コンビナトリアル特性解析

電気的特性評価をはじめ、光学特性評価、結晶性評価、組成評価を実施！

当社の『コンビナトリアル特性解析』では、ご要望により、組成変化に 従った種々の多点物理分析をいたします。 画像の例では、Si基板上のHfO2、Y2O3、Al2O3の正三角形の 3元コンビナトリアル組成傾斜試料にPt電極を形成してC-V、I-Vの 電気的特性を行い、高誘電率層の評価をしたものです。 上から、誘電率、フラットバンド電位、リーク電流の組成マッピングを 示しており、1試...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コメット

EBSDによる解析例（セラミック）

「観察/元素分析」や「EBSDによる解析」など！EBSDによる解析例を…

セラミック（Al2O3）について、EBSDによる解析例を紹介致します。 「観察/元素分析」では、EDXによる元素分析からAl2O3と判断され、 マップよりSiが点在している様子が観察されました。 「EB...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス