暑熱などのお悩みを解決！熱流体解析ソフトにより工場の温度を最適化

PR熱流体解析ソフトの活用と送風機メーカーのノウハウで工場の温度を最適化に…

SDG（昭和電機）では、熱流体解析ソフトの活用と送風機メーカーとしてのノウハウを生かして 工場の温度を最適化する、ものづくりを支えるサービスを提供し、 作業環境測定から局所排気装置などの設置ま全てでワンストップで対応します。 流体解析のメリットとして、高温なポイントが見える化でき、 装置内部の温度分布をシュミレーションできます。 また浮遊粒子の動きも分析が可能になります。 設置前のシュミレーシ...

メーカー・取り扱い企業： SDG株式会社 推進Gr

工業用空気清浄機『粉じんやホコリによる生産現場の歩留まりを改善』

PR独自メンテで空気品質を長期保証！コンタミ対策やクリーンルーム相当の環境…

きれいな空気は健康、生産効率、品質に大きな影響を与える大事なものです。 当社の工業用空気清浄機（エアクリーナー）は 自動車工場、フォークリフトが動く物流倉庫、清潔な環境が求められる食品工場など 室内空気の品質管理が必要なエリアに向けて開発されました。 【このようなお悩みはありませんか？】 ◆研磨やブラストなどで発生する粉じんによる製品の歩留まりを改善したい ◆粉じんが流入しやすい環境近くの詰所、...

メーカー・取り扱い企業： クリーンエア・スカンジナビア株式会社

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

マルチ成膜装置VEＳ－１０

親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。

VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。機能切替はボタン一つで楽々。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

コールドカソード減速イオン銃『OMI0750シリーズ』

高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能

メントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の 為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計 ディスチャージチャンバーを採用しております。 また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。 【特長】 ■減速型コールドカソードイオン銃 ■高電流密度の低速イオンビームを照射可能 ■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

シリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応 　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０ ○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー ○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ ○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御 ○真空排気：ドライポンプ ○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、ＤｒｙＡｉｒ、Ｎ2、冷却水 ●詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣToＣタイプも対応可能 Ｃｕ膜など難エ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【表面改質展2022に出展しました】AETP大気圧プラズマ装置

【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案しま…

単相200VAC　50/60Hz 要コンプレッサーエア（オイルフリー） 局所排気推奨 【ラインアップ】 ■AP-4000 モデル(固定式ヘッド1本タイプ) ■AP-4000R モデル(回転式ヘッド1本タイプ) ■AP-4000 Multi モデル(固定式ヘッド複数本...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装…

【ラインナップ】 ○PBll-C600（R&D中型機） →サイズがコンパクト →真空排気時間も非常に短く成膜時間の短縮にも繋がる ○PBll-R1000（標準機） →生産機としても使用できる ○PBll-R1500（標準大型機） →R1000の5倍の容積を持つ大型機 →R10...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

卓上大気圧バリア放電装置

低価格な小型装置！

●シンプルな構造 　- メンテナンス、点検が容易 　- 電極（消耗品）を簡便に交換 ●均一性 　- ハンディタイプのコロナ処理よりも均一 ●処理効率 　- 真空プラズマ処理と比べ真空排気が不要 ●ランニングコスト 　- ガス供給なしで使用可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

【用途例】 ・各種ウエハ電子部品のレジスト除去 ・後工程メッキ前の表面改質 ・有機汚染除去 ・樹脂材料の表面改質 【主な仕様】 ◎処理方式: 自動搬送付きバッチ装置 ◎排気ポンプ: ドライポンプ ◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm ◎重量:1000kg ◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44) ◎真空槽サイズ(処理室):...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

フイルム表面処理用ロールダイレクトプラズマ装置『RD』

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル…

【特長】 ■グロー放電処理 ■高い処理性能 ■真空不要の常圧プロセス ■対応幅：～2500mm ■処理速度：～100m/min ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

スポット型 大気圧プラズマ装置『AP-T』

ピンポイントでプラズマ照射が可能！LCD端子清掃や電子部品封止前洗浄の…

CDAです。 【特長】 ■高いプロセス処理能力 ■低いランニングコスト ■コンパクト設計、軽い用力 ■局所的処理可能 ■処理幅：～10mm ■Utility：電源、ガス（Air）、排気 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

大気圧リモートプラズマ装置『RT』

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程…

目的で使用されます。 【特長】 ■ダメージレス ■高い処理性能 ■豊富なラインアップ ■実績多数 ■対応幅：160～3400mm ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

大気圧プラズマ装置『小型実験機タイプ』

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧…

だけます。 【特長】 ■小型装置 ■様々な処理に対応 ■実験用途に特化 ■対応サイズ：～A4（A4以上のサイズは別途ご相談下さい） ■Utility：電源、処理ガス(N2、CDA)、排気、冷却水 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

バレルタイププラズマ処理装置　ＰＢシリーズ

等方性プラズマを利用　微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最…

フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０ ○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー ○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ ○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御 ○真空排気：ドライポンプ ○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御 ○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック ○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、ＤｒｙＡｉｒ、Ｎ2、冷却水 ●詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

【表面改質展2021に出展しました】AETP大気圧プラズマ装置

【脱炭素ものづくり】接着・接合の前処理に大気圧プラズマ処理をご提案しま…

単相200VAC　50/60Hz 要コンプレッサーエア（オイルフリー） 局所排気推奨 【ラインアップ】 ■AP-4000 モデル(固定式ヘッド1本タイプ) ■AP-4000R モデル(回転式ヘッド1本タイプ) ■AP-4000 Multi モデル(固定式ヘッド複数本...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社