• 高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ 製品画像

    高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

    PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

    用途によって選べるタイプ!! ●ポンプ単体(装置組込式) ●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ-ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ~ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラステコ 本社

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    新製品 二液混合ディスペンサー 「ID-200R」

    PR2液混合に必要とされる機能が充実した2液混合ディスペンサー 吐出量、混…

    定量安定性のあるMGPマイクロギヤポンプを、5相ステッピングモーターで駆動し、2液吐出用に専用設計された 制御部によって高精度な混合吐出を実現した2液用ディスペンサ-です。 混合部ローターの形状や容積、回転数などから、最適な条件を選べるカートリッジ方式強制混合タイプミキサーです。 本装置は微少量吐出が要求される2液性接着剤等のシール工程などに適しています。 特長 取り込んだポンプの基礎データを基に...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本省力技術研究所 

  • 厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター!自動ポリイミド塗布装置 製品画像

    厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター!自動ポリイミド塗布装置

    ~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

    精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造(密閉式、回転カップ式) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。 ポリイミド...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

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    自動フォトレジスト塗布装置(スピンコーター)Coater

    レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

    ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、G...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • イワキフォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ 製品画像

    イワキフォトレジストディスペンスポンプ PDSシリーズ

    再現性±0.3%(F.S.)以下、大幅な省レジストを実現

    ■□■特長■□■ ■大幅な省レジスト ■多様なコートプロセスに対応 ■ダウンタイムの短縮 ■コンタミフリー ■高粘度用途に対応(PDS-H115) 詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イワキ

  • コガネイ 高粘度定量吐出ポンプ 製品画像

    コガネイ 高粘度定量吐出ポンプ

    コガネイ 高粘度定量吐出ポンプ

    均一な薄膜塗布が要求される液晶、PDP、有機EL等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のCTポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については10,000cp以上実績があります。最大吐出量:30ml、60ml、100ml、200ml、300ml...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社コガネイ

  • 高精細ポリイミド・コーター『Twin-air』 製品画像

    高精細ポリイミド・コーター『Twin-air』

    ツインエアー方式!独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し

    スペンサーです。 ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減。必要な位置に、必要な量を、 高精度にコーティング可能です。 また、ウエハ全面にパッシベーション厚膜コートを実現し、様々な高粘度液剤の 塗布に対応しています。 【特長】 ■ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能 ■モジュール/チップレベルのダイレクト・コーティング ■エッジカット処理(リンス工程)不要、廃液ゼ...

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    メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社

  • 【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』 製品画像

    【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』

    超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下!家庭用電源で…

    国内のみならず国外の開発現場でも 100台以上の販売実績を持つ、卓上サイズの超小型テストコータ―です。 低粘度塗料の薄膜塗工に適した「マイクログラビア方式」を標準採用。 オプションで中~高粘度向けのスロットダイ方式の増設も可能となります。 ■現在、手塗りしているのでステップアップしたい ■Wetコーティングを始めてみたい など、ロールtoロールコーターとしては低価格でこれから...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社康井精機

  • ラモンドナノミキサー 静止型流体混合器 ※レンタル有 製品画像

    ラモンドナノミキサー 静止型流体混合器 ※レンタル有

    超微細化かつ均一化混合を短時間で実現! ナノバブル生成も可能。驚異的な…

    ■■■ラモンドナノミキサーの特徴■■■ 1)一様なせん断場が得られるので、高粘度液・異相分散系の混合ができる。 2)ユニット数の可変により、マイクロからナノオーダーで混合分散をコントロール。 3)既設の設備に取り付けが容易。 4)洗浄・メンテナンスが容易な構造。 ※マ...

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    メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社

  • スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】 製品画像

    スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】

    スクリュー回転による超精密吐出を実現!LED/ライン塗布/3D塗布への…

    【ディスペンス業界 能力値No.1を実現】 ☆☆☆進和スクリューディスペンサー☆☆☆ ・LED後工程/基板実装工程   →スクリュー回転量による塗布量調整    (高粘度材料への対応可能)   →高速ディスペンス化による設備投資台数の削減    (エアー式ディスペンサー比較:2~5倍の処理能力)   →常温吐出による塗布量安定性UP!   →歩留まりの大幅...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社進和 メカトロシステムセンター

  • 半導体製造装置『スリットコーター』 製品画像

    半導体製造装置『スリットコーター』

    独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター!

    当社では、低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応する 『スリットコーター』を提供しております。 スリットノズルを採用。 リニアでスライドさせ、高い精度で制御することでガラス基板に レジスト液を均一に塗布可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社コンドー 横浜工場

  • 2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像) 製品画像

    2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)

    段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…

    厚み150um)、InP(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板の搬送実績も多数あります! 【特長】 ■段取り替え不要で、2サイズウエハ処理可能。 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■2~12インチまで対応可能 ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター) 製品画像

    フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)

    ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…

    回転カップ式スピンコーターは高粘度材料(ポリイミドや高粘度レジスト)の使用量を大幅に削減できます! 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • スピンコーター(有機EL用) 製品画像

    スピンコーター(有機EL用)

    装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター…

      ・10mm□~G8基板サイズまで可能です。 ・薄膜から厚膜(1~500μm程度)まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。 ・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。 ・低粘度から高粘度(数cp~5,000cp)まで、塗布の均一を維持向上致します。 ・お客様の用途、環境に合わせて設計・製作致します。 【テスト対象基板、ワーク】 ・ガラス:10mm□~G6基板サイズ...

    メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

  • 高精度コーター 製品画像

    高精度コーター

    メンテナンス性の向上!カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター

    当社では、特殊カップリングの採用した『高精度コーター』を 取り扱っております。 塗工液粘度範囲は1~50,000(mPas)、塗工厚み範囲は1~(μm wet)です。 カセットチェンジ機構に対応し、メンテナンス性の向上が 図れます。 【特長】 ■高精度モーターの採用 ■特殊カップリングの採用 ■高精度軸受の採用 ■カセットチェンジ機構に対応 ■メンテナンス性の向上 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 超精密液体噴霧システム 製品画像

    超精密液体噴霧システム

    最大100,000CPSの液体に対応!シリンジ、カテーテル等、様々な製…

    『超精密液体噴霧システム』は、エアーを使用し、細かく均一に 液体の噴霧が可能です。 高精度&高耐久性で、最大100,000CPSの液体に対応。高粘度液体には オプションで、ノズルへのヒーター取付けが可能です。 また、SUS316製標準ビームスプレー(円錐形パターン)ノズル又は ロングノズルをご用意しており、液体の液質や噴霧量に適した...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

  • 両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター 製品画像

    両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター

    ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!

    自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度~高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、S...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』 製品画像

    研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』

    操作が簡単!薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

    『卓ダイ』は、一人で全ての塗工操作ができるスリットダイコーターです。 スリットはシムを使用しない固定タイプで再現性があり、ダイは 3ピース構成、取外しが容易であり、液替え時間は約20分。 液供給部が塗工幅と同一な為、平行流状態で液吐出が可能です。 この他に、A4サイズの基材に瞬時に再現性よくスプレー塗工する装置 「簡易スプレーコーター」も取り扱っています。 【特長】 ■操...

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    メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社

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    コーティング 「コーティングマシン(コータ)」

    様々な塗工条件から、最適なコーティング方式の組合せをご提案します。

    適なコーティング方式の組合せをご提案いたします。 【コーティング方式の選択】 ○薄膜コーティングに向いている方式 ○厚膜コーティングに適した方式 ○塗工表面が平滑になる方式 ○高粘度の塗工が可能な方式 ○低粘度しか塗れない方式 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ムサシノキカイ

  • 環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』+装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』 製品画像

    環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』+装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

    保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決!次世代環境対応!

    【エコソルダーペースト S70G】 鉛フリーソルダペースト「エコソルダーペースト」は、従来のソルダペーストに比べ、鉛フリー化に伴う問題点である保存安定性や、供給安定性、濡れ性、高融点化による耐熱性等の問題点を解決した次世代環境対応型のソルダペーストです。 □特長 ・従来品の保存・スキージングによる粘度安定性を維持 ・耐熱性、フラックス飛散抑制、信頼性の向上 ・実装品質・生産性までを総...

    メーカー・取り扱い企業: 千住金属工業株式会社

  • LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ SAP-1 A14/M6 製品画像

    LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ SAP-1 A14/M6

    LED分注工程の生産革新!生産現場で要求される精度を実現します

    ○自社開発の供給ヘッド部で高精度かつローコストを実現 →粉体液体共に自社開発のスクリュー方式ポンプを使用 →粉体±0.3mg・液体±1mgの精度を実現 →消耗品の少ない方式 →液体ポンプは高粘度・低粘度対応可能 →粉体は蛍光体の他、比重の軽い分散剤の分注も可能 ○SAP-1 M6 →ローダー・アンローダーは使用しない半自動タイプ ○SAP-1 A14 →ローダー・アンローダー、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マルコム

  • マイクロバーコーター 製品画像

    マイクロバーコーター

    高精度塗工が容易に可能!構造がシンプルで扱い易いマイクロバーコーター

    粘着製品をはじめ、経皮吸収医薬品や文具製品、自動車関連などに ご使用いただけます。 【特長】 ■高精度塗工が容易に可能 ■構造がシンプルで扱い易い ■塗工巾調整が容易 ■中~高粘度粘着剤塗工 ■少量サンプル塗工が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』 製品画像

    容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

    チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少…

    『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 1ショットの吐出量はマイクロメータによりチューブ内容積を変更することで調整できます。 独自のチューブ固定方式によりセット時のばらつきがありません。 微細テフロンチューブを使用して瞬間接着剤の微少量吐出...

    メーカー・取り扱い企業: ESER Corporation-Japan(イーサージャパン) さいたまラボ

  • SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』 製品画像

    SUSS MicroTec社製インクジェット塗布装置『LP50』

    半導体、PCB、プリンテッドエレクトロニクス向け、卓上型インクジェット…

    SUSS MicroTec社製の卓上型インクジェット塗布装置『LP50』は、目的に応じて 柔軟にプリントヘッドを選定できるよう設計された多機能で高精度な製品です。 (Fujifilm、KonicaMinolta、Xaar、Canon製ヘッドに対応しています) エポキシ樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂やUV硬化樹脂等のダイレクト塗布、 ウェハへのレジストやパッシベーション膜の塗布、AgやC...

    メーカー・取り扱い企業: 兼松PWS株式会社

  • ディスペンス電動ポンプ 製品画像

    ディスペンス電動ポンプ

    薬液使用量削減の最適ツール

    低粘度・高粘度材料削減を目的とした高い再現性とシステム拡張性を備えたポンプシステムです。弊社は同製品の日本総販売代理店になっており、本ポンプの販売に伴い装置全体の技術サービスも提供しております。...

    メーカー・取り扱い企業: エヴァンリード株式会社

  • 樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁 製品画像

    樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

    無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに! 金属と反応したり腐食させ…

    接液部を非金属のフッ素樹脂(PEEKやPTFEといった非常に高強度な樹脂材)で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能(定量ポンプ ■流量偏差/±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時 ■耐圧/8MPa ※PEEK仕様)を実現しています。...【HYシリーズ 無脈動定量ポンプ...

    メーカー・取り扱い企業: 富士テクノ工業株式会社

  • 円形塗布装置『RSコータ』 製品画像

    円形塗布装置『RSコータ』

    独自スリットダイで自由に円形塗布!Spiral Coaterに代わる新…

    八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能(数100μmの厚塗りも1回で塗布可能) ■パターンへの埋め込み性に優れる(ボイドも少ない) ■EBR(Edge Back Rinse)不要で工程数を削減 ■圧倒的な省液性...

    メーカー・取り扱い企業: 中外炉工業株式会社

  • 微細塗布装置 製品画像

    微細塗布装置

    スクリュー方式による微細塗布装置。セラミックノズルにより高粘度材料の微…

    試作品開発から量産まで対応可能 従来のスクリュー式ディスペンサーの欠点を克服 摩耗部品のないセラミックスクリュー...有効塗布ストローク:250mm×250mm 画像認識位置補正機能付き ワーク高さ検出ノズルクリアランス補正機能付き 最小ノズル径:25μm(先端ノズル外形50μm以下) ...

    メーカー・取り扱い企業: ESER Corporation-Japan(イーサージャパン) さいたまラボ

  • レンタル用小型スリットコーター 製品画像

    レンタル用小型スリットコーター

    実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ:200mm□ ・レンタ…

    レンタル専用スリットコーター! 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):200mm□×0.4~1.1mmt 対象ワーク:ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間:1ヶ月~6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ:200×200×0.4~1.1mmt ・ステージサイズ:230×230mm ・膜厚:0.5~100μm ・薬液系統:1系統 ・粘度:数cps~10...

    メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

  • 【課題解決事例】通信デバイスメーカーA社 製品画像

    【課題解決事例】通信デバイスメーカーA社

    180μmピッチのウエハバンピングに成功!スクリーン印刷による量産ライ…

    機能を生かし、以下の内容を提案しました。 「マスク開口内に100%はんだペーストが充填できる加圧条件を提案」 「はんだブリッジ対策として通常の印刷機では対応できない280Pa・s程度の 高粘度はんだペーストの使用を提案」 他社製印刷機による評価実験で苦労していた問題点が、いとも簡単に解消され、 おかげで新製品の量産工程を大幅に見直すことなく、計画通りに量産を 開始することがで...

    メーカー・取り扱い企業: 谷電機工業株式会社

  • 高性能ゴムロール 製品画像

    高性能ゴムロール

    低粘度から・高粘度の液体を均一に塗布するロールコーター

    ゴムロールのプロが設計する新しい発想の組み合わせ。クリーンなフィルムに均一にコーティングすることを可能にした、クリーン・コーティングソリューションです。 ...ゴムロールのプロが設計する新しい発想の組み合わせ。クリーンなフィルムに均一にコーティングすることを可能にした、クリーン・コーティングソリューションです。 ...

    メーカー・取り扱い企業: テクノロール株式会社

  • 自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ) 製品画像

    自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)

    レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

    ど多数の基板搬送実績もあります。 露光工程は、オートアライメント機能搭載可能 ポジ・ネガ反転工程にも最適です。 【特長】 ■フォトリソ工程を自動一括処理 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■2~6インチまで対応可能、□4インチも実績あり ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レ...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • MEMS・半導体パッケージ用塗布装置 製品画像

    MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

    最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

    実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。 【スピンレス塗布装置】 ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。 少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプ...

    メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

  • 枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』 製品画像

    枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

    高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

    『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • モジュール/チップレベル・コーター『CLシリーズ』 製品画像

    モジュール/チップレベル・コーター『CLシリーズ』

    【Twin-air】半導体後工程、電子部品組立工程などに!高品質・高信…

    Lシリーズ」と 4inウエハ、各種ワークに対応の「ESシリーズ」も取り扱っております。 【対応内容(一部)】 ■高スループット ■ガードリング、ダム形成 ■チップ、電極等の封止 ■高粘度液剤(1000Pa・s以上) ■ウエハの全面/ドット/ライン塗布 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エンジニアリング・ラボ

  • スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210 製品画像

    スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

    MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー!

    スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック

  • MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター) 製品画像

    MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)

    BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…

    0um)など薄い基板もご安心ください! 【特長・強み】 ■お手頃価格を実現 ■ウェハサイズ自動検知機能 ■自動ウェハ検知機能(マッピング)搭載 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジスト削減で多数のオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 自公転式真空撹拌脱泡ミキサー V-mini300 製品画像

    自公転式真空撹拌脱泡ミキサー V-mini300

    小さなボディに「撹拌」「脱泡」「充填」の3機能

    小型・軽量の卓上型で研究・開発から少量生産に最適な 1台で3つの高機能を有する自公転式真空撹拌脱泡ミキサー 1.高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 2.サブミクロン以下の泡も完全脱泡 3.泡が再混入しないシリンジへの充填 更に メインテナンスフリー(ドライポンプの採用によりOILの...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社EME

  • 自公転式真空撹拌脱泡ミキサー VMX-N360(N550) 製品画像

    自公転式真空撹拌脱泡ミキサー VMX-N360(N550)

    「撹拌」「脱泡」「充填」の3機能を有する高性能で研究開発・少量生産に最…

    研究・開発から少量生産に最適なベストセラー機 <特長> 1.高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 2.自転・公転独立可変速により材料に最適な回転数に調整可能 3.サブミクロン以下の泡も完全脱泡 4.泡が再混入しないシリンジへの充填 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社EME

  • 処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」 製品画像

    処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

    【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

    2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です! デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい! ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合せ下さい。...【掲載内容】 ◆自動エッチング装置 枚葉式のウエハ自動エッチング装...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 塗工装置『FKGコーター』 製品画像

    塗工装置『FKGコーター』

    優れた薄膜塗工性能!高精度設計による優れた再現性のコーター

    『FKGコーター』は、優れた薄膜塗工性能の塗工装置です。 ロール交換、ドクターブレード交換が容易で、高精度設計による優れた再現性が特徴です。 光学系フィルム製品、ハードコートフィルム、インモールドフィルム、エネルギー関連、オーバーコート、アンカーコート等の用途に最適です。 【特徴】 ○基材の傷発生がない ○版目の転写がない ○ロール交換、ドクターブレード交換が容易 詳しくはお...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 塗工装置『CEDコーター』 製品画像

    塗工装置『CEDコーター』

    全塗工工程が完全密閉状態で進む!最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

    『CEDコーター(クローズドエッジダイコーター)』は、タンク・ヘッド・ポンプ部がすべて密閉されているのが特徴の塗工装置です。 全塗工工程を完全密閉状態で行えるため、溶剤にチリやゴミなどの異物が混入しないほか、溶剤が空気に触れて蒸発することもないことから、希釈調整の必要もありません。 『CEDコーター』は、テクノスマート特許の“最新鋭のクローズドタイプコーター”といえます。 【特徴】 ○...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • FSDコーター 製品画像

    FSDコーター

    バックアップロールなしのスロットダイコーディング!精度や汚れの影響がな…

    当社では、wet 1μm塗工が可能な『FSDコーター』を取り扱っております。 バックアップロールなしのスロットダイコーディングが可能。 低速~高速まで幅広い塗工速度範囲に適応します。 バックアップロールを使用しないため、ロールの精度や汚れの 影響がありません。 【特長】 ■バックアップロールなしのスロットダイコーディング ■wet 1μm塗工可能 ■高精度膜厚分布 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 塗工装置『多層ダイコーター』 製品画像

    塗工装置『多層ダイコーター』

    多段化したスロットル構造!単層~多層の同時塗工を実現するコーター

    『多層ダイコーター』は、多段化したスロットル構造により、単層~多層の同時塗工を実現する塗工装置です。 バキューム機構により、ギャップクリアランスを確保します。 特殊機能フィルム及び機能性材料等に最適です。 【特徴】 ○高精度なダイ加工技術 ○塗工液流動特性を反映した内部構造 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【機械仕様】 ○塗工速度範囲:~...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 塗工装置『デジタルコーター』 製品画像

    塗工装置『デジタルコーター』

    WET10μm以下の薄膜塗工!複雑な任意パターン塗工が可能なコーター

    『デジタルコーター』は、高解像度IJヘッドによる、シングルパスでの高速塗工が可能な塗工装置です。 溶剤系・UV硬化系・油系・水系の多様な塗工液に対応します。 基材~IJヘッド間ギャップ約1mmの非接触塗工です。 【特徴】 ○WET10μm以下の薄膜塗工 ○複雑な任意パターン塗工 ○コンパクトユニット 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【機械...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノスマート

  • 曲面スリットコーター 製品画像

    曲面スリットコーター

    平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

    メンテナンスを考慮した設計 最適な気泡抜き設計 高粘度樹脂対応可 樹脂漏れ防止構造 最適な内部圧力設計 最適なリップデザイン Gap調整機構...

    メーカー・取り扱い企業: プレマテック株式会社

  • 樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』*デモ機貸有り 製品画像

    樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』*デモ機貸有り

    1台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができ…

    い!(ポリプロピレン or テフロン) ■ブラッシュレスモーター採用だから ・重い基板でも正確に回転 ・加速スピード設定や逆回転・パドル操作の設定が可能 ・回転数は、最大12000rpm。高粘度の材料コートが可能 ■豊富なオプションや拡張性があるから… ・チップサイズから大型基板(□1000mm)まで対応 ・真空チャック、メカニカルチャックなど多様な保持方法など 詳しくはお問...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社協同インターナショナル

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