【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【無料サンプル進呈中】省人化に寄与する自動給油器　パルサールブE

PR【防爆検定合格品】すぐに使用できる自動給油器。設定期間に応じてグリース…

使用方法は、グリースニップルを取り外してパルサールブE型を取り付けるだけ。たった1分の作業で大変なグリスアップを自動化することができます。1～12ヵ月の吐出期間設定ができ、低コストで潤滑作業を省力化し、工場の省人化に役立ちます。自動給脂のメリットは、回転体にとって最適な状態を維持できることです。潤滑の改善でトラブルを未然に防ぎましょう。 【特長】 ■　ちょう度2番までのグリースであれば、ど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

永電磁式リフティングマグネット『テクノリフト』

簡単操作で省エネ効果と安全性を提供！豊富なラインアップをご用意しており…

　・TM 6/X シリーズ ■鋼板搬出用 　・BF 2/X 固定式ビーム 　・GTR 磁気クロスビーム 　・TBチルティングビーム 　・TT切断機械用固定式ビーム ■ブロック搬送 　・SML/X シングルモジュール 　・SMHシングルモジュール ■コイル・ビレット・スラブ搬送用 　・CH 　・CV/T 　・CV 　・CO ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

OnRobot『Geckoシングルパッドグリッパー』

マテリアルハンドリングに！平板、平滑、多孔質体の表面の対象物用の革新的…

『SP1/SP3/SP5』は、さまざまなサイズや素材の製品に使用可能な Geckoシングルパッドグリッパーです。 コンパクトで軽量な粘着グリッパーは、ケーブル、電気、空気、 プログラミングが不要。費用対効果が高く、プラグアンドプレイが可能です。 光沢のある表面でもグリップ...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

Geckoシングルパッドグリッパー『SP1/SP3/SP5』

ケーブル、電気、空気、プログラミングが不要！費用対効果が高くプラグアン…

当社が取り扱う、コンパクトで軽量な粘着グリッパー『SP1/SP3/SP5』を ご紹介します。 平板、平滑、多孔質体の表面の対象物用の革新的な当製品は、これまで困難であった タスクの自動化を実現。 光沢のある表面でもグリップの跡がつかず、クリーニング工程が不要なため、 時間を削減し生産性を向上させます。 また外部からの給気が必要ないためノイズと埃が減り、維持管理費用を削減でき...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

製品カタログ　搬送機器

超小型で低消費電力！地球環境に優しく、CO2削減につなる製品をラインア…

【その他掲載製品】 ■卓上型　アライナー ■卓上型　シングル・ダブルアームロボット ■直動式　シングル・ダブルアームロボット ■真空対応　シングルアームロボット ■リンク式　シングル・ダブルアームロボット ■防水対応　ダブルアームロボット　など ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』

従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！

『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』

板金比率を高めて構造を単純化！製造コスト削減を実現するクリーンロボット…

『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を 単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアーム クリーンロボットです。 全軸2相ステッピングモータ仕様。 各種センサを装備しています。 リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、 当社に是非ご相談下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム アーム長　135mm／185mm エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis：720mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

無人搬送システム『CarryBee 屋外高速タイプ』

【近日発売】屋外で使用するための機能装備・性能向上！小回がきく屋外高速…

能力(全負荷牽引時)：5度 ■停止制度：±10mm(一定荷重時) ■車両寸法：1750(L)×732(W)×1297(H) ※オプション装飾品により異なります ■駆動タイヤ：φ302ゴム　シングル/ダブル(OP) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 愛知機械テクノシステム株式会社

円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』

ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg

駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下) ■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

システム『SSR1160+S2244-S001』

クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム

『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備して...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』

稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…

『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

自動仕分け装置『オートソーターFP20』

シングルソート用とダブルソート用をご用意！ハーディオートソーターのご紹…

自動仕分け装置です。 搬送物重量が30～45kg以下で、底面が安定した物であれば確実に そしてソフトに仕分けることが可能。 搬送速度200m/分、搬送物サイズW500×L600mm、シングルソート(片側仕分け)、 搬送物重量30kgの場合で、1時間当り約11700個の仕分け能力があります。 【ラインアップ】 ■ASFP[20]S ・仕分け角度20°のシングルソートで、20...

メーカー・取り扱い企業： 和研ハーディ株式会社 岡山本社

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

自動仕分け装置『オートソーターFP30』

110m/分の仕分け搬送速度を有する機種をご用意！ハーディオートソータ…

ー式の自動仕分け装置です。 搬送物重量が45kg以下で、底面が安定した物であれば確実に そしてソフトに仕分けることが可能。 搬送速度110m/分、搬送物サイズW500xL600mm、シングルソート(片側仕分け)、 搬送物重量45kgの場合で、1時間当り約6100個の仕分け能力があります。 【ラインアップ】 ■ASFP[30] ・仕分け角度30°のシングルソートで、110m...

メーカー・取り扱い企業： 和研ハーディ株式会社 岡山本社

リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』

全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種セン...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社