エッチング装置の製品一覧 （3ページ目）
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グラッシーカーボン 加工品で納品もOK・石原ケミカル株式会社
高純度のカーボン素材でパーティクルがなく、気体を透過しません。しかも軽量で、適度な硬さもあるため耐摩耗性も良好です。
グラッシーカーボンは黒色ガラス状の炭素素材で『樹脂を焼成してからさらに熱処理を加えてカーボン化』した製品です。 耐薬品性や電気伝導性に優れ、黒鉛に比べるとパーティクルが出ず、ガス透過の心配がないので…
メーカー・取扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料
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ローレット加工／ステンレス／SUS304／ダイヤル開閉調整ツマミ
最短半日見積り／SUS304（ステンレス材）によるNC複合旋盤加工＋ローレット加工です。
弊社では、この様な多品種少量・高精度のNC複合旋盤加工品などの ご用命も一括手配で承れます。 ［ステンレス］の精密部品でお困りの際は、 是非、エージェンシーアシストにお問合せ下さい！ 特に、多品種少…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング
当装置は、金属箔（ALなど）の表面をエッチングする装置です。 搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応。 装置は、巻出～エッチング処理～洗浄～乾燥～巻取の構成と なっております…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）
連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【MiniLab】 蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室へ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。
WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社電子技研
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小ロット対応！水晶研磨用のラッピングキャリアをフォトエッチングにて製造した事例のご紹介
ラッピングキャリアを「低コスト対応が可能なフォトエッチングで製造してほしい」 とのご要望がありました。技術的なご要望としては、バリなく、ノンブリッジで 製造してほしいとのことでした。 また製…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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試作の短納期対応なども可能！オリジナルのゴボプレートを作成した事例をご紹介します
フォトエッチングにて、オリジナルのゴボプレートを作成しました。 ゴボとは、光源を透過させることにより描かれている図柄が映し出される プレートです。 試作の短納期対応や小ロット等に対応して…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピーワン
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリング…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテ…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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半導体製造装置用部材、放熱板に！
石原ケミカルではマシナブルセラミックスでの実績をもとに、高品質の加工品を短納期で提供します。
メーカー・取扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料
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位置決め治具、半導体製造装置用部材、高温絶縁材に！
石原ケミカルではマシナブルセラミックスでの実績をもとに、高品質の加工品を短納期で提供します。
メーカー・取扱い企業： 石原ケミカル株式会社 高機能材料
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マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン ES-800M
マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現
両面をスピード処理できる、シャワー式小形半自動式のエッチングマシーン
メーカー・取扱い企業： サンハヤト株式会社
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最大1,000lpmまでの流量を確保
■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディア…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ
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Oリングの桜シールによる「FKM-90 (フッ素ゴム)」材質
フッ素ゴム（2元系）による材質で、耐熱性や耐薬品性、耐油性、耐候性などに優れ、且つ硬度が高いことから耐圧性も兼ね備えています。JIS B2401:2012がFKM-90と定める以前は、公的規格には属し…
メーカー・取扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社
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耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイクル
耐薬品性に優れ、樹脂の中では最高の耐疲労特性を持つ究極のプラばね
メーカー・取扱い企業： 株式会社プラばね
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耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイクル
耐油・耐アルコール性に優れる。
メーカー・取扱い企業： 株式会社プラばね
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【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)
表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価な価格帯で提供！
詳しくはカタログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社魁半導体
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フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミッション化を目指した３Ｒ薬剤です。
（有）フロステックのガラスエッチング剤は全て自社開発です。 ●フッ酸は使用していません。また、フッ化物の使用量も低減しています。 ●様々なガラス種、ソーダガラス、再生ガラス、クリスタルガラス、…
メーカー・取扱い企業： 有限会社フロステック
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洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置
研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社トービ
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UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。
弊社コムクラフトは米国Times Microwave Systemの日本総代理店です。 同社は同軸ケーブルの専門メーカーとなり、ノンハロゲン・難燃性規格が必須となる米国内のビル・スタジアム等の公共…
メーカー・取扱い企業： 株式会社コムクラフト
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電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタログ
自動省力機器設計・製作および販売を行っている、マトヤ技研工業株式会社の「電子部品生産システム関連機械/自動車部品（冷間鍛造）関連機械/クーラント関連機械 総合カタログ」です。 マトヤ技研工業は自動生…
メーカー・取扱い企業： マトヤ技研工業株式会社
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」など…
メーカー・取扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社
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【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に
溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性に優れる！独自のイオンアシスト蒸着法による酸化イットリウム
エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は…
メーカー・取扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫、国内アッセンブリでご提供致します。
弊社コムクラフトは米国Times Microwave Systemの日本総代理店です。 LMRケーブル、RGケーブル、その他ハイパワー同軸ケーブルを国内在庫し、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納…
メーカー・取扱い企業： 株式会社コムクラフト
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プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪
有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪ タッチパネル制御で簡単にお使い頂けます。
Siやカーボン膜の受託エッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！ 初回条件出しや…
メーカー・取扱い企業： 株式会社魁半導体
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薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。
エッチングとは、薬品などの化学反応による腐食作用を利用した表面加工の手法です。この原理を利用した観察用の前処理が金属組織のエッチングです。 金属表面をエッチングすることで結晶方位の違いや組成の違いに…
メーカー・取扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社
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液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄肉化処理に適しています。
×機械研磨ではタクトが合わない。 ×フッ酸によるガラス溶解では綺麗に仕上がらない。 などのお困りごとを解決します。当社のガラスエッチング装置は「浸漬ディップ式」と「枚葉搬送スプレー式」の2種類あり…
メーカー・取扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部
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ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。
カフマン型グリッドイオンガン RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 1…
メーカー・取扱い企業： アールエムテック株式会社
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高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネルを一体化できるため、装置の空間を有効に活用できます。
ＷＣＭ社(WEST COAST MAGNETICS)は、米国カルフォルニアに工場を持ち、創業から独自に開発した技術を用いた高機能なＲＦフィルタ(高周波フィルタ)を提供を続けております。一般的な並列フィ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社グローブ・テック
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有機・無機問わず高いエッチング効果！
Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪
メーカー・取扱い企業： 株式会社魁半導体
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ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大1500mm X 3000mmの超大型エッチングも対応！
ステンレス・アルミニウム・真鍮・銅などの金属板の表面を薬品処理することによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。当社のエッチング銘板の特徴は、腐…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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焼付固着を防止できるボルト『SDCクリーンボルト』【潤滑剤不要】
潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止！クリーン環境に最適な六角ボルト
「SDCクリーンボルト」はＳＤＣプラズマ表面硬化処理により、締付け時に焼付き固着を起こしにくい六角ボルトです。食品工場など、潤滑剤やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場での利用に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中
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マイクロ波イオン源 EMIS-221C
ラミック放電管タイプで チャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 金属汚染…
メーカー・取扱い企業： アリオス株式会社
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Aera Transformer デジタルマスフローコントローラ
コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC
CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良…
メーカー・取扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社
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明るい雰囲気の表示が得意な、汎用性に優れた銘板
アクリル板、塩化ビニール板などの表面及び、裏面に機械彫刻する方法と、 シルクスクリーン印刷する方法があります。 絵文字やイラストなどが入ったピクトサインなど、明るく楽しい、 そして暖かい雰囲気の…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故…
メーカー・取扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ
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最大1500ミリX3000ミリの大型エッチングが可能！ 独自の特殊メッキにより、超耐候性を実現！！ 深彫りで､高級感UP！！
ステンレス・アルミニウム・真鍮・銅などの金属板の表面を薬品処理することによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。立体的で重厚な風合いと風格を出す…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減
『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オー…
メーカー・取扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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１２００Ｘ１５００ミリの超大型印刷が可能！耐候性があり、屋外製品に最適！印刷、エンボス、外形加工の一貫製作！メタリック印刷可能！
シルクスクリーン版を用いて素材の表面及び、裏面に文字や線、図柄をカラフルに表現します。 印刷できる素材は、金属板、アクリル板からフィルムや各種紙類、 さらには樹脂成形品、板金類まで様々です。 特…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーホー 本社
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当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスしやすい構造です
『FPCエッチング装置』は、FPC（Flexible Printed Circuits）をRtoR方式で 連続エッチングする製品です。 レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者…
メーカー・取扱い企業： 株式会社トーア電子
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【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置
「小型実験用イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。 Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表…
メーカー・取扱い企業： アールエムテック株式会社
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IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！
『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つ リソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるよ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社アシストナビ
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