ALD/OER成膜装置

常温でOHラジカルを発生させる手法(OER)で常温成膜を実現！

『ALD/OER成膜装置』は、先端技術で必要とされる原子レベルの 緻密な成膜(ALD)を独自の技術で実現した装置です。 半導体やディスプレイの封止、2次電池の部品や自動車部品など 幅広い分野への応用が期待できます。 ※OER=株式会社明電舎独自技術： 　Ozone-Ethylene Radical generation technologyの略 【特長】 ■シャワーヘッド...

メーカー・取り扱い企業： 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社