製品ランキング
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- 分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI-Tシリーズ株式会社キーエンス
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- Lumetrics 非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』伊藤忠マシンテクノス株式会社
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- 電磁式／渦電流式 ハンディ型 膜厚測定器『FMPシリーズ』アンリツ株式会社
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- Micro Pioneer 蛍光X線膜厚測定器 XRF-2000日本アレックス株式会社
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- 蛍光X線方式膜厚測定器 XULM株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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製品一覧
Lumetrics 非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』
お手持ちのPCに接続可能！12μm～16mmの厚さをインラインで簡単測定！非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』は、12μm〜16mmまでの膜厚を 「インライン」＆「±0.1μmの高精度」＆「1秒間に200測定の高速＊」で 測れる厚み計です。＊標準は50計測 性能はそのままに、導入しやすい低価格帯の2機種を発売開始しました。 □■多層膜厚測定器『OPTIGAUGE 2』■□ 【特長】 ○新仕様でお手持ちのPCに接続可能！扱いの簡易化を実現 ○1秒間に最大200測定可能（標準 50測定／秒） ○インラインでリアルタイムに厚み測定しロス軽減 ○多層厚みを層順に厚み表示可能 ○精度±0.1μm、繰り返し性0.1μmσで確実に測定 ○1台に8点までプローブを増設できて効率的 ○光ファイバーケーブルは1000mまで延長可能 ○長寿命光源を採用し、メンテナンスが不要 など、スピーディな製品開発・品質管理を実現します。 そこまでの計測精度は求めない！という方は ⇒ 機能を制限した、より導入しやすい入門モデルもご用意しています。 多層膜厚測定器『OPTIGAUGE LT』をご覧ください。 ※製品詳細はカタログダウンロードよりご覧頂けます。- メーカー・取扱い企業：
- 伊藤忠マシンテクノス
- 価格帯：
- お問い合わせ
電磁式／渦電流式 ハンディ型 膜厚測定器『FMPシリーズ』
電磁式／渦電流式のハンディー型膜厚測定器、広範にラインナップした測定プローブにより高精度かつ様々な形状の測定サンプルに対応電磁式／渦電流式小型 膜厚測定器 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー ■DELTASCOPE(R) FMP10/30（デルタスコープFMP10/30） 鉄または鋼などの磁性金属を下地とする亜鉛・クロム・ 銅・錫・塗料・プラスチック・エナメルといった非磁性皮膜の 測定に使用 ■ISOSCOPE(R) FMP10/30（イソスコープFMP10/30） アルミ・銅などの非鉄金属を下地とするペイント、 塗料またはプラスチックやアルミ上のクロムまたは無電解ニッケル （条件付）ならびに陽極酸化皮膜といった絶縁被膜の測定に使用 ■DUALSCOPE(R) FMP20/40（デュアルスコープFMP20/40） 素材材料の自動認識と2種類の測定方式（電磁式・渦電流式）により、 鉄・鋼・アルミ・銅などの金属を下地とする数多くの皮膜を測定- メーカー・取扱い企業：
- アンリツ
- 価格帯：
- お問い合わせ
蛍光Ｘ線式 膜厚測定器 微小部測定用『 XDV-μ 』
ポリキャピラリX線光学系を採用。微小部の薄膜メタライズ、高機能めっきの膜厚を短時間で高精度に測定可能。【サンプル試測定実施中】 『XDV-μ』は、ポリキャピラリX線光学系を採用した汎用性の高い エネルギー分散型蛍光X線測定装置です。 当製品は、非常に小さい部品や構造部分を非破壊で膜厚測定・ 素材分析に適した測定器です。 【特長】 ●最小10µmの集光レンズを搭載可 従来では測定できなかった微小部の薄膜メッキでも測定が出来ます。 ●検出器には半導体検出器の中でも最高性能のSDDを採用 SDD(シリコンドリフトディテクタ―)を搭載したことにより、 短時間で高精度の測定が可能になりました。 ●基板の微小パッド等も測定可能 Au/Pd/Ni/Cu/基板の様な多層メッキを高精度に測定可能です。 ●厚付けSnメッキの下にあるNiメッキも測定可能 従来では難しかった厚付けスズメッキの下にあるニッケルメッキの 膜厚測定を可能にしました。 ●プリント基板やコネクターの小型化、薄膜化に対応できます。 もちろん従来製品の測定も半分以下程度の時間で可能になります。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- アンリツ
- 価格帯：
- ¥10,000,000～¥50,000,000
非接触 膜厚測定装置 FTMD
非接触で不織布などの繊維の膜厚測定 〜サンプル測定実施中〜透過光を利用してナノファイバー不織布の厚みムラを検出 ○非接触リアルタイム高速計測 ○繊維の表面形状を３D表示 ○ターゲットに即したファイバセンサを交換可能- メーカー・取扱い企業：
- 九州計測器
- 価格帯：
- ¥1,000,000～¥5,000,000
高性能膜厚測定器『DUALSCOPE FMP100』
FMPシリーズ上位機種の高性能なハンディー型膜厚計、広範な種類の評価や統計処理機能、画面にはタッチパネル搭載『DUALSCOPE FMP100』は、品質管理において優れた性能を発揮できる 携帯タイプの膜厚測定器です。 当製品のキーパッドつき高解像度タッチスクリーンは、スタイラスや指で 操作ができます。 また、広範囲の高性能プローブが使用でき、高品位アプリケーション用の 特殊プローブをはじめ、様々な種類が使用できます。 【特長】 ■品質管理において優れた性能を発揮 ■キーパッドつき高解像度タッチスクリーンを搭載 ■数千種類の測定アプリケーションのキャリブレーション・パラメターを記憶可能 ■FMP150：3種類(渦電流式・電磁式磁気式ホール効果)の測定方式が1台で使用できる ■広範囲の高性能プローブが使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- フィッシャー・インストルメンツ
- 価格帯：
- お問い合わせ
蛍光Ｘ線式 膜厚測定器 ハンドヘルド型『 XAN500 』
ハンドヘルド型でありながら、高精度かつ高い検出感度。現場で素早く非破壊で検査します。『ハンドヘルド型蛍光Ｘ線式測定器XAN500』は、携帯可能な蛍光X線式の 膜厚測定および素材分析機器です。 シリコンドリフト検出器搭載により、高精度かつ高い検出感度を実現。 品質管理、受け入れ検査、工程管理に適した装置で、小型部品や複雑な 形状の測定にも対応できます。 キャリブレーションの頻度が少なく済むため、時間と手間が削減できます。 【特長】 ■現場に携帯し測定できる ■シリコンドリフト検出器搭載 ■高精度かつ高い検出感度 ■小型部品や複雑な形状の測定にも対応 ■時間と手間が削減できる 対象例：貴金属・金属・メッキ関連 など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- アンリツ
- 価格帯：
- ¥5,000,000～¥10,000,000
Micro Pioneer 蛍光X線膜厚測定器 XRF-2000
コーティング工程における膜厚測定の問題を一掃！メッキ厚測定の現場ニーズに応える高性能膜厚検査装置- メーカー・取扱い企業：
- 日本アレックス
- 価格帯：
- お問い合わせ
簡易膜厚測定器『オートクレーター』
試料調整が不要！成膜された試料をそのまま測定できます『オートクレーター』は、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を 光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定する試験機です。 断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。 成膜された試料をそのまま測定できます。 また薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして 変化させる事により、各層毎の膜厚を評価できます。 【特長】 ■試料調整が不要 ■成膜された試料をそのまま測定 ■多層膜の評価が可能 ■純国産 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- ナノテック
- 価格帯：
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電磁式／渦電流式 ハンディ型 膜厚測定器『DMPシリーズ』
電磁式、渦電流式、電磁式・渦電流式の切り替え式の、高精度かつ様々な形状の測定に対応した３種類のハンディタイプ膜厚測定器■DELTASCOPE(R) DMP10/30（デルタスコープDMP10/30） 電磁式（DIN EN ISO 2178）で、鉄や鋼などの磁性金属を素地とする亜鉛、クロム、銅、溶融亜鉛めっき、塗装等の非磁性皮膜の測定が可能。 ■ISOSCOPE(R) DMP10/30（イソスコープDMP10/30） アルミや銅などの非磁性金属を素地とする塗装やアルマイト、アルミ上のクロムや無電解ニッケル（条件付き）といった絶縁皮膜の測定が可能。 ■DUALSCOPE(R) DMP20/40（デュアルスコープDMP20/40） 電磁式と渦電流式の自動切替ができるため、鉄、鋼、アルミ、銅などの金属を素地とする数多くの皮膜を測定が可能。- メーカー・取扱い企業：
- アンリツ
- 価格帯：
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エピ膜厚測定装置『EIR-2500』
IR反射率測定ヘッドを使用可能！高スループットのエピ膜厚測定を実現した測定装置『EIR-2500』は、FTIR機能と共に、赤外分光反射率計を備えた独自の エピ膜厚測定装置です。 高スループットのエピ膜厚測定を実現し、適用されるSEMI/CE規格に完全に 準拠しています。 また、EIR製品シリーズは、高性能で信頼性の高い電子機器に基づいており、 装置の稼働時間を向上してメンテナンスの必要性を減らします。 【特長】 ■ウェハーサイズ：4～12インチ ■Si SOI SiC SiGe III Vなど ■FTIR機能 ■エピ膜厚を高精度測定 ■遷移領域の膜厚測定 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- 日本セミラボ
- 価格帯：
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膜厚測定装置『LF-1000』
ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。 【特長】 ■ウェハ・ガラス基板だけでなく、その他の鏡面基板上の膜厚測定が可能 ■膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚測定が測定可能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- ラポールシステム
- 価格帯：
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光干渉式膜厚測定装置『Model3100』
多数の納入実績を誇る業界標準機！リニアアレー受光素子を採用『Model3100』は、受光素子にリニアアレー素子を採用し、 高速測定を実現した光干渉式膜厚測定装置です。 スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の 同時測定および光学定数(n k)の測定が可能。 各種膜特性に適合したきめ細かなパラメータの設定ができ、より豊富な 各種膜構造の膜厚測定ができます。 【特長】 ■高感度高分解能ヘッド(オプション)にて酸化膜換算で70μmまで測定可能 ■100倍レンズ(φ0.75μmの微小スポット)も使用可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■さまざまなアプリケーション(磁気ヘッド、FPD、材料研究等)に対応し、 用途別に試料台作成可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- アークステーション
- 価格帯：
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光干渉式膜厚測定装置『TohoSpec3100』
R&D分野において利用出来る特長を兼ね備えた光干渉式膜厚測定装置！『TohoSpec3100』は、ナノメトリクス社より技術移管された 光干渉式膜厚測定装置です。 多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、 リニアアレー受光素子を採用。 高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や 光学定数(n k)測定に利用可能です。 【特長】 ■スペクトル解析ソフトにより、多層膜（通常３層まで）の同時測定 光学定数（n k）の測定が可能 ■各種膜特性に適合したパラメータの設定ができ、 より豊富な各種膜構造の膜厚測定が可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■米国マイクロソフト社のWindows(R)7対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。- メーカー・取扱い企業：
- 東朋テクノロジー
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