株式会社渡辺商行

石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」

弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメーカー及びシリコンメーカーへ多数納入実績あり。

石英ガラス製品は、半導体製造プロセスで幅広く使われている石英ガラスで作られている製品です。 【特徴】 ■お客様のニーズに答えます 　・弊社グループ会社で生産することにより、お客様のニーズに則…

耐熱ガラス繊維（シリグラス）「高温耐熱性」

1000℃の高温でも長時間連続使用が対応可能　耐熱ガラス繊維「シリグラス」

シリグラスとは、シリカ(SiO2)が96%以上の高純度高珪酸ガラス繊維で織られた耐熱・断熱材です。 【特徴】 　・アスベスト、RCF（リフラクトリーセラミックファイバー）を含みません 　・1…

高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える

F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者！

サファイアに近い特性を持った多結晶アルミナです。 高純度であると同時に気孔がほとんど無い緻密な焼結体です。 また、結晶粒径の揃った均一な組織構造を持つため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐える事が出…

高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます！

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶…

高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」

半導体をはじめ様々な産業で活躍 　高密度/高純度な特殊炭素材料 　SiC膜を被覆したClear Carbon

高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その…

炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」

高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料！

高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。 半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。 【材料…

常圧焼結SiCセラミックス (CERASIC)

優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます！

CERASIC常圧焼結SiCセラミックスは耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。 半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められており、高純度品としてCVD被膜を施した製品…

真空破壊用ブレイクフィルター「真空装置のパーティクルを低減」

真空装置のスループット向上、パーティクルの低減・防止にお試しください！

ブレイクフィルターは、セラミック多孔体のもつ非常に微細な細孔を利用し、圧力バッファー効果を利用した真空破壊用の高性能ディフューザーです。 【特徴】 ■スループットの向上 　ロードロック室の窒…

表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」

治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。

弊社グループ会社トムコでは、長年の実績を誇る洗浄・再生技術に加え、粉末パウダーを溶融し素材表面にコーティングする表面改質技術である「溶射」の完全内製化を実現しています。 【特徴】 ■高緻密・高…

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用　バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板…

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・絶縁膜・拡散/インプ…

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用　高生産性　連続式常圧CVD(APCVD)装置

AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・156mm角/125mm角ウェハ対応 …

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…

ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。 【特徴】 　・低温(150～300℃)成膜 　・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜を…

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出…

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー …

ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」

カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能

ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用移載機 　・CR内でのウェハの…

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6…

SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」

独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。

超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。 ◆コストダウンに貢献 　・長期のリサイクル使用…

ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」

ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。

ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に…

カーボン接着剤「炭素材料用の高強度・耐熱接着剤」

炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着可能。

カーボン接着剤は炭素材料用（黒鉛材、C/Cコンポジット等）に開発された高強度・耐熱接着剤です。 接着剤自体を炭素化することで、炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着できます。 【主な用途】 …

最大1600℃の電気炉向けヒーター｜SiCヒーター（炭化ケイ素）

800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！

「SiCヒーター（炭化ケイ素発熱体）」は、800℃～1600℃での高温使用が出来るヒーターです。 単位面積当りの発熱量が大きく、短時間の昇温が可能です。 金属工業、電子工業、化学工業、窯業、開発試…

二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター　最高1800℃使用可能！

二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能

【特徴】 　・最高使用温度1800℃まで使用可能　※約500℃～1800℃。 　・高寿命かつ、繰り返し使用が可能です。 　・取付取り外しが容易です。 　・温度制御がし易く、反応が早い為、炉内の…

管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」

半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です。

管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精…

インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用

クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有してい…

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産し…

溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」

高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN　熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現

GLASSUNは高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物です。 【特徴】 ■熱衝撃への強い耐久力 　・熱膨張率が極めて小さく急熱急冷による熱衝撃にも非常に強い 　・熱伝導率が低い ■…

シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作致します

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。 【特徴】 ■各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能 …

再結晶SiC (HE801)「最適な表面改質で多くの用途に対応」

高強度、高熱伝導のSiCを基材とした熱処理用道具材。プラズマ溶射での表面改質により、多くの用途に対応。

再結晶SiC (HE801)は、セラミック電子部品(MLCC、インダクタ、LTCC、SOFCなど)の焼成(800～1400℃)に使用されるセッター、プレート、ラックなどの炭化ケイ素質(SiC）を基材と…

レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。 【特徴】 ■高帯電防止性能 　高帯電防止性能により…

SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」

徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます

SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。 【特徴】 ■剛性、耐久性が強化 　・金属製の為、従…

半導体製造装置制御装置 仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主。老朽化する高価半導体製造装置の制御装置延命処置。

レガシーデバイス、旧 DEC社製PDP,VAX, Alpha,DMCCのミニコン／ワークステーションを搭載している半導体製造装置の制御装置を仮想化するシステムです。 既存のアプリケーション・OSを現…

ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品か…

ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理…

半導体製造装置用電子機器・産業用機器の修理

修理箇所の特定・部品交換対応で製品購入より大幅なコストメリットあり。 生産中止部品の修理も対応。

古い設備や装置に使用されている電子・産業用機器は現在入手困難な物が多く、入手できたとしても価格が非常に高騰しております。 弊社ではご使用されている機器をお預かりし故障個所の特定・対象箇所の部品交換、…

精密機械加工部品(トムコ)「確かな加工技術と短納期対応」

実績のある加工技術と短納期対応でお客様の優れた製品開発をサポートします。

弊社グループ会社トムコ 機械製造部では、精密治具･部品の加工から表面加工、洗浄までのワンストップサービスで、お客様設備の品質向上、コスト削減、部品の短納期化を実現します。 【特徴】 　・設計か…