産および試作開発で優れた高精度搭載精度を発揮。 ※ボンディングに関…

『FINEPLACER femto2』は、搭載精度0.3μm＠3sigmaを実現した 全自動の高精度ダイボンディング装置です。 熱共晶方式、超音波方式など各種実装方式、アプリケーションに対応し、 製品開発から本格的な製造に用途が変わる際にも 継続して安定したアセンブリプロセスを実現します。 【特長】 ■UHDビジョンアライメントシステムによる高精度アライメント ■統合型プロセ...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

温度センサ

用途に合わせた幅広い提案が可能です。

KOAの白金温度センサは、抵抗温度特性（T.C.R.）がJIS・DIN規格に準拠しております。小形パッケージの導入により、熱時定数を改良しました。空調機器の外気温、フィルターの目詰まり検出、熱電対温度調節器の冷接点補償、温度検出プローブ、 風速計の熱線、温度補償、通信機器の送受信回路の温度補償、補正などに使われます。進工業の白金温度センサは、クラスＡ（抵抗値許容差±0.06％）を実現しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オリナス 東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港

高出力LEDエージングテスター

高出力LEDエージングテスター

高精度ペルチェ素子と自社開発のペルチェコントローラを搭載し、 個々のLEDを高精度かつ高速に温度コントロールを行いながらLEDの信頼性評価・寿命 加速試験を行なう装置です。 ...高精度ペルチェ素子と自社開発のペルチェコントローラを搭載し、 個々のLEDを高精度かつ高速に温度コントロールを行いながらLEDの信頼性評価・寿命 加速試験を行なう装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

超高精度フリップチップボンダ／ダイボンダ　ＦＤＢ２１０Ｐ

サブミクロン精度と量産性を両立した超高精度ボンダ

本機は、サブミクロンレベルの超高精度実装と高生産を両立した量産対応の光デバイスや高精度搭載が必要とされるデバイスの量産に最適なフリップチップボンダです。 オプションによりフェースアップ搭載にも対応しています。...主な特徴 ■微小チップ（0.25ｍｍ～）に対応　　（オプション：0.15ｍｍ～） ■±1μｍ （3σ）　未満の超高精度実装が可能 　　温度変動に影響を受けにくい振動減衰力を強化し...

メーカー・取り扱い企業： 澁谷工業株式会社 メカトロ統括本部

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

○静電容量： 500〜4000pF ○静電容量誤差： ±20%以内（高精度モデル有） ○許容温度範囲： -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸： 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験： 下記DCテスト電圧にて10秒間 ○絶縁抵抗： 20,000MΩ(最小値：@100VDC) ○温度係数： N5500(±1000ppm/℃) ○端子強度： 最大トルク・・20[inch・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

高温高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC-HT

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパーHT)を組み込んだ 高温高出力ヒーターモジュール...□特徴□ ■最高炉内温度1675度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC　HT ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1700度 ■詳細は、お問い...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしまし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

高精度フルオート フリップチップボンダー：femto2

FINEPLACER femto2 は最先端用途向けに設計された高精度…

「FINEPLACERシリーズ」のモデル名femto2（フェムト2）は、 搭載精度0.5μm@3sigmaの全自動高精度ダイボンダーです。 装置エンクロージャにより、完全に制御された環境下で、要求の厳しいアプリケーションに対応致します。 システムは完全に外部の影響を遮断し、最高クラスの歩留まりで、安定したアセンブリプロセスを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース 幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm（*ロータリーポンプ筐体内設置） 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

最高級精度デジタルマノメータ　２３０／２４０　シリーズ

最高級精度デジタルマノメータ　２３０／２４０　シリーズ

卓上型パネル取付型が用意されています。圧力センサはセトラ社の高精度圧力センサＭ２７０シリーズのセンサを使用し製作されます。絶対圧、ゲージ圧レンジは精度０．０６％ＦＳ。気圧レンジは精度０．３ｈＰａの高精度で計測でき、気象庁検定合格品の提供も可能です。センサ部は温度安定性、長期安定性に優れたセラミックのセトラセラムセンサを使用しています。フルスケールレンジに対応したアナログ信号を使用し高精度を必要とす...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。 窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英は波長域に応じて4種類のラインナップがあります。 - ARコートなし - UV(290~370nm) - Type-A (350~700nm) - Type...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

超高温（300℃）対応圧力センサー

測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。特徴として、測定媒体温度が-10℃から最高300℃（環境温度：-10〜250℃）まで対応しております。ボディへはSUS316L材を採用し接ガス（液）部へは電解研磨処理を施しております。また、ダイヤフラムにハステロイ材を採用しており、非常に優れた耐食性を有します。精度が±1%F.S.と高精度です。さらに真空引きにも対応し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Oリング フロロアップD（低固着+低アウトガス+耐高真空）

Oリングの桜シールによる低固着性+低アウトガス性のフッ素ゴム（FKM）…

ゴム材質の特徴である貼り付きやガスの放出といった現象を低減させたフッ素ゴム（2元系）による材質で、高真空用途に最適なグレードです。尚、耐熱性や耐薬品性については汎用FKMと同程度です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポートさせて頂きます。 ＊ フロロアッ...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

連続式熱処理炉

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処…

大村技研の『連続式熱処理炉』は、均一な温度による電子部品の 連続熱処理に用いることが出来る装置です。 あらゆる電子部品の熱処理に対応可能で、多品種・小ロットの電子部品の 熱処理に適しています。 高精度な温度コントロールにより歩留まり向上に貢献します。 【特長】 ■均一な温度による電子部品の連続熱処理に ■多品種・小ロットの電子部品に対応 ■高精度な温度コントロール ■...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応...【特徴】 ◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社