小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

工業用空気清浄機『粉じんやホコリによる生産現場の歩留まりを改善』

PR独自メンテで空気品質を長期保証！コンタミ対策やクリーンルーム相当の環境…

きれいな空気は健康、生産効率、品質に大きな影響を与える大事なものです。 当社の工業用空気清浄機（エアクリーナー）は 自動車工場、フォークリフトが動く物流倉庫、清潔な環境が求められる食品工場など 室内空気の品質管理が必要なエリアに向けて開発されました。 【このようなお悩みはありませんか？】 ◆研磨やブラストなどで発生する粉じんによる製品の歩留まりを改善したい ◆粉じんが流入しやすい環境近くの詰所、...

メーカー・取り扱い企業： クリーンエア・スカンジナビア株式会社

バルーンハンド『SGBシリーズ』

多品種、不定形状の真空吸着に好適！供給ポートに圧縮空気を入れるだけ！

ズ』は、これまで掴めなかったワークを吸着搬送できる 新構造のハンドです。 コンバム(真空エジェクタ)内蔵のため、供給ポートに圧縮空気を 入れるだけで簡単動作。 コンバムの真空発生時の排気を無駄なく利用することができます。 【特長】 ■これまで掴めなかったワークを吸着搬送 ■コンバム(真空エジェクタ)内蔵 ■供給ポートに圧縮空気を入れるだけで簡単操作 ■コンバムの排気エ...

メーカー・取り扱い企業： コンバム株式会社 旧社名：妙徳

吸着ユニット　VYPシリーズ

吸着ユニットVYPシリーズはエジェクタ、圧力センサ及びバキュームパッド…

空気消費量削減、排気音低減 ●エジェクタ、圧力センサ及びバキュームパッドを一体化させました。これにより空気消費量削減（当社既存製品より９０％削減）、排気音低減が可能となりました。 CO2の削減 ●空気消費量削減に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

ディスプレイガラス向けグリッパー『STGG』

薄く繊細なワークへの吸着跡や負荷を低減。よりダイナミックな搬送を実現す…

ため、ワークへの局所的な負荷を軽減、薄物ワークのしわや変形を抑制 ■コンタミネーションの発生や吸着跡を予防 ■真空発生器一体型で、圧縮エアの供給のみで使用可能 ■クリーンルームでの使用に最適な排気エア用コネクタや非接触パッドなど、さまざまなアクセサリをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

m以内 (300mmシリコンウェーハの場合) 　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使用流用量：60～120NL/min (クリーンエア) 正圧：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

精度：センタリング:±0.3mm以内　オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 2A　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応！】

真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール！真空ロボット方式やロ…

とができます。 【特長】 ■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重量200kg対応) ■低発塵機構 ■ロングストローク対応(特許願 2011-10118) ■360度回転可能 ■真空排気機能付き専用コントローラ ■カスタマイズ対応 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

ム長160mm、260mm) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

m ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

不定形物の吸着把持にコンバム製バルーンハンド『SGBシリーズ』

これまで掴めなかったワークを吸着搬送できる、新構造のロボットハンド

【製品特長】 ◆ワークと接触するゴム膜内が排気エアによって膨らむよう設計されているため、 　 様々なワークの外形に馴染んで吸着できる ◆ゴム膜の材質は、以下の3種類を用意 ・耐熱性に優れる、柔らかなシリコン製 ・耐油性、耐摩耗性、引き裂...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

精度：センタリング:±0.3mm以内 オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 3A 正圧：0.15～0.5MPa 真空：-70kPa以上 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

ム長160mm、260mm) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

:2.5sec (持ち直し無しの場合) ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　ノッチロケート:±0.1度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式 →2相ステッピングモータ4軸使用 →モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

:20mm、32mm、40mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル