廃液減容化装置『蒸発・濃縮装置 (電気式小容量)』

PR臭気成分などを熱分解して排気！廃液処理のコスト削減を可能に！

本装置は、電気ヒーターで廃液中の水分を蒸発させて濃縮し、 蒸発時に発生する臭気成分などを熱分解して排気する、廃液減容化装置です。 水溶性切削液、水溶性研削液などの含油廃液の場合は濃縮油を有価物にする事も可能です。 【特徴】 ■廃液処理のコスト削減可能 ■高温、高粘度、スラッジ含有濃縮液の自動排出機構 ■排熱利用の省エネ機構 ■脱臭触媒を標準設置して排気ガスに臭気・煙が出ない ...

メーカー・取り扱い企業： プリテクノジャパン株式会社

セラミックス触媒による排気脱臭技術『セラ・ダイナミックス』

PR繰り返し使えて長寿命！自己再生能力を持つセラミックでカンタン悪臭対策！

『セラ・ダイナミックス』は、セラミック触媒を使用し、 排気などのニオイを強力脱臭できる技術です。 空調ダクトや排ガスダクトに設置するだけで、悪臭、油ミスト、有機溶剤を 強力に吸着、分解、無害化し、悪臭防止法・PRTR・近隣対策ができます。 30万～40万種と言われる臭気成分に幅広く対応可能。 用途や臭気成分などの条件に合わせて選べる製品ラインアップも魅力です。 【『セラ・ダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファインセラ

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

ルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？ 除害装置前段での副生成物対策 ・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？ ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧 ボールバルブ　#手動 ボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【安衛法ナノ粒子対策に適応　ラミコーチL645-H】興研代理店

■安衛法ナノ粒子対策適応■HEPAフィルタ搭載■ダクト室外排気(ファン…

■労働安全衛生法のナノ粒子対策に適応しています。 興研株式会社製　「ラミコーチ　LAMIKOACH L 645-H(ダクト排気タイプ)」 ◆同一ベクトル集合流でコンタミをしっかりと捕捉 ◆クリーン化された吹き出し気流をダクトで室外に排気※1 ◆HEPAフィルタ搭載(プッシュフード、プルフード共に) ※1：プルフード...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

薬液供給装置（キャニスタユニット）　P82

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しＮ２による加圧圧送に…

ＣＭＰ装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■ＰＴＦＥ製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

フィルム連続成膜装置

フィルム連続成膜装置

ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム（任意設置） ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照） ■ロ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【コンタミナント対策用換気装置ラミコーチ　局所クリーン化】興研

■クリーンルームのコンタミ対策に ■プッシュプルでコンタミを捕捉

電源：単相100V 50Hz/60Hz 定格消費電力＊：プッシュフード160W～380W 　　　　　　　プルフード500W～1000W ＊フィルタの圧力損失に伴って変動します ※ダクト排気タイプのLAMIKOACH L 645-Hもあります...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

来、表面改質やウエ 　ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 　的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 　有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

は8軸の自公転治具が搭載可能 ○抵抗加熱蒸発源は切替電極（2式）を搭載している ○イオンプレーティング機構が付属している ○治具台車を2式標準装備している ○冷凍機の搭載によりH2Oに対する排気スピードが向上している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

近年、真空の応用分野は各産業界で飛躍的に広がってまいりました。 まさに基幹技術を支えるといっても過言ではありません。 真空排気セットも同様に各分野で使われています。 お客様のニーズに合わせた排気セットの設計から製作・組立・検査・搬入までの 一貫を多く手がけて参りました。また、お客様の仕様に合わせて、チャンバーを含め、そ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

【コンタミナント対策 ラミコーチ　局所クリーン化】興研　代理店

■気流がコンタミナントを捕捉する■HEPAフィルタ搭載■ファン内蔵、室…

ードとその気流をバランスよく吸引するプルフードによって構成されるコンタミナント対策用換気装置です。オープン空間において同一ベクトル集合流をつくりだし、その中で発生したコンタミナントをしっかり捕捉して排気します。 また、対象となる作業場の空間を仕切り等によって囲うことなく換気できるので、作業スペースを有効に使え、かつ作業者に対しても開放感があり、作業性を損ないません。 【クリーンルーム内...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

品質な基盤に仕上がります ■実験・試作などの少量のエッチングにおすすめです ■ワークサイズは150×200mmまで対応 ■装置本体を机の上に置いて使用できる小型タイプ オプション品の専用排気処理用カバー(MODEL ES-400FC)を使用することにより、サンハヤト製排気装置ES-F2，KS-8などに接続が可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』

複数材料の多層膜が成膜可能！高品質・高結晶性の薄膜形成ができる成膜装置…

【主な仕様】 ■到達圧力 ・処理室：3x10-5Pa以下 ・ロードロック室：3x10-4Pa以下 ■真空排気系 ・成膜室：ターボ分子ポンプ 1000l/sec ・ロードロック室：ターボ分子ポンプ ■成膜室 ・スパッタ源：ECR 2式、マグネトロン 2式（オプション） ・基板ホルダ：平板状ステップ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

【真空排気系仕様】 ■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: タ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ガス配管製作

ガス配管製作

タ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な 　体制となっております。 ◆排気セット等のユニット単位での真空装置の設計製作も行っております。 ◆各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階より 　お手伝いさせていただきます。 ※詳細はお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2500Å/min(Tin 100A) ○蒸発電源／10kw ○油...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

軸クリーンロボット クリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター 洗浄…ブラシ、MS標準装備 オプション…高圧ジェットノズル、UV、エキシマ、ホットプレート等 ユーテリティ…電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

半導体製造向　特殊ガス　シリンダーキャビネット

ガス供給装置の設置・製造や特殊材料ガス配管工事など承ってます

としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から 　ダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南テクノ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

半導体関連機器　メンテナンスサービス

MOCVD・MBE装置のオーバーホールは当社にお任せください

当社では、半導体関連機器のメンテナンスを主な事業として展開し、 国産・海外問わずMOCVD装置等の反応室・供給系・排気系の メンテナンスを定期的に受託しております。 メンテナンス内容はお客様のご希望に合わせ、 現地分解作業、引き取り、組み立ても行っております。 単なる洗浄・組み立て作業ではなく、再現...

メーカー・取り扱い企業： アステック株式会社 相模原事業所

超小型スピンコーター　SC-155G

グローブボックス内でも邪魔にならない 超小型のスピンコーター

表示 *回転数 ：0～6000rpm（無負荷時） *材質 ：本体、カップ　SUS304 *カップ径 ：内径φ150mm　受け皿付き *フタ ：透明塩ビ（ナベフタ式） *排気 ：無し *真空ポンプ ：無し *電源 ：AC100V/3A（スピンコーター本体） *装置サイズ ：W195 x D195 x H195mm *装置重量 ：約10kg ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

ガスラインや排気ラインの途中に取り付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

Siconnex 会社案内

BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に…

など様々な製品を取り扱っております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【Siconnexが選ばれる理由】 ■BATCHSPRAY技術に100％フォーカス ■水・排気・化学品を大幅に削減 ■コスト効率が高く、環境保全に対応したプロセス ■充実したサポート体制(サービス、パーツ、プロセス) ■無償の年次装置点検、トレーニング、電話サポート、及び初年度定期 ...

メーカー・取り扱い企業： Siconnex Japan合同会社

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』

全自動&装置機能UP&遠隔監視機能を搭載！ダイシング工程の生産性向上に…

切断可能範囲：220mm、最大切断速度：500mm/s ・Y軸 切削可能範囲：220mm、最高速度：500mm/s ・Z軸 ストローク：129.5mm ・用力：3相200V 市水、圧空、廃液、排気 ・装置寸法（WxDxH）：1,200x1,320x1,850mm ・装置重量：約2,500kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

信濃化工株式会社　事業紹介

鍍金の材料から設備までのトータル的なコーディネイトをメインに手がけてい…

服などのユニフォーム等に於ける イメージアップのサポートをさせていただきます。 お気軽にお問い合わせください。 【営業内容】 ■鍍金設備一式 ■工業薬品 ■羽布研磨材 ■公害 ■排気ダクト工事 ■塗装前処理剤 ■半導体関連機器 ■クリーンルーム副資材 ■ユニフォーム全般 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 信濃化工株式会社

株式会社テック・エンジニアリング 取扱い製品 総合カタログ

半導体関連製品やクリーンルーム設備などの製品を紹介します。

【掲載内容】 ○半導体製造装置機器連結工事 →装置電源・信号・冷却水工事 →ガス配管工事 →真空排気・ポンプ排気配管工事 ○半導体関連製品 →シリンダーキャビネット、レギュレーターボックス →アルミフレーム＆パネル製設備品 →排ガス処理装置、マルチファンクションコンビネーションシステム ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テック・エンジニアリング

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。 　また「太陽電池ウエハ非接触搬送装置」　 　は使用空気量が少なく、効率が良い。　　　　　　　　　また排気流を周囲に排出しない構造ですので環境を汚しません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適です。 　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 　また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など その他お気軽にご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

精密洗浄

精密洗浄

体及び液晶生産工場での製造工程でパーティクルの原因となる装置部品に付着したデポを除去し、生産に支障無きよう各種の部分を部品を再生します。 真空装置部品の精密洗浄だけでなく、精密加工部品の脱脂洗浄・排気配管等の洗浄、配管・サイレンサー・トラップなど生成物の除去も承ります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

・半導体装置及び各種真空装置の排気系ポンプの再生技術 ・真空配管系の設計・製作 ・真空関連部品の特殊洗浄・再生技術 ・真空関連製品、その他保守パーツの販売 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

窒素流量調整　　◇POWERコントロール ◇プラズマ噴出口の径（0.5mm～） ◇1軸、2軸、3軸ロボット ◇ディップ　スプレー　ロールコーターとの組合せ ◇風防ボックス、無塵ボックス、局所排気など その他お気軽にご相談下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

局所クリーン化・コンタミナント対策 ラミコーチ J 500-F

コンパクトタイプ・持ち運びが可能・プルフードにFERENAを搭載

ードとその気流をバランスよく吸引するプルフードによって構成されるコンタミナント対策用換気装置です。オープン空間において同一ベクトル集合流をつくりだし、その中で発生したコンタミナントをしっかり捕捉して排気します。 また、対象となる作業場の空間を仕切り等によって囲うことなく換気できるので、作業スペースを有効に使え、かつ作業者に対しても開放感があり、作業性を損ないません。 【クリーンルーム内...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

インナップしています。 ●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H) ●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水 ●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

用圧力が0.5MPaのため、機種配置が自由に行えます。 ・使用水量が大きく変動してもすばやく設定値に収束します。 ・CO2溶解膜などの高価な消耗品は不要です。膜方式と異なり一切の 　CO2ガス排気と排水がありません。 ・過酸化水素（3％）による殺菌も出来るので、菌も繁殖せず安心です。...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社